Анализ и синтез измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом для информационно-измерительных и управляющих систем

Шестая глава посвящена исследованию возможностей совмещения функций элементов первичных и вторичных измерительных преобразователей и разработке новых технических решений измерительных преобразователей на основе датчиков резистивного типа и ЧИРП для информационно-измерительных и управляющих систем, устойчивых к воздействию широкого диапазона стационарных и нестационарных температур и нестабильности источников питания.

Исследование влияния топологии тензорезисторов первичных преобразователей (датчиков), являющихся неотъемлемой частью информационно-измерительных систем, на температурную погрешность и нелинейность выходного сигнала измерительных цепей позволило разработать и запатентовать термоустойчивые тонкопленочные тензорезисторные датчики давления, предназначенные для измерения давления в условиях воздействия нестационарных температур (термоудара) измеряемой среды, обладающие повышенной точностью измерения. Относительная погрешность измерения при воздействии нестационарных температур от 20 до минус 196 градусов по сравнению с погрешностью серийно выпускаемых промышленностью датчиков уменьшена более чем на порядок.

Измерительные цепи разработанных датчиков совместимы с разра-ботанными автором ЧИРП, которые могут быть выполнены в интегральном исполнении и размещены в корпусе датчика. Применение ЧИРП, в отличие от микропроцессорных преобразователей, позволяет улучшить динамические характеристики в несколько раз.

Исследование возможностей совмещения функций элементов НиМЭМС и ЧИРП позволило разработать устройства для измерения давления с частотным выходным сигналом, обладающие повышенной точностью, пониженным энергопотреблением, уменьшенной погрешностью от нестабильности источников питания, которые позволяют создавать датчики дифференциального давления с установкой начальной частоты выходного сигнала при нулевом разбалансе тензомоста.

Особенность разработанных измерительных преобразователей заключается в том, что путем введения в схемы частотных преобразователей дополнительных элементов (резисторов), включенных последовательно с диагональю питания или измерительной диагональю тензомоста и выполненных из того же материала, что и тензорезисторы датчика давления, удалось скомпенсировать температурную погрешность преобразования. Дополнительные резисторы формируются на упругом элементе датчика в зоне, нечувствительной к механическим деформациям, но чувствительной к изменению температуры измеряемой среды.

Инвариантность измерительных преобразователей к нестабильности источников питания и изменениям параметров линий связи достигается наличием отрицательных обратных связей ЧИРП, которые исключают напряжение питания и сопротивление проводов линий связи из функций преобразования измерительных преобразователей.

В качестве примера на рис. 12 представлена функциональная электрическая схема одного из измерительных преобразователей для измерения давления с частотным выходом на основе НиМЭМС, гетерогенная структура которой изображена на рис. 13.

Резисторы R1 и R2 гетерогенной структуры НиМЭМС (см. рис. 13) выполнены из того же материала, что и тензорезисторы (тензо-элементы 4) тензомоста датчика, их сопротивления равны между собой (по номиналу), могут быть кратными сопротивлению тензомоста, сформированы на основании упругого элемента за границей мембраны в зоне, нечувствительной к механическим деформациям от давления. Введение в схему резисторов R1 и R2 уменьшает напряжение питания тензомоста ТМ, снижает мощность, выделяемую тензорезисторами, и не сказывается на чувствительности устройства, поскольку функция преобразования не зависит от напряжения питания. Снижение мощности, выделяемой тензорезисторами, позволяет снизить температуру разогрева тензорезисторов от протекающего через них тока. При этом снижа ется энергопотребление датчика давления. Относительная температурная погрешность на краях температурного диапазона (-150 и +150 °С) при сопротивлении тензомоста 700 Ом и при сопротивлениях резисторов R1 и R2 в цепи диагонали питания тензомоста, равных 2800 Ом, составила не более 1 % при разбалансе тензомоста, равном -0, 01, и менее 0, 34 % - при разбалансе +0, 01.

Схемы принципиальные электрические разработанных измеритель-ных преобразователей синтезировались с помощью компьютерной программы «Micro-Cap». Результаты компьютерного моделирования разработанных схем тензорезисторных датчиков давления с частотным выходом подтвердили результаты теоретических исследований по снижению температурных погрешностей и погрешностей от неста-бильности источников питания.

ОСНОВНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ВЫВОДЫ

В ходе проведенных исследований оценены возможности и определены пути совершенствования и создания новых измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом для информационно-измерительных и управляющих систем, разработаны измерительные преобразователи с улучшенными техническими и эксплуатационными характеристиками. Основные результаты и выводы по работе заключаются в следующем:

1. Из анализа систематических погрешностей измерительных преобразователей физических величин для информационно-измеритель-ных систем установлена закономерность влияния собственных шумов элементов схем на аддитивную погрешность частотных интегрирующих развертывающих преобразователей при различных методах ее коррекции с учетом распределения мощности шумов по спектру частот. Выведены выражения для оценки случайной погрешности, обусловленной собственными шумами элементов схемы, с использованием предложенной математической модели усилителя постоянного тока с периодической коррекцией.

2. Предложена классификация методов построения частотных интегрирующих развертывающих преобразователей, обобщающая известные технические решения, разграничивающая области их предпочтительного применения и позволяющая определять пути дальнейшего совершенствования измерительных преобразователей.

3. Исследовано влияние дестабилизирующих факторов на результирующую погрешность измерительных преобразователей. Получены передаточные функции частотных измерительных преобразователей и выработаны рекомендации для проектирования частотных преобразователей сигналов датчиков давления резистивного типа, собранных по мостовой схеме, учитывающие влияние дестабилизирующих факторов: воздействия широкого диапазона температур окружающей среды, нестабильности источников питания и параметров линий связи.

4. Изложены принципы построения измерительных преобразователей параметров резистивных датчиков с частотным выходным сигналом, устойчивых к воздействию температур, нестабильности питающих напряжений, изменению параметров линий связи, заключающиеся во введении в схемы ЧИРП корректирующих каналов в виде усилителей постоянного тока с периодической или непрерывной коррекцией нуля; корректирующего канала из последовательно включенных амплитудного ограничителя и интегратора; параллельного МДМ-ка-нала выборки нуля; звена обратной связи, состоящего из преобразователя скважности импульсов выходного сигнала в напряжение и RC-фильтра; отрицательной емкостной обратной связи; в совмещении функций элементов первичных и вторичных измерительных преобразователей.

5. Разработаны методики исследования характеристик ЧИРП, основанные на получении передаточных функций и дисперсионных оценок шумов, позволяющие определять предельные точностные характеристики измерительных преобразователей.

6. Определены предельные точностные характеристик ЧИРП и получены условия минимизации порога чувствительности усилителей постоянного тока с периодической коррекцией погрешности нуля, реализация которых позволяет уменьшить порог чувствительности ЧИРП на два десятичных порядка.

7. Выявлены наиболее перспективные структуры измерительных преобразователей сигналов датчиков резистивного типа с частотным выходным сигналом для информационно-измерительных и управляющих систем, способные работать при различных параметрах измерительных цепей и линий связи в широком диапазоне рабочих температур и нестабильности источников питания.

8. Разработана математическая модель, учитывающая влияние «фликкер-шумов», позволяющая аналитическим путем исследовать их влияние на случайную погрешность преобразования ЧИРП.

9. Показано, что известные алгоритмы периодической коррекции случайной погрешности позволяют существенно уменьшить составляющую этой погрешности от дрейфа нуля, но имеют малую эффективность снижения составляющей погрешности от «фликкер-шумов».

Предложен алгоритм эффективной коррекции случайной погрешности oт «фликкер-шумов», предусматривающий определение конечных разностей высоких порядков от интегральных значений шумового сигнала. Такая коррекция особенно эффективна в условиях флуктуации температуры окружающей среды, а также в переходном режиме установления температурного баланса в схеме ЧИРП и при включении.

10. Исследованы методы уменьшения влияния собственных шумов элементов схем на порог чувствительности и разработаны рекомендации по рациональному использованию методов и средств коррекции случайной погрешности. Разработан метод оценки случайной погрешности, обусловленной собственными шумами элементов схемы, основанный на предложенной математической модели усилителя постоянного тока с периодической коррекцией, позволяющий минимизировать порог чувствительности ЧИРП и уменьшать результирующую погрешность измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом.

11. Обоснованы преимущества построения корректирующего канала в виде усилителя постоянного тока с периодической коррекцией погрешности нуля. Определены условия минимизации порога чувствительности усилителя постоянного тока и даны оценки случайных погрешностей. Полученные условия минимизации порога чувствительности позволяют уменьшить погрешность измерительных преобразователей, выполненных на операционных усилителях, на два десятичных порядка.

12. Выявлены легко реализуемые на практике условия, при которых динамика корректирующего канала не влияет на статические и динамические характеристики ЧИРП с непрерывной коррекцией. Показано, что при выборе надлежащего коэффициента передачи корректирующего канала порог чувствительности схемы в целом определяется лишь уровнем собственных шумов корректирующего канала.

Найдено оптимальное соотношение между постоянной времени корректирующего канала и параметрами схемы ЧИРП при заданной динамической погрешности для преобразователей с модуляцией выходного сигнала измерительной цепи датчиков резистивного типа, собранных по мостовой схеме, которые содержат каналы коррекции в виде звена обратной связи, состоящего из последовательно включенных амплитудного ограничителя и интегратора. Установлены характер и длительность переходных процессов в зависимости от параметров схемы ЧИРП и канала коррекции.

13. Разработаны модели и структуры ЧИРП параметров датчиков давления резистивного типа для информационно-измерительных и управляющих систем, инвариантных к нестабильности источников питания и изменениям параметров линий связи. Инвариантность достигается наличием отрицательных обратных связей ЧИРП, которые исключают напряжение питания и сопротивление проводов линий связи из функций преобразования измерительных преобразователей.

14. Совмещение функций элементов схем ЧИРП и измерительных цепей резистивных датчиков позволяет уменьшать или полностью компенсировать температурные погрешности измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом.

15. Разработаны новые технические решения измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом на основе датчиков резистивного типа и ЧИРП, обеспечивающие устойчивость к воздействию стационарных и нестационарных температур и инвариантность к нестабильности источников питания, которые могут быть использованы при создании измерительных преобразователей с частотным выходным сигналом для информационно-измерительных и управляющих систем. Относительная погрешность разработанных измерительных преобразователей при воздействии нестационарных температур по сравнению с погрешностью преобразователей, серийно выпускаемых промышленностью, уменьшена более чем на порядок.

ОСНОВНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ ПО ТЕМЕ ДИССЕРТАЦИИ

Статьи в журналах, рекомендованных ВАК

1. Громков, Н. В. Частотные тензопреобразователи с постоянным напряжением питания измерительной цепи / Н. В. Громков // Измерительная техника. - 2008. - № 5. - С. 22-26.

2. Громков, Н. В. Частотные тензопреобразователи с переменным напряжением питания измерительной цепи / Н. В. Громков // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2008. - № 5.- С. 16-22.

3. Громков, Н. В. Уменьшение порога чувствительности частотных интегрирующих тензопреобразователей / Н. В. Громков // Датчики и системы. - 2008.- № 10. - С. 38-41.

4. Gromkov, N. V. Frequency strain gage transducers with constant supply voltage of the measuring circuit / N. V. Gromkov // Measurement Techniques. - New York: Springer. - 2008. - Vol. 51. - No. 5. - P. 490-497.

5. Громков, Н. В. Влияние параметров корректирующего канала на точность операции интегрирования в частотных интегрирующих развертывающих преобразователях / Н. В. Громков // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2009. - № 3. - С. 46-49.

6. Громков, Н. В. Преобразователи параметров резистивных датчиков в частотные сигналы / Н. В. Громков // Датчики и системы. -2009.- № 1 - С. 32-36.

7. Громков, Н. В. Минимизация порога чувствительности усилителей постоянного тока с периодической коррекцией / Н. В. Громков // Метрология. - 2009. - № 2. - С. 35-50.

8. Громков, Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы - основа современных и перспективных датчиков давления для ракетной и авиационной техники / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Измерительная техника. - 2009.- № 7. - С. 35-38.

9. Громков, Н. В. Системный подход к совершенствованию измерительных преобразователей / Н. В. Громков, В. А. Васильев // Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика. - 2010.- № 4. - С. 2-7.

10. Belozubov, E. M. Minimization of the effect of temperature on thin-film nano- and microelectromechanical systems and pressure sensors based on them / E. M. Belozubov, V. A. Vasil'ev, N. V. Gromkov // Measurement Techniques. -New York: Springer. - 2009. - Vol. 52. - No. 8. - P. 853-858.

11. Громков, Н. В. Условия минимизации порога чувствительности УПТ с периодической коррекцией / Н. В. Громков // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. - Пенза: Информационно-издательсктй центр ПГУ, 2008. - № 2. - С. 97-105.

12. Громков, Н. В. Проблемы и основные направления исследований тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления/ Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Датчики и системы. - 2009.- № 8. - С. 54-58.

13. Belozubov, E. M. Thin-film nano- and micro-electromechanical systems - the basis of contemporary and future pressure sensors for rocket and aviation engineering / E. M. Belozubov, V. A. Vasil'ev, N. V. Gromkov // Measurement Techniques. - New York: Springer. - 2009. - Vol. 52. - No. 7. - P. 739-744.

14. Громков, Н. В. Частотные преобразователи параметров резистивных датчиков для автоматизированных систем контроля / Н. В. Громков, В. А. Васильев, И. Р. Вергазов, С. А. Москалёв // Новые промышленные технологии. - 2010. - № 1. - С. 33-38.

15. Громков, Н. В. Математическая модель и анализ влияния собственных шумов элементов схемы корректирующего канала на выходной сигнал измерительных преобразователей / Н. В. Громков // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Техни-ческие науки. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2007. - № 4. - С. 152-165.

16. Громков, Н. В. Минимизация влияния температур на тонкопленочные нано- и электромеханические системы и датчики давления на их основе / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Измерительная техника. - 2009.- № 8.- С. 51-54.

Монография и учебное пособие

17. Громков, Н. В. Интегрирующие развертывающие преобразователи параметров датчиков систем измерения, контроля и управления: монография / Н. В. Громков. - Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2009. - 244 с.

18. Громков, Н. В. Нано- и микроэлектромеханические системы: учеб. пособие / Н. В. Громков, В. А. Васильев, Т. Н. Рыжова. - Пенза: Изд-во Пенз. гос. ун-та, 2009. - 80 с.

Публикации в других изданиях

19. Громков, Н. В. Преобразователи параметров резистивных датчиков в частотные сигналы / Н. В. Громков // Проблемы автоматиза-ции и управления в технических системах: тр. междунар. науч.-техн. конф. / под ред. М. А. Щербакова. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2007. - С. 128-129.

20. Громков, Н. В. Частотные интегрирующие развертывающие преобразователи параметров резистивных мостовых тензометрических датчиков / Н. В. Громков // Методы, средства и технологии получения и обработки измерительной информации: тр. междунар. науч.-техн. конф. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2008. - С. 137-140.

21. Громков, Н. В. Частотные преобразователи для систем управления, контроля и принятия решений / Н. В. Громков // Материалы XXXV Юбил. междунар. конф. «Информационные технологии в науке, образовании, телекоммуникации и бизнесе IT+S&E'08»: приложение к журналу «Открытое образование». - Ялта, 2008. - С. 215-216.

22. Громков, Н. В. Математическая модель представления распределения собственных шумов элементов схемы по спектру частот в частотных интегрирующих тензометрических преобразователях / Н. В. Громков // Математическое и компьютерное моделирование естественно-научных и социальных проблем: материалы II Междунар. науч.-техн. конф. молодых специалистов, аспирантов и студентов. - Пенза, 2008. - С. 79-83.

23. Громков, Н. В. Проектирование частотных интегрирующих преобразователей с применением компьютерных программ / Н. В. Громков, В. А. Васильев, С. А. Москалёв // Системы проектирования, моделирования, подготовки производства и управление проектами CAD/CAM/ CAE/PDM: материалы III Междунар. науч.-практ. конф. - Пенза: Приволжский Дом знаний, 2009. - С. 11-13.

24. Громков, Н. В. Преобразователи сигналов малого уровня мостовых тензодатчиков в частоту / Н. В. Громков // Коммутация и преобразование малых сигналов: материалы науч.-практ. краткосроч. семинара / под ред. М. М. Ладыженского. - Л., 1980. - С. 49-55.

25. Громков, Н. В. Частотный тензометрический преобразователь / Н. В. Громков, В. Д. Михотин // Информационно-измерительные устройства в нефтяной промышленности: межвуз. науч.-техн. сб. - Уфа, 1979. - С. 115-118.

26. Громков, Н. В. Частотные интегрирующие развертывающие преобразователи параметров резистивных датчиков с переменным напряжением питания измерительной цепи / Н. В. Громков // Тр. междунар. науч.-техн. конф. (Computer-based conference) - Пенза: ПГТА, 2008. - Вып. 7. - С. 68-71.

27. Громков, Н. В. Частотные интегрирующие развертывающие преобразователи параметров резистивных датчиков с постоянным напряжением питания измерительной цепи / Н. В. Громков // Современные информационные технологии-2008: тр. междунар. науч.-техн. конф. CIT-CONFERENCE. - Пенза, 2008. - Вып. 7. - С.71-76.

28. Громков, Н. В. Преобразователи сигналов малого уровня резистивных датчиков в частотные сигналы / Н. В. Громков // Измерение, контроль, информатизация: материалы IX Междунар. науч.-техн. конф. / под ред. Л. И. Сучковой. - Барнаул: АлтГТУ, 2008. - С. 75- 80.

29. Громков, Н. В. Устранение паразитной модуляции в частотных преобразователях / Н. В. Громков // Цифровая информационно-измери-тельная техника: межвуз. сб. научн. тр. - Пенза, 1980. - Вып. 10. - С. 32-35.

30. Громков, Н. В. Преобразователи информации с резистивных датчиков в частотные сигналы / Н. В. Громков // Инновация в условиях развития информациионно-коммуникационных технологий: материалы науч.-практ. конф. «Инфо-2008» / под ред. В. Г. Домрачева, С. У. Увайсова ; отв. за вып. А. В. Долматов, И. А. Иванов, Р. И. Увайсов. - М.: МИЭМ, 2008. - С. 212-215.

31. Громков, Н. В. Нано-и микроэлектромеханические системы в датчиках давления / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Современные информационные и электронные технологии: тр. Х Меж-дунар. науч.-практ. конф. - Одесса, 2009. - Т. II. - С. 132.

32. Громков, Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромехани-ческие системы - основа современных тензорезисторных и емкостных датчиков давления / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Материалы XXXVI Междунар. конф. «Информационные технологии в науке, образовании, телекоммуникации и бизнесе IT+S&E'09»: приложение к журналу «Открытое образование». - Ялта, 2009. - С. 175 - 176.

33. Громков, Н. В. Частотные преобразователи сигналов тензометрических датчиков / Н. В. Громков // Современные информационные и электронные технологии: тр. междунар. науч.-практ. конф. -Одесса, 2008. - С. 198.

34. Громков, Н. В. Тонкопленочные нано- и микроэлектромехани-ческие системы датчиков давления / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Методы создания, исследования микро-, наносистем и экономические аспекты микро-, наноэлектроники: тр. II науч.-техн. конф. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2009. - С. 42-45.

35. Громков, Н. В. Моделирование частотных интегрирующих преобразователей сигналов с тензодатчиков с помощью компьютерной программы «Микрокап» / Н. В. Громков, В. А. Васильев, И. Р. Вергазов, С. А. Москалёв // Методы создания, исследования микро-, наносистем и экономические аспекты микро-, наноэлектроники: тр. II науч.-техн. конф. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2009. - С. 218-220.

36. Громков, Н. В. Преобразователи сигналов малого уровня с резистивных датчиков в частоту / Н. В. Громков // Инноватика-2008: тр. междунар. конф. - Ульяновск: УлГУ, 2008. - С. 247.

37. Громков, Н. В. Методы снижения порога чувствительности частотных интегрирующих развертывающих преобразователей с модуляцией выходного сигнала измерительной цепи / Н. В. Громков // Проблемы автоматизации и управления в технических системах: тр. междунар. науч.-техн. конф. / под ред. М. А. Щербакова. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2008. - С. 120-126.

38. Громков, Н. В. Моделирование частотных интегрирующих тензопреобразователей с непрерывной коррекцией / Н. В. Громков // Аналитические и численные методы моделирования естественно-научных и социальных проблем: материалы II Междунар. науч.-техн. конф. - Пенза, 2007. - С. 82-85.

39. Громков, Н. В. Уменьшение влияния температур на тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы датчиков давления / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Надежность и качество: тр. междунар. симп.: в 2-х т. / под ред. Н. К. Юркова. - Пенза: Информационно-издательский центр ПГУ, 2009. - Т. 1. - С. 386-390.

40. Громков, Н. В. Моделирование частотных интегрирующих преобразователей сигналов датчиков давления / Н. В. Громков, В. А. Васильев, И. Р. Вергазов, С. А. Москалёв / Проблемы автоматизации и управления в технических системах: тр. междунар. науч.-техн. конф. / под ред. М. А. Щербакова. - Пенза: Изд-во ПГУ, 2009. - С. 96-97.

41. Громков, Н. В. Методы минимизации влияния температур на тонкопленочные нано- и микроэлектромеханические системы датчиков давления / Н. В. Громков, Е. М. Белозубов, В. А. Васильев // Проб-лемы автоматизации и управления в технических системах: тр. междунар. науч.-техн. конф. / под ред. М. А. Щербакова. - Пенза: Изд-во ПГУ, 2009. - С. 167-169.

Авторские свидетельства и патенты на изобретения

42. Пат. 2375689. Российская Федерация. Термоустойчивый тонкопленочный тензорезисторный датчик давления / Громков Н. В., Белозубов Е. М., Васильев В. А., Рыжова Т. Н. - Опубл. 10.12.2009, Бюл. № 34.

43. Пат. 2391640. Российская Федерация. Тензорезисторный датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы / Громков Н. В., Белозубов Е. М., Васильев В. А., Васильева С. А., Тихонов А. И. - Опубл. 10.06.2010, Бюл. № 16.

44. А. с. 822351 SU. Частотный тензопреобразователь / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, С. Б. Шахов, Э. К. Шахов, В. М. Шляндин. - Опубл. 15.04.1981. - Бюл. № 14.

45. А. с. 822352 SU. Частотный преобразователь для тензодатчиков / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, Э. К. Шахов, В. М. Шляндин - Опубл. 15.04.1981, Бюл. № 14.

46. А. с. 828406 SU. Преобразователь разбаланса тензомоста в частоту / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, Э. К. Шахов, В. М. Шляндин. - Опубл. 07.05.1981, Бюл. № 17.

47. А. с. 828097 SU. Интегрирующий преобразователь разбаланса тензомоста в частоту следования импульсов / Н. В. Громков, С. Б. Шахов, Э. К. Шахов, В. М. Шляндин. - Опубл. 07.05.1981, Бюл. № 17.

48. А. с. 892713 SU. Частотный преобразователь для тензодатчиков / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, С. Б. Шахов, Э. К. Шахов, В. М. Шляндин. - Опубл. 23.12.1981, Бюл. № 47.

49. А. с. 966893 SU. Частотный преобразователь для тензодатчиков / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, Б. В. Чувыкин, В. В. Метальников, А. В. Акимов. - Опубл. 15.10.1982, Бюл. № 38.

50. А. с. 1016696 SU. Устройство для измерения температуры с частотным выходом / Н. В. Громков, Н. П. Варламов, А. А. Мельников, В. Н. Свистунов, С. Б. Шахов, Э. К. Шахов, В. А. Юрманов, В. Д. Михотин.- Опубл. 07.05.1983, Бюл. № 17.

51. А. с. 1368991 SU. Частотный преобразователь для тензодатчиков / Н. В. Громков, В. Д. Михотин, О. А. Голышевский, С. Б. Шахов. - Опубл. 23.01.1988, Бюл. № 3.

Размещено на Allbest.ru