Литография и контактная фотолитография. Позитивные и негативные фоторезисторы
Методы литографии. Технологический процесс фотолитографии. Формирование защитного рельефа в слое фоторезиста. Создание рельефного изображения на подложке. Функции фоторезиста как многокомпонентного мономерно-полимерного материала. Область его применения.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | презентация |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 20.11.2014 |
| Размер файла | 184,7 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
HTML-версии работы пока нет.
Cкачать архив работы можно перейдя по ссылке, которая находятся ниже.
Подобные документы
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.
презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.
реферат [1,0 M], добавлен 06.05.2014Анализ технологии изготовления хомутины на ЗАО ПК "Сибирская кожгалантерея". Классификация шпорно-седельных изделий. Механизация работы по связыванию соломенных хомутин. Экспериментальное исследование хомутины, изготовленной из полимерного материала.
курсовая работа [2,3 M], добавлен 11.10.2013Месторождение базальтов, их структура и текстура, распространённость. История развития производства базальтовой теплоизоляции. Сравнительные характеристики базальтовых волокон. Технологический процесс получения волокна и изделия, получаемые из него.
курсовая работа [159,2 K], добавлен 06.07.2014Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.
контрольная работа [304,0 K], добавлен 03.10.2009Методы неразрушающего контроля, их позитивные и негативные стороны, условия применения: эхо-метод, зеркально-теневой. Выбор преобразователей, схем контроля и расчет параметров развертки. Проектирование стандартных образцов для ультразвукового контроля.
курсовая работа [1,1 M], добавлен 03.11.2014Характеристика производственной среды. Выбор средства измерения. Область применения и основные функции системы. Автоматизация трубного водоотделителя. Расчет защитного заземления электродвигателя центробежного насоса. Расчет экономического эффекта.
дипломная работа [3,7 M], добавлен 22.04.2015Способы автоматической резки металла. Выбор оборудования и материала. Разработка технологического процесса раскроя и управляющей программы для станка с ЧПУ с помощью системы Техтран. Детали для задания на раскрой. Создание деталей в базе данных.
дипломная работа [5,0 M], добавлен 17.09.2012
