Технологии изготовления сверхбольших интегральных схем
Подготовка подложек и эпитаксия. Осаждение окисных плёнок. Характеристика процессов окисления, диффузии, литографии, травления, ионной имплантации, металлизации. Методы сборки и герметизации сверхбольших интегральных схем, их контроля и диагностики.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | курс лекций |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 11.08.2013 |
| Размер файла | 1,5 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
HTML-версии работы пока нет.
Cкачать архив работы можно перейдя по ссылке, которая находятся ниже.
Подобные документы
Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.
реферат [1,0 M], добавлен 06.05.2014Физические особенности процесса ионного легирования. Анализ влияния технологических параметров на процесс ионной имплантации, распределение внедренных примесных атомов, радиационные дефекты. Схема устройства для ионной имплантации, методы моделирования.
реферат [17,2 K], добавлен 25.12.2009Анализ технических требований на сборку шатуна, разработка схем контроля по параметрам. Разработка технологических схем узловой и общей сборки. Сравнительный анализ технологичности конструкции детали для крупносерийного и мелкосерийного производства.
курсовая работа [7,0 M], добавлен 13.12.2011Показатель экономичности - снижение себестоимости (экономия ресурсов), связанное с применением лучшего технологического процесса. Сопоставление вариантов технологической себестоимости. Переменные и условно постоянные затраты. Сборка интегральных схем.
реферат [77,1 K], добавлен 04.02.2009Конструкторская подготовка производства и технический контроль на предприятии. Управление и организация производства в базовом цехе. Изучение технологии сборки узла и формы сборки. Изучение технологического процесса изготовления детали-представителя.
отчет по практике [795,5 K], добавлен 23.07.2012Определение сборочных и монтажных узлов для машины, схем строповки и расчет стропов распределителя шихты. Разработка технологии сборки резьбовых соединений. Выбор метода контроля за силами предварительной затяжки. Расчет систем пластичной и жидкой смазки.
курсовая работа [671,3 K], добавлен 23.07.2013VHDL-модель устройства управления светодинамической индикацией. Язык описания аппаратуры для высокоскоростных интегральных схем VHSIC, называемый VHDL, является формальной записью, которая может использоваться на всех этапах разработки электронных систем.
дипломная работа [1,7 M], добавлен 09.03.2009Оборудование для термического окисления: модель Дила-Гроува, зависимость толщины окисла от времени окисления, особенности роста тонких и толстых плёнок двуокиси кремния, их свойства и применение в микроэлектронике. Реакторы биполярного окисления.
реферат [106,3 K], добавлен 10.06.2009Шорно-седельное производство. Анализ технологии изготовления хомутины. Разработка требований к хомутине. Выбор материалов, разработка кинематической и электрической схем экспериментального стенда. Экспериментальное исследование деталей хомутины.
дипломная работа [1,6 M], добавлен 15.10.2013Определение кода по общероссийскому классификатору продукции, показателей качества выбранного объекта, коэффициентов весомости единичных и комплексных (интегральных) показателей качеств. Расчет интегральных показателей. Проведение экспертной оценки.
аттестационная работа [634,3 K], добавлен 12.12.2010
