Мікроелектронні сенсори на основі КНІ-структур з рекристалізованим шаром полікремнію

Створення структур типу "кремній на ізоляторі" зі заданими властивостями шару полікремнію та розробка на їх основі мікроелектронних сенсорів для застосування в широкому інтервалі температур, включаючи кріогенні. Дослідження їх характеристик та параметрів.

Рубрика Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника
Предмет Твердотільна електроніка
Вид автореферат
Язык украинский
Прислал(а) Ховерко Ю.М.
Дата добавления 12.07.2014
Размер файла 41,7 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.