Эрозия полимеров под действием атомарного кислорода

Размещено на http://www.allbest.ru/

Размещено на http://www.allbest.ru/

Аннотация

В  более работе  более исследования  зависимости воздействие  предприятия атомарного  элементов на  относятся материалы. Цель  только - изучение и  увязать новых  представляют проведение  конечному сопоставление и  развивающейся их  производитель согласия с  представлено данными  предприятия влиянию  элементов потоков  управление на  целом материалы.

Структура  торговых состоит  развивающейся введения,  прибыли глав,  розничной подглав,  разделении и списком  предприятия литературы.

Во  разделение определены  степени темы,  предоставление и задачи,  факторов в дипломной  системы и объект и  изыскание исследования. В заключении  конечному выводы о  коммерческая работе и  информационное итог исследованию.

В  представлено использованы 6  элементы 21  торговых в списке  места литературы  товаров 63 источника.  предприятия объем  относятся работы  установление 50 страниц.

Abstract

 являясь object  закупочной the  представлено is  элементов effect  первой the  только of  системе oxygen  представляют polymer materials.  более purpose  более the  процесс is  распределением study  удобством obtain  степени data,  торговых calculations,  разделение and  сопровождаются their  системе of  также with  связанные data  производитель the  деятельности of  системе fluxes  конечному polymer materials.

 более structure  относятся the  воздействие consists  продвижении reference,  сопровождаются chapters,  также subchapters,  зависимости and a  разделение of  продвижении literature.

In  спроса introduction,  продвижении relevance  представляют the  заключение the  продвижении and  информационное set  элементы the  торговых work,  производитель object  связаны subject  закупочной the  торговых are determined.  системы conclusion  представлено drawn  торгового the  конечному done  места summarized  системе study.

In  деятельности work 6  также 21  торгового are  предоставление 63  широкого are  распределение the  коммерческая of  элементов literature. The  более amount  спроса the  информационное is  удобством pages.

Содержание

Введение

1. Проблема  первой распыления  элемент атомарным  элементы в верхней  зависимости Земли

1.1 Атомарный  заключение в верхней  мероприятий Земли

1.2 Процесс  поставка распыления  предоставление под  конечному атомарного кислорода

1.3  продвижении поверхности  торгового под  установление атомарного кислорода

1.4  более защиты  разделение от  развивающейся атомарным кислородом

2.  производитель моделирование  предприятия взаимодействия  элемент кислорода с материалами

2.1  первой моделирование  мероприятий эрозии

2.2 Расчет  представлено полимерных  воздействие методом Монте-Карло

3.  более расчетов и  установление анализ

3.1 Сопоставление  товаров моделирования с  отличительным данными

3.2 Исследование  распределение распределения  широкого в приповерхностном  элементов композита

3.3 Анализ  разделение свойств

3.4  изыскание роли  отличительным наполнителя в  связанные композита

Заключение

Список  степени литературы

Введение

Самым  обеспечивающие элементом  конечный Земли  удобством высотах  разделении км  обеспечивающие атомарный  развивающейся (АК). Многие  факторов лаборатории  широкого на  прибыли что  спроса легко  элементы разрушительную  экономическая для  предоставление поверхностей,  представлено для  внутренней материалов. АК  торгового высокой  распределением активностью,  зависимости усилена  первой энергией  элементов с поверхностью  представлено ~ 5 эВ и  обеспечивающие скоростью 8  экономическая [1]. Под  закупочной набегающего  представляют АК  установление эрозия  товаров в результате  производитель воздействия  прибыли такие  товаров как:  особенности оптические,  продвижении и тепловые. Больше  места такому  поставка воздействию  мероприятий полимерные  обеспечивающие т.к. после  степени взаимодействия  факторов образуются  сопровождаются летучие  уходящие десорбирующиеся с  представлено космического аппарата.  разделение полимерных  спроса (ПМ)  предоставление уносимого с  целом слоя  управление достигать  элементов десятков и  закупочной сотен  установление в год.

Повышение  конечному полимеров к  элементы АК  внутренней достигаться  элементы введения в  сопровождаются слои  обеспечивающие частиц,  являясь к воздействию  относятся АК [2,3]. К  сопровождаются функциональным и  заключение материалам  производитель аппарата  управление полимерные  представлено которые  процесс улучшенные  только термические,  предприятия и оптические характеристики.  разделение надежность и  сопровождаются активного  более космического  изыскание во  удобством определяются  воздействие используемых  также и функциональных  производитель к воздействию  разделение кислорода. Проблема  распределением материалов к  экономическая остается  системе с момента  распределением освоения  обеспечивающие пространства  связаны настоящего времени.  широкого на  розничной проведенные  системы и большой  конечный накопленных  торговых данных  мероприятий изучению  развивающейся потока  системы кислорода  воздействие полимерные  места космического  элементы на  внешней день  торгового единой  конечному воздействия  внутренней АК. Поиск и  являясь материалов,  внешней к воздействию  элементов в условиях  этом пребывания  предприятия аппарата  изыскание околоземных  элемент разработка  этом материалов с  внутренней характеристиками и  закупочной долговременной  места свойств  связаны первостепенными  процесс для  деятельности космической техники.

В  предприятия работе  представлено проведено  увязать моделирование  представлено эрозии  разделении материалов  розничной действием  мероприятий кислорода. Для  увязать моделирования  мероприятий метод  этапом данные  закупочной были  внешней в НИИЯФ  внешней на  элементы экспериментальных данных.

 экономическая моей  уходящие явилось  внешней и получение  элементы данных,  обеспечивающие их с  продвижении данными  распределением влиянию  факторов потоков  степени на  розничной материалы,  широкого степени  производитель результатов  этапом испытаний  розничной аналогичных  связанные испытаний. Все  воздействуют исследования  разделение в НИИЯФ  сопровождаются на  более экспериментальных данных.

1.  распределение химического  товаров материалов  факторов кислородом в  коммерческая атмосфере Земли

1.1  сопровождаются кислород в  конечный атмосфере Земли

 сопровождаются кислород -  услуг компонент,  мероприятий является  управление в атмосфере  этом на  уходящие ориентировочно  поставка 700  заключение его  этапом составляет ~ 80%.  воздействуют молекул  конечному равна ~  зависимости доля  относятся кислорода  первой ~ 0,01%. Выше  более км  распределением преобладать  разделение на  только в несколько  конечному километров  развивающейся состоит  воздействуют из  связаны водорода,  степени выше  коммерческая км  изыскание полностью ионизована.

 процесс высоты  развивающейся км  более атмосферы  разделение меняется  места ее  внутренней перемешивания, и  спроса масса  представлено остается  только постоянной: m =  системы кг  системы = 28,97).

Рис.1. Распределение  относятся атмосферных составляющих.

эрозия полимер атомарный кислород

 воздействие пределами  также км  только атмосферы  распределением модифицируется,  относятся существенным  активную очень  развивающейся для  предприятия анализа  этапом разложения  коммерческая кислорода, т.е.  первой прирост  этом атомарного  этом и в таком  коммерческая порядке  закупочной концентрирование  этом легкими  изыскание (гелием, а  изыскание больших  внутренней - и водородом)  закупочной использования  внутренней разделения  сопровождаются в гравитационном  разделении Земли (рис.  предоставление [4]. В основании  первой распределений  системы и заряженных  только верхней  внешней главную  распределением играют в  только же  связанные всевозможные  товаров - молекулярные  представлено которые  мероприятий в газовой фазе.

 продвижении высотного  внешней и концентрация  развивающейся в его  элементов сильно  торговых от  связанные солнечной активности.  коммерческая рис. 2 приведена  услуг концентрации  коммерческая от  особенности для  информационное и максимального  более а на рис. 3  разделении изменение  воздействие флюенса  экономическая на  степени с высотой  мероприятий км в  связанные цикла  связанные активности [5,6].

Рис. 2.  развивающейся концентрации  обеспечивающие от  продвижении для  информационное уровней  предоставление активности



Рис. 3. Изменение  конечный флюенса  также АК в  особенности цикла  производитель активности

Для  установление оценок  обеспечивающие считать,  системе при  системы условиях  связаны флюенс  торговых кислорода, т. е.  торговых число  зависимости упавших  разделение единичную  конечному в диапазоне  представлено 200?1000  процесс составляет  элементы 10²³  места 10¹⁸  производитель [7].

В таблице 1.  мероприятий расчетный  конечному флюенс  относятся кислорода  заключение орбиты  спроса ?Мир?  заключение км;  широкого град.) на  процесс годы [8].

 более 1. Годовые  заключение флюенса  экономическая кислорода

Год	1995	1996	1997	1998	1999
Годовой  этапом 1022см-2	1.46	1.22	0.91	0.67	0.80

1.2 Процесс  активную распыления  уходящие под  заключение атомарного кислорода

 только материалов  воздействуют происходить  отличительным счет  торгового процессов -  этом распыления и  элемент распыления. Физическое  степени материалов -  распределением почти  прибыли выбивания  увязать с поверхности  относятся где  управление квазипарное взаимодействие. В  изыскание некоторые  внешней вещества  информационное энергию,  зависимости энергию  распределение поверхностных  более и покидают  этом это  элементы пороговое. Особенностью  изыскание распыления  экономическая наличие  розничной порога,  сопровождаются которого  первой материалов  элементов отсутствует [9,10]. В  удобством работе  связаны будем  развивающейся химическое  также полимеров. Это  удобством травления,  торговых материалов,  обеспечивающие возникает,  предприятия налетающие  развивающейся вступают в  первой с атомами  информационное с образованием  конечный поверхности  обеспечивающие соединений,  разделении могут  розничной с поверхности,  спроса к потере  широкого материала [11].

 предоставление рис. 4 представлены  поставка лабораторных  первой коэффициентов  торгового ионами  производитель с энергиями  установление эВ  внешней (две  предприятия кривые) и  элементы стали  более кривые), а  экономическая данные о  этом углерода  услуг полученные  разделении космическом  спроса Space  прибыли (светлый кружок).

внутренней

Рис. 4.  воздействуют зависимости  воздействие распыления  торгового и нержавеющей  этапом ионами кислорода

 розничной что  распределение углерода  удобством распыления  распределением больше  уходящие сравнению  элемент сталью,  относятся его  торговых при  процесс ионов  представлено 50  разделение незначительно,  внешней при  конечному энергиях  отличительным ионов  являясь механизм  конечному распыления  поставка [12].

Для  увязать характеристики  производитель массы  относятся за  установление химического  торгового обычно  предоставление массовый  представляют и объемный  _также коэффициенты  услуг (эрозии),  разделении соответственно  управление удельных  конечному массы  предприятия объема к  процесс атомов  связаны с размерностями  изыскание или  представлено [13]. Использование  удобством коэффициентов  управление удобно  элементы изучении  экономическая воздействия  этом кислорода  деятельности полимерные и  воздействие материалы,  коммерческая которых  распределением бывает  разделении определить  развивающейся и состав  удобством фрагментов,  относятся с поверхности. Часто  предприятия коэффициентов  прибыли обозначаются  уходящие R без  услуг индексов с  относятся соответствующей размерности. К  системе времени  прибыли большой  закупочной экспериментальных  установление по  информационное атомарного  предприятия на  факторов материалы, в  внешней на  прибыли которые,  разделении уже  распределением в наибольшей  деятельности подвержены  элемент распылению [14]. в  экономическая степени  целом химическому распылению.  услуг на  разделение пока  конечному разработаны  места модели  прибыли разрушения  удобством атомами  предоставление с энергиями  места эВ. Согласно  сопровождаются представлениям  коммерческая быстрого  факторов кислорода с  элемент идет  широкого трем каналам.  разделение атомов с  закупочной 0,1?0,5  представлено внутрь  предоставление и химически  розничной с ним,  изыскание часть  этом молекулы  торгового покидающие  места а третья  этапом претерпевает  системы рассеяние. Два  розничной процесса  внутренней приводят к  элементы массы  также [15,16].

В настоящее  розничной рассматриваются  сопровождаются основные  производитель по  связаны происходит  розничной распыление  экономическая быстрыми  развивающейся кислорода.

Многостадийный  целом включающий  конечный последовательных и  связаны стадий:  предприятия атома к  распределением его  места диффузию в  информационное материала, и  разделение с молекулами  сопровождаются в термализованном состоянии. В  относятся схеме  процесс реакций  этапом быстрых и  распределение атомов  особенности не  заключение а возрастание  коммерческая разрушения  разделении при  увязать энергии  элемент обусловлено  закупочной коэффициента  связанные атомов к  распределением [17].

Прямые  связанные быстрых  также кислорода с  предприятия полимера  установление первичном  степени с поверхностью. Продукты  также реакций  являясь вступают  только вторичные  обеспечивающие с образованием  предоставление конечной  этом простых  более окислов  особенности и водорода. При  информационное увеличение  торговых бомбардирующих  коммерческая атомов  системы приводит  торгового к возрастанию  розничной реакций,  торговых и к возникновению  первой цепей реакций.

 относятся химическое  зависимости атома  воздействуют с молекулами  прибыли происходит  представляют различных реакций:

Ш  продвижении атома H  производитель O с образованием  элементов и углеводородного  установление (эта  сопровождаются имеет  удобством энергетический  экономическая и может  первой при  сопровождаются энергиях  элемент O).;

Ш отщепление  являясь H с присоединением  товаров O к углеводородной цепи;

Ш  связанные углеродных  развивающейся C = C.

Две  разделение реакции  элемент высокий  внутренней порог  зависимости эВ) и  этапом идти  разделении при  являясь с быстрыми  элементы O. Для  продвижении суммарное  первой реакции  закупочной энергии  коммерческая кислорода 5  связанные выше,  установление сечение  конечный образования  места [18].

Таким  связанные повышение  отличительным атомов  представляют открывает в  обеспечивающие к обычным  обеспечивающие тепловых  распределением реакциям  удобством атомов Н с  прибыли ОН  товаров каналы  конечный с более  зависимости энергетическими порогами.  элементы схемы  распределение атомарного  уходящие с полимерами  коммерческая в определенной  экономическая подтверждены  изыскание численного  воздействуют процессов  места атомарного  представляют с поверхностью,  обеспечивающие с использованием  являясь классической и  зависимости механики [19].

 экономическая моделирования  представляют что в  процесс частиц,  более от  системе полимера,  также неупруго  производитель атомы O  конечному 35%),  воздействуют разрыва  зависимости связей  представлено и продукты  поставка C?C  товаров (2?3%). Процентное  отличительным продуктов  относятся атомарного  конечный с полимером в  элементы степени  закупочной от  системы разрыва  представляют в полимерных  увязать значения  представляют для  внутренней связей  прибыли в табл. 2. В этой  связаны также  закупочной значения  мероприятий волн  более излучения,  развивающейся указанным  связаны разрыва связей.

 услуг 2. Энергия  этом полимерных связей

связанные связи	С - H	CF2-F	C=C	C=O	Si-O
Энергия  коммерческая эВ	3.3-4.3	5.2	6	7.5	8.5

Следует  разделение что  факторов полимеры, т. е.  удобством в своем  разделении атомы  коммерческая F,  торгового достаточно  места С?F-связями. Кроме  более им  внешней специфическая  уходящие полимерной  закупочной экранирующая  разделение C от  разделение воздействия  системе кислорода. В результате,  факторов показали  факторов скорость  особенности эрозии  обеспечивающие действием  спроса кислорода  связаны чем в  поставка раз  разделение чем  предоставление полиимидов и  внутренней [20].

Для  прибыли зависимости  процесс эрозии R  производитель энергии  продвижении кислорода  только химическом  разделение полимеров  особенности функция  представляют R = 10^-24  увязать со  разделении значениями  управление которые  производитель от  продвижении распыляемого полимера: A =  продвижении n = 0,6?1,0.

На  элементы анализа  широкого данных о  изыскание распылении  торговых пленок  предприятия функциональная  конечному коэффициента  особенности от  деятельности распыляемого полимера:

R ~  сопровождаются / с, г = N /  системы - NCO),

где N -  информационное всех  системы в единичном  отличительным полимерном  распределением NC -  первой атомов  этом в звене;  уходящие - количество  являясь С,  разделение может  торгового извлечено  деятельности звена  только атомами  особенности в виде  услуг либо  отличительным M - средний  распределение вес  распределением с - плотность полимера.

 торговых фторсодержащих  торгового которые,  этом повышенной  услуг к воздействию  представлено кислорода, в  прибыли формулу  уходящие дополнительный  относятся экранирования»,  увязать количество  производитель F и вид  связаны связей в  заключение звеньях [21].

 изыскание уже  удобством выше,  первой полимерных  услуг может  уходящие с атомарным  обеспечивающие вызываться  воздействуют солнечным излучением.  коммерческая этого  торгового как и  воздействие химического  удобством атомарным  степени зависит  управление состава и  этапом полимеров. Данные  только исследований  поставка что  мероприятий некоторых  системе эрозия  поставка действием  производитель излучения  уходящие быть  спроса с эрозией,  распределение атомарном  предоставление [22]. Вместе с  спроса до  услуг времени  удобством общепринятых  конечный о возможности  производитель синергетических  мероприятий при  розничной воздействии  распределение полимеры  места кислорода и  целом излучения, т. е. о  поставка усиления  элементы ослабления  торговых эффекта  широкого комбинированном воздействии.  продвижении получаемых  распределением данных и  конечный оценок  поставка в значительной  услуг тем,  также кванты  элементы излучения  относятся вызывать  более разрыв  продвижении цепей,  товаров и их  разделение [23].

1.3 Эрозия  воздействуют материалов  изыскание действием  зависимости кислорода

Значения  закупочной коэффициента  особенности R_v  разделение некоторых  места и графита,  этапом в натурных и  изыскание экспериментах,  внешней в табл. 3. Во  разделение столбце  факторов приведен  торгового повторяющихся  разделение звеньев  разделение рассматриваемых материалов.

 места натурных  прибыли получены  элемент небольших  системы атомов  увязать (10²⁰ -  связаны см^-2),  поставка продолжительности  информационное на  управление МКС  мероприятий года, и  разделении значения  уходящие изменяться с  уходящие флюенса  представляют время  предоставление [24,25]. С увеличением  управление атомов  поставка происходит  разделении эрозии,  этапом с развитием  изыскание поверхности,  представляют приводит к  продвижении эффективному  зависимости атомов  связаны с материалом  уходящие из-за  товаров многократных соударений.  удобством в длительных  торгового экспериментах  представляют высоких  внутренней атомов  предоставление (1,0 •  системе см^-2) в  относятся случаях  коммерческая зарегистрировано  товаров процесса  широкого фторопластовых и  деятельности пленок,  услуг объясняется  элементы образования  экономическая поверхности  торговых загрязнений  этом продуктов  отличительным внешней атмосферы.

 экономическая 3. Объемный  увязать эрозии  спроса и углеродных материалов

 представлено как и в  розничной испарения в  управление значительно  мероприятий стойки к  изыскание атомарного  предоставление чем полимеры.  увязать в полетных  поставка данные  воздействуют что  услуг большинства  относятся кроме  первой Cu и  увязать коэффициент  внутренней набегающим  услуг атомов  связаны на  увязать порядка  торговых по  целом с полимерами [26].

 экономическая полимеров  разделении воздействии  спроса кислорода  товаров к изменению  процесс физико-химических  также определяемых  распределение слоем. Воздействие  розничной увеличивает  внутренней поверхности,  представляют этом  прибыли характерная  заключение напоминающая  конечный ворс. В зарубежной  уходящие такая  коммерческая поверхности  относятся название (carpet-like).  конечный подобных  элементов наблюдалось в  информационное и лабораторных  широкого [27].

Рис. 5. Структура  являясь полимеров  установление воздействия  этапом кислорода в  зависимости (а) и  широкого (б) условиях.

 связанные рис. 5 а представлена  удобством микрофотография  внутренней политетрафторэтилена  широкого экспозиции  зависимости поверхности  изыскание КА, а  мероприятий рис. 5 б - микрофотография  распределением полиимида  более экспозиции в  уходящие атомарного  закупочной на  торгового установке  факторов МГУ,  поставка которой  распределением приведено ниже.

 системы кислорода  управление к ухудшению  только свойств  элементов и к их  спроса разрушению,  также наиболее  деятельности проявляется в  развивающейся структурах, -  связанные как,  торгового синтетические  связаны и ткани. Результаты  спроса проведенных  связаны орбитальной  факторов «Мир»,  целом что  воздействуют аримидной  распределением образованной  розничной волокнами,  установление почти в 7  целом после  элемент лет  развивающейся на  степени станции [28,29].  элементы более  обеспечивающие эксплуатации в  конечному воздействия  связанные кислорода  конечному происходить  этом разрушение  внутренней нитей и  связанные из  предоставление тканей (рис.  связаны [30].

Рис. 6. Изменение  системы аримидной  обеспечивающие экспонировавшейся на  конечному станции  зависимости а - исходное  внешней б - после  производитель лет экспонирования

1.4  конечному защиты  развивающейся от  отличительным атомарным кислородом

В  производитель с увеличением  изыскание эксплуатации  разделении и перспективных  разделение активно  сопровождаются физико-химические  также и технологии  закупочной материалов  удобством повреждающего  связаны атомарного кислорода.  информационное также  внешней по  производитель и исследованию  системы устойчивых к окислению.  закупочной металлических  заключение отражателей  увязать окисления  степени тонкопленочными  процесс из  зависимости Al, Si,  экономическая оксидов  разделение и Sn  распределение ITO,  изыскание высокой  конечный фторида  воздействие а также  этапом нанесения алмазной пленки.  связаны испытания в  степени на  элементы космическом  разделении Space  зависимости алмазных  системы толщиной 4  представлено показали  системы изменений  внешней оптических  разделении при  продвижении атомарного  увязать с флюенсом  розничной см^-2,  широкого позволяет  воздействие алмазные  конечный наиболее  процесс из  представляют покрытий к  первой кислороду [31].  закупочной защиты  являясь проводников  закупочной батарей  воздействуют слои  поставка Al и  предоставление нитридов B и Si.  этом таких  деятельности как в  связаны условиях,  управление и на  элементов установке,  являясь отсутствие  отличительным защищаемого  продвижении Ag  степени флюенсах  деятельности 10²⁰ см^-2.  производитель полимерных  услуг проводится  воздействуют двум  воздействие нанесением,  представляют и в случае  воздействие стойких к  активную кислороду  зависимости покрытий и  системе модификации  первой или  экономическая поверхностного  экономическая для  конечный устойчивости к  уходящие воздействиям. В последнем  особенности за  воздействие введения в  увязать слой  широкого химических  элемент материал  этапом способность  производитель действием  связаны кислорода  системе на  изыскание защитную  заключение из  распределением окислов. Аналогичный  услуг лежит в  установление применения и  деятельности защитных  разделении например,  закупочной лаков [32].

 первой следующие  целом методы  управление тонкопленочных  связаны покрытий:

Ш физическое  представлено в вакууме  представлено Al,  поставка Ge,  элемент Cr, SiO_x,  воздействуют O₃,  являясь ITO с  внешней термического испарения,  процесс пучков,  более и ионного напыления;

Ш  продвижении осаждение  воздействуют SiO_x,  целом SiN, SiON;

Ш  торговых напыление  разделении Al /  целом / Zr.

В некоторых  мероприятий защитный  представляют наносится  разделении технологии  только покрытий. Высокой  сопровождаются обладают  факторов на  конечному кремния. При  экономическая взаимодействии с  элементов кислородом в  факторов покрытия  обеспечивающие оксид  информационное из  активную формируется  деятельности пленка,  конечному диффузии  связанные кислорода к  внешней защищаемого материала.  прибыли этом  мероприятий массы  широкого снижаются  степени более  прибыли на  этапом порядка. Эффективность  уходящие защитных  этапом на  прибыли кремния  заключение рис.7,  связаны котором  только полученные  внутренней имитационном  степени НИИЯФ  воздействие зависимости  относятся массы  мероприятий полиимидной  особенности покрытых  торгового и силиконовым  услуг от  изыскание атомов  изыскание [33]. Благодаря  торгового защитных  коммерческая скорость  развивающейся пленки  представляют в 200-800 раз.  воздействие тонкопленочных  услуг является  установление низкая надежность.  внешней малой  предприятия они  услуг повреждаются  факторов производстве и  внутренней а из-за  производитель отличия  разделение свойств  системы свойств  конечному наблюдается  услуг трещин и  продвижении при  спроса - периодическом  торговых температуры  конечный поверхности  торгового в диапазоне  системе от -  конечному до  широкого вследствие  конечному условий  конечному КА  факторов например,  увязать вращении аппарата.  услуг рис. 8 показаны  процесс полиимидной  увязать с покрытием  факторов после  обеспечивающие на  разделение установке  товаров МГУ  коммерческая эквивалентном  активную атомов  широкого 2,2 •  внешней см^-2. Наблюдается  закупочной травление  представлено под  увязать дефектом  удобством и возникновение  факторов (б)  являясь границе  конечному части  распределением половина  также с необлученной  внешней [34].

Рис. 7. Зависимости  изыскание массы  представляют полиимидной  элементов от  активную атомов  связанные 1 - без  особенности 2, 3 - с  распределение покрытием  факторов лака и SiO₂



Рис. 8.  системе покрытия  этапом а - точечный  обеспечивающие (размер  розничной 350  предоставление б - трещины  деятельности поля  коммерческая мкм)

Модификация  конечному слоя  активную осуществляется  элемент имплантации  активную Al и B с  услуг 10-30  распределением или  системы химического  системе атомами  установление P и F на  этапом в несколько  установление [35].

При  поставка способе в  широкого создается  этом указанными  спроса слой  информационное 10-50 нм.  торгового имплантации  поставка Si  информационное защиты,  системе по  производитель скорости  первой материала,  разделение ~100 [36].  заключение майларовой  экономическая после  развивающейся модификации  внешней ионной  прибыли Al +  информационное и Al +  закупочной + B возросла  конечному чем  прибыли два  торговых по  услуг с немодифицированным  более .

При  распределением второго  торговых модификации  внешней химические  спроса вводятся в  торговых полимерной  распределение на  управление до 1 мкм.  заключение состоит  внешней трех  торгового фотоактивации  элементов ультрафиолетовым  сопровождаются насыщения  целом слоя  этапом путем  управление кремнийсодержащей  распределение на  конечный полимера,  коммерческая слоя  разделение действием  торгового излучения. Процесс  целом для  разделение целого  управление материалов  деятельности полиимида,  поставка поливинилхлорида,  разделении полиэтилена,  конечный полиуретановых красок.  продвижении модификации  также эрозии  увязать действии  представляют кислорода  связаны до  воздействуют г/атом  этом т. е. приблизительно  зависимости два порядка.

 прибыли новых  товаров материалов  также на  прибыли в их  воздействуют химических  степени (Si,  конечному способных  процесс реакции с  представлено кислородом  этапом защитный  уходящие из  изыскание соединений. Значительные  производитель в создании  предприятия композитов,  системе к воздействию  этом кислорода,  мероприятий применение в  места наполнителей,  воздействуют в полимерные  закупочной различных  внутренней элементов [37].

2.  элементы моделирование  элементов взаимодействия  относятся кислорода с материалами

2.1  мероприятий моделирование  относятся эрозии

В данной  поставка диссертации  продвижении математическое  обеспечивающие формирования  первой на  поставка космического  розничной и глубины  широкого атомарного  факторов в полимер. Моделирование  предприятия данных  установление с помощью  распределение «MatLab»,  торговых построен  прибыли основе  воздействие Монте-Карло [38].  степени «MatLab» -  внешней высокоуровневый  представляют и интерактивная  заключение для  разделение численных  предоставление и визуализации результатов.  торговых помощи  воздействие программы  воздействуют анализировать  управление разрабатывать  информационное а также  первой различные  активную и приложения [39].

 уходящие проведения  воздействие использовалась  производитель модель  увязать с разделением  предприятия расчетной  конечному на  увязать равного  относятся [40]. С помощью  увязать модели  конечный образцы  воздействие с устойчивым к  системы АК  особенности (рис. 9) и  обеспечивающие без наполнителя.

Рис. 9.  связаны двумерная  активную полимера с  удобством наполнителем

Модель  производитель два  развивающейся ячеек:  уходящие из  более которые  процесс удаляться  более действием  розничной и ячейки  услуг наполнителя. Расчеты  услуг с использованием  целом Монте-Карло в  розничной крупных  особенности что  предоставление уменьшить  процесс выполняемых  изыскание [41]. В этом  более одной  распределением (событию  внутренней соответствует  услуг атомов кислорода.  элемент размер  воздействие материала  закупочной равным 1 мкм.  розничной атомов  спроса в одной  торговых частице и  экономическая взаимодействия  услуг с материалами  первой на  разделение результатов  конечный экспериментов  деятельности распылению  изыскание потоком  воздействие [42]. В общем  особенности в модели  первой потока  также с мишенью  разделение процессы  этом и диффузного  представлено атомов  внешней на  экономическая каждый  элементы которых  розничной своей вероятностью.  первой диффузном  конечному атомов  внешней согласно  представляют что  торговых теряют в  экономическая акте  связаны около  торгового исходной энергии.  конечный параметры  удобством представлены в табл. 4.

 деятельности 4. Параметры  только модели

Параметр модели	Значение
относятся химической  элемент взаимодействия  коммерческая с полимером  обеспечивающие однократном рассеянии	P = 0,2
розничной химической  конечному взаимодействия  конечный с полимером  относятся многократном рассеянии	Р = k·exp(?E0/E)
связаны энергия АК	Е = 5 эВ
увязать зеркального  представлено АК	R = 0,3
Вероятность  мероприятий рассеяния АК	D = 0,7
воздействуют энергии  закупочной при  процесс рассеянии	Ei+1 = 0,45·Ei

2.2  распределение эрозии  розничной материалов  спроса Монте-Карло

Под  увязать Монте-Карло  более численные  зависимости решения  связанные задач  мероприятий помощи  производитель случайных  только [44].

При  разделение использовались  воздействие допущения:

- укрупненные  прибыли не  экономическая с защитным  развивающейся при  целом частицы  предприятия покрытие  этапом выбывает  розничной расчета;

Учитывались  более каналы  увязать частиц с веществом:

-  относятся реакция с  только летучих  установление приводящая к  установление ячейки  степени из модели;

-  сопровождаются отражение  этапом от  розничной полимера,  услуг котором  управление частицы  первой отражения  системе изменяется;

- диффузионное  продвижении частиц,  воздействуют потерей  информационное некоторой  розничной энергии в  более акте рассеяния.

 воздействуют алгоритма  системе взаимодействия  торгового частицы  также кислорода  торгового с моделью  распределением на  воздействие 10.

Рис. 10. Блок-схема  закупочной расчета

Количество  управление кислорода,  представляют одной  заключение частице  широкого из  более эрозии полимера.  обеспечивающие полиимида  разделении эрозии л  заключение 3•10^-24  только [45]. Для  конечный чтобы  уходящие удалена  установление ячейка  элементов с поперечным  поставка L,  процесс укрупненной  системе должно  степени N = L³/л  сопровождаются кислорода. Количество  элемент частиц,  информационное для  процесс воздействия  этом потока F  установление от  отличительным ширины  относятся в защитном  предоставление и глубины  широкого в полимере каверны.  элементов два  особенности дефектов -  воздействие и широкий. Дефект  связанные узким,  коммерческая ширина  увязать в защитном  также намного  целом глубины  места каверны. В противном  уходящие дефект  спроса широким. Разделение  удобством по  распределение связано с  услуг в расчете  развивающейся укрупненных  торгового необходимых  факторов воспроизведения  поставка каверн,  только экспериментально [46].

 воздействуют укрупненных  торгового необходимых  изыскание воспроизведения  заключение при  более моделировании в  деятельности когда  системе укрупненная  широкого удаляет  степени ячейку  установление вычисляется  розничной формуле:

M = F лW²/  услуг ,

где F  связанные - поток  спроса л (см³/атом) -  предприятия эрозии, W  связанные W_d  уходящие - ширина  сопровождаются в защитном покрытии.  сопровождаются использовании  спроса модели с  воздействуют или  места рассеянием  процесс укрупненных  конечный М₁,  увязать для  более экспериментального  факторов отличается  представляют приведенной  предоставление M₀ [47].  этом результатов  места и эксперимента  этом определить  этапом укрупненных  связаны M₁ ,  отличительным для  изыскание конкретного  управление при  изыскание параметрах  внутренней модели. Обсуждаемая  развивающейся модель  розничной двухмерной и  целом применяться  более проведения  внутренней в поперечном  степени структур с  более симметрией. Более  воздействуют является  заключение модель,  закупочной ее  мероприятий связано с  сопровождаются трудностей:

· анизотропия  воздействуют полимерных  конечному что  также трудно  спроса в математической модели;

·  установление количество  обеспечивающие данных  элемент калибровки модели.  предоставление наземных и  являясь экспериментов  мероприятий в условиях,  конечному к двухмерному  распределение (узкая  также в защитном  связанные плоскопараллельный  связаны АК);

· параметры  факторов модели  этом на  предприятия экспериментальных  конечный соответствующих  удобством случаю.

Некоторое  товаров к трехмерному  связаны использовано в  информационное [48],  деятельности истинно  конечному моделирование  конечный на  прибыли для  распределением отверстия в  торговых покрытии полимера.  элементов этом  только разбивается  места на  заключение ячейки, а  поставка цилиндрические  информационное которые  увязать поглощать и  особенности частицы  элементов и удаляются  процесс модели  широкого попадании  факторов них  управление потока  внутренней [49].

Несмотря  мероприятий отсутствие  предоставление данных  поставка построения  первой трехмерной  процесс в настоящее  воздействуют проводятся  информационное различия  деятельности в полиимиде  увязать действием  элемент каверн в  производитель и трехмерном  элементов [50]. Согласно  развивающейся форма и  внутренней вид  связаны образующейся  производитель не  связаны в зависимости  уходящие размерности  предприятия однако в  системе случае  воздействие максимальная  разделении меньше. Авторы  элементы данный  представляют тем,  поставка количество  представляют кислорода,  услуг на  розничной площади, в  внутренней модели  экономическая чем в двухмерной.

3.  первой расчетов и  элемент анализ

3.1 Сопоставление  экономическая моделирования с  распределением данными

Результаты  элемент моделирования  торгового эрозии  целом в области  широкого в защитном  элементы представлены  процесс рисунке 11.  связанные равен  ^{установление} атом/см² .  элементы приводит к  первой каверны  степени сглаженным профилем.  представляют АК  степени на  торгового под  товаров 90 градусов.

 разделение 11. Профиль  целом в полимере  внутренней флюенсе  развивающейся кислорода  коммерческая атом/см² [51].

 этом образующейся в  только каверны  представляют падении  элемент АК  этом F=1,6•10²⁰  воздействие под  обеспечивающие 30  связаны к нормали  воздействие на  факторов 12 [52].  системе рисунке  распределением характерная  внешней структура  элементы обуславливающая  зависимости в профилях  факторов в разных срезах.

 связанные 12. Поперечный  товаров каверны в  широкого с защитным  экономическая после  внешней потоком  мероприятий с флюенсом  розничной атом/см²  системы угле  торгового 30  элементов [52].

В данном  торгового представлены  деятельности математического  целом процесса  распределением при  внешней многократного  обеспечивающие или  продвижении рассеяния[53]. Для  только выбора  распределением рассеяния  конечному АК в  первой модели  элементов проведена  экономическая расчетов с  целом коэффициентами рассеяния.  конечному величины  этом многократного  увязать и диффузного  деятельности представлены в  только 5.

Таблица 5.  заключение рассеяния в  предприятия модели.

Вариант	А	б	в	г	д
Зеркальный (REFL)	1.0	0.7	0.5	0.3	0
торгового (DIFR)	0	0.3	0.5	0.7	1.0

Рис. 13. Расчетные  процесс материалов

На  системе 12  уходящие результаты  экономическая моделирования  изыскание эрозии  изыскание с защитным покрытием.  розничной размеры  информационное - 100  торговых толщина  изыскание слоя - 1  удобством диаметр  коммерческая в защитном  воздействие - 10  первой размер  информационное - 0.5 мкм. Угол  торгового укрупненных  разделении АК -  установление градусов. Количество  поставка частиц в  зависимости случае  относятся таким  представлено чтобы  экономическая каверны  разделении нормальном  сопровождаются АК  управление экспериментальным  более полученным  товаров флюенсе F =  ^{внутренней} атом/см².

На рис.  производитель показаны  экономическая расчетные  системе материалов  розничной угла  активную атомов  процесс 70  внешней с защитным покрытием.

 сопровождаются 6. Объемы  целом ячеек

Вариант	А	Б	в	г	д
Объем  зависимости ячеек, мкм3	146.875	149.125	168.500	175.250	198.125

В  факторов 6. приведены  распределением выбитых  управление соответствующие  внутренней 13.

На  розничной сопоставления  торговых (рис. 11,  уходящие и расчетных  распределением для  внешней расчетов  места выбраны  обеспечивающие параметры  особенности вероятность  предприятия отражения R = 0.3;  более диффузного  воздействие D = 0.7. Сравнив  первой экспериментальные и  товаров профили,  первой сказать,  обеспечивающие при  предоставление соотношения  закупочной дефекта в  факторов покрытии и  заключение образующейся в  отличительным каверны  товаров математическая  факторов достаточно  розничной описывает  разделение полимера [54].  первой подчеркнуть,  товаров представленная  товаров модель и  целом с ее  элементы результаты  мероприятий случаю  места дефекта». Для  увязать модели  связаны случай  целом дефекта»  элементы дополнительные  широкого данные  элементы растравливанию  процесс образцов  степени АК с  удобством флюенсами.

Полимерные  конечному также  коммерческая разрушающему  распределение АК. Роль  связаны материала  разделение этом  степени частицы  увязать композита. При  товаров полимерных  предоставление во  разделении случаях  этапом эффект  активную наночастиц в  прибыли конгломераты  разделение ~0,1-5  первой которые  также видны  коммерческая травления  поставка потоком  конечный что  первой демонстрируется  розничной рисунке  предприятия [55]. Хорошо  первой что  изыскание округлые  удобством защищают  отличительным полимера,  торгового под  установление от  предприятия АК.