Робастное управление быстрыми термическими процессами при газофазной эпитаксии

Описание задачи построения робастного закона управления по выходу для системы со степенной нелинейностью. Регулирование температуры в быстрых термических процессах, характерных для газофазной эпитаксии. Применение метода последовательного компенсатора.

Рубрика Производство и технологии
Предмет Технология
Вид статья
Язык русский
Прислал(а) А.А. Капитонов
Дата добавления 28.10.2018
Размер файла 93,0 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.