Фізико-технологічні основи створення мікро- і нанорозмірних з’єднань прецизійних деталей оптико-електронних приладів

Для з'єднувального шару металу руйнівне напруження можна описати залежністю

(9),

де 0 - руйнівне напруження для монокристалу,

k - постійна величина для даного металу,

d - довжина переміщення дислокацій.

Залежність (9) була багаторазово експериментально і теоретично досліджена для металевих монолітних деталей. При цьому в якості параметра d прийнято довжину чи діаметр зерна структури металу. Методом трансмісійної електронної мікроскопії показано, що довжина окремих зерен алюмінію при з'єднанні деталей з Zerodur може бути прирівняна до товщини з'єднувального шару і становить кілька сотень нанометрів (результати отримані разом з к.т.н. Ю.М. Родічевим (ІПМ ім. Г.С. Писаренка НАН України) і проф. D. Demaile, Y. Zheng, E. Lacaze, Д.Ю. Родічевим (Інститут нанофізики Паризького університету, Франція) Тому, в порівнянні з алюмінієвою масивною деталлю з діаметром зерен у десятки і сотні мікрометрів, міцність ТЗПД-з'єднання може бути у 20-100 разів вища.

Досліджено і отримано позитивні результати по ТЗПД-з'єднанням таких перспективних для оптичних приладів матеріалів: Zerodur(СО-115М)-Zerodur(СО-115М); Zerodur К 20-Zerodur К 20; Zerodur(СО-115М)-кварцове скло; Zerodur(СО-115М)-ULE; Zerodur К 20-карбідокремнієва кераміка.

З'єднані за допомогою ТЗПД-технології деталі успішно обробляли алмазно-абразивним інструментом на операціях різання, свердління, фрезерування, шліфування, а також шліфували та полірували за традиційною технологією оптичного виробництва. Після механічної обробки можливо проведення їх хімічної обробки і нанесення у вакуумі оптичних покриттів.

Дослідження геометричної стабільності тріщиностійкості, міцності на згин при нормальних температурах та температурі рідкого азоту, а також тривалої міцності зразків оптичного ситалу СО-115М, що були з'єднані ще у 1990 році, дозволили рекомендувати розроблену технологію для виготовлення високоточних (краще 10 кут.сек.) виробів, які можуть експлуатуватися більше ніж 15 років.

Проведені фахівцями фірми Шотт АГ (Німеччина) незалежні випробування підтвердили висновок, що зразки склокераміки Zerodur, з'єднані за розробленою технологією, задовольняють вимогам, які пред'являються до прецизійних деталей з цього матеріалу.

Для охолодження фотоприймачів в ІЧ-приладах необхідно використовувати конструкційні елементи із спеціальних температуропровідних матеріалів. До найбільш перспективних матеріалів можна віднести матеріали з високим вмістом алмазу. В роботі запропонована ідея створення композиційного матеріалу, в якому доля алмазу становить 75-95 мас.%, шляхом формування на поверхні алмазних зерен нанорозмірних покриттів для подальшого спікання їх у монолітні конструкційні елементи. У цьому випадку попередньо сформовані покриття мають бути з'єднувальним матеріалом для спікання алмазних зерен. Було досліджено можливість формування мікро- і нанорозмірних покриттів з газової фази галогенідів. Метод засновано на тому, що в закритих газофазних системах протікають гетерогенні хімічні реакції. При цьому виникають градієнти концентрації речовин, а разом з ними - масові потоки. Нанесення титанових покриттів на алмази проводили методом хімічних транспортних реакцій у газовому середовищі йодидів титану. Експериментально встановлено, що при тривалості процесу від 15 хв. до 1 години при температурі 700--1000° С на поверхні алмазів утворюється карбідний шар товщиною 0,1--1,5 мкм, який відповідає стехіометричному складу монокарбиду титану. Також досліджено процес металізації алмазів у газовому середовищі хлоридів молібдену (або вольфраму). Експериментальні дослідження проводили в наступних умовах. Порошки синтетичного алмазу АС 6 100/80 і молібдену (вольфраму) нагрівали до 700--1000° С, час витримки - від 0,25 до 2 год. Дослідження показали, що на алмазних зернах формується покриття з карбіду молібдену (Мо 2С) або вольфраму (WC), слідів графітизації не виявлено. При температурах осадження 700--800° С кінетика росту покриття має характер близький до лінійного. Зі збільшенням температури і часу осадження товщина покриття збільшувалась. При 900--1000° С обмежуючою стадією була дифузія компонентів через покриття, що утворювалось.

Дослідження ІЧ-спектрів алмазних порошків, які пройшли термообробку у газовій фазі галогенідів, показали, що при формуванні карбідних покриттів з поверхні кристалів алмазу видаляється молекулярно сорбірована волога. Це дозволило покращити умови спікання оброблених у такий спосіб порошків.

В ІНМ ім. В.М. Бакуля НАН України були проведені дослідження процесу гарячого пресування і спікання мікропорошків з розробленим нанорозмірним (100-200 нм) покриттям за технологією спікання надтвердих матеріалів. Високі значення мікротвердості досліджених зразків від 10 до 25,5 ГПа і вмістом алмазу до 95-75 мас.% дозволили зробити висновок про те, що отриманий композиційний матеріал у значній мірі повторює властивості, які характеризують монокристали алмазу, у тому числі, і температуропровідність.

У п'ятому розділі наведені перспективні напрямки застосування результатів проведених досліджень. Результати випробувань і промислового впровадження показали високу ефективність запропонованого науково-технологічного підходу та розроблених мікро- і нанотехнологій з'єднання прецизійних деталей оптико-електронних приладів, зокрема, для лазерних та твердотілих хвильових гіроскопів, інфрачервоних приладів, дзеркальних систем і РК-дисплейних екранів.

Для лазерних гіроскопів була розроблена технологія високоміцного клейового з'єднання деталей. Були проведені дослідження впливу масштабного фактора на похибку геометричної форми поверхонь після хімічної обробки у фтористоводневій кислоті (40%) зразків ситалу СО-115М, кварцового скла та скла К 8 для видалення ПШ на глибину 50 мкм

Ці результати дозволили розробити серійну технологію комплексної розмірної обробки великогабаритних корпусних (одна із сторін призм дорівнювала 300 мм) деталей гіроскопа (моноблоків), яка забезпечила видалення ПШ одночасно як у внутрішніх робочих каналах, так і на зовнішніх поверхнях клейових з'єднань моноблока з іншими деталями. Розроблено також розчин "фтористоводнева кислота - гліцерин", який дозволив використати для захисту прецизійних поверхонь моноблоку від дії кислоти скляні пластини і органічні плівки, які до хімічної обробки з'єднували з корпусом гіроскопа методом ОК або клеєм.

Крім того, були розроблені конструкція та технологія виготовлення плоско-сферічних дзеркал для з'єднання їх методом ОК з моноблоком і технологія юстирування шляхом мікропереміщення деталей, що з'єднані ОК. Для контролю оптичних поверхонь дзеркал було розроблено спосіб еліпсометричного контролю, відповідно до якого показник еліптичності зразка, що контролюється, порівнювали з еталонним значенням.

Розроблені та впроваджені технічні рішення забезпечили високу надійність лазерних гіроскопів при їх експлуатації протягом 15 років.

Для великогабаритних лазерних гіроскопів запропоновано моноблок збірної конструкції, в одній частині якого глибокі канали виконуються фрезеруванням, а потім частини моноблока дифузійно з'єднуються між собою за розробленою технологією ТЗПД

Нове технічне рішення дозволяє отримати більш тонкі канали (до 0,2 мм замість Ш 3,5 мм при свердлінні), форма яких може відрізнятись від циліндричної.

Для твердотілих хвильових гіроскопів запропоновано резонатор виконати у вигляді збірної конструкції з традиційною для оптичних деталей сферічною формою, а стержні для кріплення з'єднати з ним за допомогою розробленого безклейового дифузійного способу (ТЗПД). Таке технічне рішення спрощує технологію виготовлення хвильових гіроскопів.

Для ІЧ-приладів запропоновано алмазно-клейову композицію на основі кремнійорганічного клею (К-300), що дозволило у 1,5 рази скоротити час охолодження фотоприймача від кімнатної температури до 80К та підвищити у 6 разів надійність і довговічність клейового з'єднання "лейкосапфір-мідь".

Для вузлів охолодження фотоприймачів ІЧ-приладів запропоновано також технологію високоміцного температуропровідного композиційного матеріалу на основі алмазних зерен з дифузійними (від 0,1 до 1,5 мкм) покриттями на основі карбідів ТіС або Мо 2С. При спіканні ці покриття з'єднують алмазні зерна у компактний матеріал зі вмістом алмазу до 95-75 мас.%.

Запропоновано та впроваджено спосіб безклейового з'єднання заготовок оптичної кераміки КО-1, КО-12 зовнішніх вікон типа "меніск" ІЧ-приладів і оснащення для їх механічної обробки, що у 2 рази підвищило продуктивність праці. Крім того, на основі еліпсометричних досліджень розподілу дефектів у заготовках оптичної кераміки після спікання та величини ПШ після їх полірування різними інструментами була оптимізована як технологія спікання та товщина заготовок, так і технологія їх полірування. Ці технічні рішення були впроваджені у промисловість та увійшли в об'єкт продажу ліцензії за кордон.

Для дзеркал телескопів запропоновано конструкції полегшених дзеркал з оптичного ситалу або Zerodur, окремі частини яких з'єднуються нанорозмірним дифузійним швом на основі шарів титану і алюмінію (ТЗПД-технологія) Поляризаційно-оптичним методом досліджено, що оптимальні стільникові конструкції повинні мати три- або шестигранні отвіри.

Найбільші показники полегшення (вище 90%) можно досягти у запропонованій конструкції композиційного дзеркала, в якій стільникова основа виконана з карбідокремнієвої кераміки, а верхній конструкційний шар - з Zerodur К-20,що має близький до карбіду кремнію коефіцієнт термічного розширення. Основа конструкції і верхній шар дифузійно з'єднані (ТЗПД-шов)

Для рідкокристалічних (РК) дисплейних екранів запропоновано використати склокераміку з практично нульовим коефіцієнтом термічного розширення (ситал). Таке технічне рішення та технологія з'єднання цих матеріалів забезпечили їх працездатність при температурах до мінус 60єС, що було підтверджено результатами випробувань на ДП "Завод Арсенал".

Основні результати і висновки

В роботі визначено закономірності впливу сукупності фізико-технологічних факторів (властивостей матеріалів, що з'єднуються, виду механічної та хімічної обробок їх поверхонь, складу та товщини з'єднувального шва, режимів їх з'єднання) на міцність та стабільність взаємного положення прецизійних деталей у конструкційних вузлах оптико-електронних приладів.

На підставі розв'язання комплексу наукових задач одержані такі основні результати:

1. Встановлено закономірність формування при механічній обробці порушеного шару на поверхні деталей з оптичного скла і склокристалічного матеріалу ситалу, яка характеризується експоненціальною залежністю розподілу поверхневих дефектів у крихких неметалічних матеріалах як з аморфною, так і із кристалічною структурами.

2. Досліджено кінетику мікроповзучості оптичних стекол і ситалу при одноосьовому розтягненні в нормальних умовах і встановлено, що цей процес можна описати формулою логарифмічної повзучості: мінімальна величина відносного подовження відповідає мінімальній глибині порушеного механічною обробкою поверхневого шару.

3. Показано, що процес руйнування крихких неметалічних матеріалів із кристалічною, склокристалічною, аморфною структурами має однаковий характер і є критичною подією, на початкових стадіях якої розвивається мікропластична деформація в поверхневих порушених шарах, зростає концентрація механічних напружень при вершині найнебезпечнішої поверхневої мікротріщини, яка призводить до її зростання.

4. Досліджено механізм взаємодії кремнійорганічного клею К-400 з полірованою поверхнею ситалу і кварцу: процес полімеризації клею супроводжується накопиченням груп Si-O, замість груп Si-СН 3, що обумовлює хімічне з'єднання клею з поверхнею деталей. Розроблено технологію високоміцного клейового з'єднання оптичних деталей з оптичного ситалу СО-115М, кварцового скла і скла типу крон, що включає попередню розмірну хімічну обробку їх з метою видалення порушеного поверхневого шару і забезпечує підвищення міцності у 1,5-6 разів.

5. Запропоновано нові клейові композиції на основі кремнійорганічного термоміцного клею К-300, для модифікування якого додатково уведено наповнювач у вигляді порошку нанорозмірних (12-15 нм) часток "ZrО 2 - 3% Y2O3" у кількості до 20 мас.%. Такі клейові з'єднання після термообробки при 250 єС протягом 2-х годин зберігають високу міцність до 35 МПа (у порівнянні з 10 МПа для стандартного клею).

Запропоновано алмазно-клейову композицію на основі клею К-300 з мікропорошком синтетичного алмазу марки АСМ зернистістю 10/7 в якості наповнювача (у кількості 20 об.%), яка дозволила скоротити у 1,5 рази тривалість охолодження від кімнатної температури до температури кипіння рідкого азоту (80К) та підвищити у 6 разів надійність і довговічність клейового з'єднання "лейкосапфір-мідь".

6. Досліджено закономірність кінетики мікропереміщень оптичних деталей, з'єднаних оптичним контактом, під дією зовнішніх напружень, величина яких у десятки разів менше руйнівних; швидкість мікропереміщень описується рівнянням течії ньютонівської рідини: величина швидкості мікропереміщень пропорційна зовнішнім напруженням.

7. Розроблено новий спосіб високоміцного безклейового з'єднання полірованих деталей зі склокерамічних матеріалів із практично нульовим коефіцієнтом термічного розширення з використанням вакуумних нанорозмірних (100-200 нм) покриттів на основі алюмінію або системи двох шарів "титан-алюміній". Розроблена технологія дозволяє здійснювати з'єднання деталей при температурі, що не перевищує 400°С.

8. Встановлено, що для реалізації розробленої безклейової технології можна використовувати традиційне устаткування оптичного виробництва, а вимоги до полірованих поверхонь можуть бути нижчі, ніж для оптичного контакту та глибокого оптичного контакту. Деталі, з'єднані за розробленою технологією, мають властивості монолітних матеріалів і витримують екстремальні умови: криогенні температури - рідкий азот; підвищені температури: 400єС та 900єС; лазерне випромінювання; механічні удари (100 g і 300 g). Тривала міцність і стабільність точності кутових параметрів взаємного положення з'єднаних деталей дозволяють рекомендувати розроблене з'єднання для виготовлення високоточних (краще 10 кут. сек.), виробів, які можуть експлуатуватися більше 15 років.

9. Розроблено технологію високоміцного температуропровідного композиційного матеріалу зі вмістом алмазу до 95-75 мас.% на основі спечених алмазних зерен з дифузійними (0,1-1,5 мкм) покриттями на основі карбідів ТіС або Мо 2С.

10. Результатами промислового впровадження та випробувань обґрунтовано перспективи практичного застосування розроблених мікро- і нанотехнологій з'єднання прецизійних деталей оптико-електронних приладів, зокрема, у лазерних та твердотілих хвильових гіроскопах, ІЧ-приладах, дзеркальних системах та РК-дисплейних екранах.

Список робіт, опублікованих по темі дисертації

1. Таланчук П.М. Сенсоры в контрольно-измерительной технике / П.М. Таланчук, С.П. Голубков, В.П. Маслов [и др. ].-- К. : Техника.-- 1991.-- 175 с.

2. Лазеры в контрольно-измерительной технике / П.М. Таланчук, С.П. Голубков, В.П. Маслов [и др. ].-- К. : Техника. - 1992. - 367 с.

3. Жужнева А.П. Исследование взаимодействия клея К-400 с ситаллом и кварцем методом инфракрасной спектроскопии МНПВО / А.П. Жужнева, В.П. Маслов, В.Г. Олейник // ОМП.-- 1981.-- № 4. - С. 15--16.

4. Гришачев В.Ф. Нанесение титановых покрытий на алмазы из газовой фазы / В.Ф. Гришачев, В.П. Маслов, В.Т. Весна, Л.Е. Щербакова, В.Е. Сабко, Т.А. Курченко // Алмазы и сверхтвердые материалы.-- 1981.-- № 7, C. 1--3.

5. Маслов В.П. Эллипсометрические исследования механически полированных образцов некоторых оптических стекол / В.П. Маслов, В.А. Одарич // ОМП.-- № 3.-- 1983.-- С. 60--62.

6. Маслов В.П. Влияние параметров нарушенного поверхностного слоя на конструкционную прочность хрупких неметаллических материалов / В.П. Маслов // Проблемы прочности.-- 1983.-- № 8.-- С. 62--66.

7. Алексеева И.И. Исследование ИК-спектров алмазных порошков металлизированных вольфрамом и титаном / И.И. Алексеева, А.И. Вангоген, В.М. Золоторев, В.П. Маслов, И.Т. Синцова // Алмазы и сверхтвердые материалы.-- 1983.-- № 7.-- C. 3--4.

8. Гришачев В.Ф. Металлизация алмазов в газовой среде хлоридов молибдена / В.Ф. Гришачев, В.П. Маслов, В.Т. Весна, Л.Е. Щербакова // Порошковая металлургия.-- 1984.-- № 4.-- C. 40--44.

9. Маслов В.П. Эллипсометрическое исследование поверхности кристаллического кварца после механической обработки / В.П. Маслов, Т.С. Мельник, В.А. Одарич // ОМП.-- 1985.-- № 4.-- С. 1--2.

10. Дворский А.А. Влияние состояния поверхности на микроползучесть оптического ситалла, плавленного кварца и некоторых силикатных стекол типа крон при комнатной температуре. / А.А. Дворский, В.П. Маслов, В.Н. Новиков // Проблемы прочности.-- 1987.-- № 6.-- С. 91--94.

11. Дворский А.А. Повышение механической прочности ситалла и кварцевого стекла / А.А. Дворский, В.П. Маслов // Стекло и керамика.-- 1987.-- № 5.-- С. 14--15.

12. Остафьев В.А. Устойчивость оптических кроновых стекол, кварцевого стекла и ситалла в растворе фтористоводородной кислоты / В.А. Остафьев, В.П. Маслов, А.А. Дворский // Оптико-механическая промышленность.-- 1987.-- № 7.-- С. 40--43.

13. Галанин Ю.В. Микроползучесть оптического контакта / Ю.В. Галанин, В.П. Маслов, В.Н. Новиков // Изв. ВУЗов "Приборостроение".-- 1987.-- Т.31, № 9.-- С. 82--84.

14. Маслов В.П. Контроль поверхности полированных стекол эллипсометрическим методом / В.П. Маслов, Т.С. Мельник, В.А. Одарич // Изв. ВУЗов "Приборостроение" .-- 1988.-- Т. 31, № 12.-- С.67--69.

15. Дворский А.А. Взаимосвязь между прочностью и микропластичностью поверхностных слоев оптического ситалла СО-115М, кварцевого и силикатного стекла К 8 / А.А. Дворский, В.П. Маслов, В.Н. Новиков // Проблемы прочности.-- 1988.-- №4.-- С.118--119.

16. Дворский А.А. Методика расчета точности обработки химическим травлением шлифованных деталей / А.А. Дворский, В.П. Маслов // Стекло и керамика.-- 1988.-- № 3.-- С. 27--28.

17. Андросов И.М. Особенности применения метода индентирования для определения трещиностойкости хрупких материалов / И.М. Андросов, С.Н. Дуб, В.П. Маслов // Оптико-механическая промышленность.-- 1989.-- №11.-- С. 33--35.

18. Маслов В.П. Исследование влияния упругих деформаций на эллипсометрические параметры поверхности полированных оптических стекол / В.П. Маслов, Т.С. Мельник, Т.П. Комаров // ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика.-- 1989.-- № 1.-- С. 135--137.

19. Маслов В.П. Обработка заготовок ситалла и стекла алмазными поликристаллическими резцами / В.П. Маслов // Стекло и керамика.-- 1990.-- № 5.-- С. 26.

20. Маслов В.П. Поверхностная обработка стекла и ситалла и их механическая прочность / В.П. Маслов, А.А. Дворский // Стекло и керамика. - 1991.--№ 2.-- С. 12--13.

21. Маслов В.П. Взаимосвязь остаточной эллиптичности поляризации света, отраженного от полированных оптических стекол, с физико-механическими свойствами их поверхности / В.П. Маслов, Т.С. Мельник // Оптико-механическая промышленность.-- 1991.-- № 7.-- С. 75--76.

22. Немиш Ю.Н. О напряженном состоянии сотовых круглых пластин при одноосном сжатии / Ю.Н. Немиш, В.П. Маслов, А.И. Зирка, Д.И. Чернописный // Проблемы прочности.-- 1991.-- № 11.-- С. 62--66.

23. Коломзаров Ю.В. Нові технології та матеріали для виробництва надійних бортових авіаційних рідкокристалічних дисплеїв / Ю.В. Коломзаров, В.П. Маслов // Технологические системы.-- № 3 (23).-- 2004.-- С. 23--29.

24. Маслов В.П. Физико-технологические проблемы обеспечения работоспособности оптоэлектронных сенсорных приборов при экстремальных условиях / В.П. Маслов // Сенсорна електронiка і мікросистемні технології.-- 2005.-- № 1.-- С. 57--62.

25. Коломзаров Ю.В. Тепловізійний неруйнівний метод дослідження прозорих тонкоплівкових нагрівачів / Ю.В. Коломзаров, С.Л. Кравченко, В.П. Маслов, В.В. Забудський // Космічна наука і технологія.-- Т. 11, № 5/6.-- 2005.-- С. 111--114.

26. Berezhinsky L.I. Study of chemical interaction of Al-Zerodur interface / L.I. Berezhinsky, V.P. Maslov, B.K. Serdega, V.V. Tetorkin, A. Yukhymchuk // Y. Eur. Ceram. Soc.-- 2006.-- 26/16.-- Р. 3825--3830.

27. Маслов В.П. Трещиностойкость адгезионных соединений элементов из стекла и стеклокерамики при неравномерном отрыве / В.П. Маслов, Ю.М. Родичев, Ю.Н. Евплов, В.Е. Бодунов // Надежность и долговечность машин и сооружений: Международный научно-технический сборник.-- К.: Ін-т проблем міцності НАН України, 2006.-- вып.26.-- С. 269--278.

28. Маслов В.П. Прочность и разрушение деталей из стеклокерамики Zerodur в экстремальных условиях эксплуатации / В.П. Маслов, В.А. Стрижало, Ю.М. Родичев, М.П. Земцов, Б.А. Ляшенко // Надежность и долговечность машин и сооружений: Международный научно-технический сборник.-- К. : Ін-т проблем міцності НАН України, 2006.-- вып.26.-- С. 279--286.

29. Венгер Є.Ф. Розробка комплексної технології з'єднання прецизійних деталей з лейкосапфіру у конструкційні вузли оптико-електронних приладів / Є.Ф. Венгер, М.М. Локшин, В.П. Маслов, Ю.М. Родічев, Д.І. Блецкан, В.О. Гаврилов // Наука та інновація.-- Т.3, № 6.-- 2007.-- С.77-86.

30. Маслов В.П. Фізична модель формування порушеного механічною обробкою поверхневого шару матеріалів оптико-електронних і сенсорних приладів / В.П. Маслов, М.М. Чумачкова // Український фізичний журнал.-- 2008.-- № 10.-- С. 980--984.

31. Маслов В.П. Перспективні матеріали і технології виготовлення полегшених дзеркал телескопів / В.П. Маслов // Космічна наука і технологія.-- 2007.-- Т. 13, № 4.-- С. 54--61.

32. Maslov V. Development of a technology for joining glass-ceramics parts with zero thermal expansion / V. Maslov // Optical Engineering.-- 47(2), 023401.-- 2008.-- Р. 023401-1ч 023401-4.

33. Maslov V.P. Effect of the state of the surface layers on the strength of materials for optoelectronic and sensors devices / V.P. Maslov // International Scientific Journal SEMICONDUCTOR PHYSICS, QUANTUM ELECTRONICS

AND OPTOELECTRONICS.-- V.11, No 3.-- 2008.-- Р. 286--291.

34. А.с. 1366878 СССР, МКИ 4 G01B 11/30 Эллипсометрический способ контроля качества полирования деталей / В.П. Маслов, Т.С. Мельник, В.А. Одарич.-- заявл. 31.03.86 ; опубл. 15.01.88, бюл. № 2.

35. Деклараційний патент на винахід 65831А Україна, МПК 7 С 03 С 27/10. Спосіб теплопровідного склеювання матеріалів з різними коефіцієнтами температурного розширення / Ф.Ф. Сизов, В.П. Маслов, В.В. Забудский, О.Г. Голенков; заявник та патентовласник Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова.-- заявл. 04.06.03 ; опубл. 15.04.04, Бюл. № 4.

36. Патент на корисну модель 9296 Україна, МПК 7 G02B 27/00 Спосіб Маслова виготовлення резонатора лазерного гіроскопа / В.П. Маслов; заявник та патентовласник В.П. Маслов, заявл. 14.03.05 ; опубл.15.09. 05, бюл. № 9.

37. Патент на корисну модель 20427 Україна, МПК 7 C09J 163/00, C08L 63/00 Клейова композиція "Сапфір" / Венгер Є.Ф., Локшин М.М., Маслов В.П. ; заявники та патентовласники Венгер Є.Ф., Локшин М.М., Маслов В.П., заявл. 10.08.06 ; опубл. 15.01.2007, бюл. № 1.

38. Патент на винахід 81510 Україна, МПК 7 С 03C 27/00, С 03C 27/06, C04B 37/00 Керамічне з'єднання деталей зі склокристалічних матеріалів Маслова / Маслов В.П. ; заявник та патентовласник Маслов В.П., заявл. 06.01.2006; опубл. 10.01.08, бюл. № 1; "The Maslov`s ceramic bonding of the glassy-crysralline units", Int. application № PCT/ua2006/000045 (July 17, 2006).

39. Патент на винахід 81509 Україна, МПК 7 G02B 5/08, G02B 7/172 Полегшене композиційне дзеркало Маслова / В.П. Маслов, заявник та патентовласник Маслов В.П., заявл. 06.01.2006 ; опубл. 10.01.2008, бюл. № 1.

40. Maslov V.P. High-reliability unglue bonding of Zerodur details / V.P. Maslov : The Third International WLT-Conference on Lasers in Manufacturing (June, 2005, Munich, Germany).-- Р. 777--779.

41. Maslov V.P. Method of Investigation of the Fracture Toughness of Junctions for Elements Made from Float Glass and Glassceramics Zerodur/ Maslov V.P., Rodichev Yu.M. : Glass Processing Days 2005 (Tampere, Finland, 2005).-- P. 344--346.

42. Маслов В.П. Наносоединение - новый тип бесклеевого соединения прецизионных деталей для работы в экстремальных условиях / В.П. Маслов: Труды Международной конференции МЕЕ- 2006 "Материалы и покрытия в экстремальных условиях: исследование, применение, экологически чистые технологии производства и утилизации изделий" (18-22 сентября 2006, Ялта, Жуковка, Крым, Украина) .-- С. 137.

43. Maslov V.P. Development of decisions on manufacturing of large-sized laser gyroscopes on the basis of Zerodur nano-bonding technology/ V.P. Maslov : Proceeding of the Forth International WLT-Conference on lasers in Manufacturing (Munich, June, 2007) .-- Р. 677--679.

44. Венгер Е.Ф. Высоконадежные клеевые соединения на основе наноразменых структурных композиций / Е.Ф. Венгер, М.М. Локшин, В.П. Маслов: материалы международной конференции "High Mat Tech-2007" (15-19 октября 2007 г., Киев, Украина) .-- 2007 .-- С. 260.

45. Maslov V.P. Strength and Fracfure of Nanо-join for Glassceramics Materials / V.P. Maslov, Yu.M. Rodichev, D. Demaile, Y. Zheng, E. Lacaze, D. Roditchev : тези конференції "Нанорозмірні системи, будова властивості, технології" (НАНСИС-2007, Київ: Україна) .-- 2007.-- С. 495.

Размещено на Allbest.ru