Одержання і властивості кремнієвих композицій, модифікованих іонно-плазмовими обробками

Механізм формування на ділянках SiО2 плазмохімічних локально модифікованих плівок із використанням продуктів травлення кремнію. Методики створення орієнтованих механічних напружень, визначення кристалографічної анізотропії процесів травлення монокремнію.

Рубрика Производство и технологии
Вид автореферат
Язык украинский
Дата добавления 28.07.2014
Размер файла 49,7 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.