Оптическая система устройства регистрации магнитограмм
Обоснование конструкции оптико-электронного устройства регистрации магнитограмм. Кристаллическая структура и параметры решетки. Крепление оптических элементов. Нанесение зеркального покрытия термическим испарением в вакууме. Сборка измерительной ветви.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | дипломная работа |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 01.10.2017 |
| Размер файла | 3,6 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
4.5 Механообработка подложки
4.5.1 Резка подложки на заготовки
Распиловочные станки предназначены для резки блоков оптических материалов дисковыми пилами с алмазной режущей кромкой. Выберем станок, обрабатывающий заготовку размером менее 200мм. При резке заготовок из кристаллических материалов необходимо учитывать их малую механическую прочность и использовать при резке мягкие режимы. В данном случае предпочтителен станок универсальный отрезной АОС-200М с характеристиками, представленными в таблице 4.1.
Таблица 4.1 Характеристики станка АОС-200М
|
Размеры разрезаемой заготовки плиты, (мм): |
- Длина: 50-200; - Ширина: 50-200; - Толщина: 10-70; |
|
|
Штабики и дроты, (мм): |
- Диаметр или сторона заготовки: 10-70; - Наибольшая длина: 200; |
|
|
Диаметр алмазного круга по ГОСТ 10110-78, (мм): |
200, 320; |
|
|
Наибольшее перемещение стола, (мм): |
- Поперечное: 200; - Продольное: 80; |
|
|
Наибольший угол поворота поворотного стола вокруг вертикальной оси, (град): |
360; |
|
|
Наибольший угол наклона поворотного стола относительно горизонтальной плоскости, (град): |
15; |
|
|
Пределы поперечной подачи стола, (мм/мин): |
29-285; |
|
|
Пределы подачи инструмента, (мм/мин): |
5-200; |
|
|
Частота вращения шпинделя, (об/мин): |
1450, 2850; |
|
|
Суммарная установленная мощность, (кВт): |
5,64; |
|
|
Габаритные размеры, (мм): |
1100х1050х1600; |
|
|
Масса, (кг): |
1200. |
Распиливание заготовок в виде кусков и пластин выполняют алмазными отрезными кругами формы АОК по ГОСТ 10110-87. Стандарт предусматривает 12 типоразмеров кругов. Они различаются диаметром, шириной и толщиной алмазосодержащего слоя. Круги представляют собой диски из холоднокатаной стали марки 08кп по ГОСТ 1050-88, по периферии которых способом порошковой металлургии закреплен алмазосодержащий слой. Диаметр кругов от 50 до 500 мм, толщина от 0,15 до 2,4 мм. Профиль алмазосодержащего слоя прямоугольный и трапецеидальный. Марки применяемых алмазных порошков: А2, АС15, АС20, АС50. Зернистость от 50/40 до 630/500. Концентрация находится в пределах от 2 до 100% с увеличением зернистости, которая находится в зависимости от диаметра круга.
Рис. 4.6. Чертеж алмазного отрезного круга
Выберем круг 2726-0234. Его параметры представлены в таблице 4.2.
Таблица 4.2 Параметрыкруга 2726-0234
|
Обозначение круга |
D |
H H7 |
T |
E |
X |
|||
|
Номин. |
Пред. Откл. |
Номин. |
Пред. Откл. |
|||||
|
2726-0234 |
200 |
±0,40 |
32 |
0,8 |
±0,05 |
0,6 |
5,0 |
Зернистость 160/125.
При распиливании используется смазочно-охлаждающая жидкость (СОЖ). Применим в качестве СОЖ эмульсию. Эмульсия имеет следующий состав, %: эмульсол от 2 до 8, керосин - от 0 до 8, вода - от 85 до 98. Представляет собой отходы масляного производства, содержит малое количество поверхностно активных веществ.
Блокирование:
Вспомогательный инструмент: Планшайба цеховая ГОСТ4784-74
1.Нагреть планшайбу, стеклянную пластину и заготовку до температуры наклеечной смолы. Оборудование - плита электрическая.
2.Смазать планшайбу, стеклянную пластину и заготовки наклеечной смолой.
3.Положить на планшайбу стеклянную пластину
4.Положить на пластину заготовки
5.Охладить блок заготовок
Распиловка на станке АОС-200М
Инструмент - АОК.
Вспомогательный инструмент: Планшайба цеховая ГОСТ4784-74
Измерительный инструмент: линейка металлическая
1.Закрепить блок заготовок в тиски на поворотном столе станка
2.Выставить блок так, чтобы плоскость распила совпадала с плоскостью вращения пилы.
3.Включить станок
4.Отрезать заготовки толщиной 1,2мм
Разблокирование:
1.Выключить станок
2.Снять блок заготовок со станка
3.Нагреть блок на плите до температуры плавления наклеечного состава
4.Снять заготовки
5.Протереть планшайбу ватой с бензином
Промывка:
1.Протереть заготовки ватой с бензином.
2.Промыть заготовки горячей водой и протереть салфеткой
4.5.2 Шлифование подложки
Шлифование является определяющей стадией механической обработки, в процессе которой обеспечивается сохранение ориентации, полученной при резке или исправления угла среза, и формируют основные параметры точности и качества подложек, подготавливая поверхности к последующему полированию.
Даже имея материал с исключительно высокимкристаллическим совершенством, невозможно получить высококачественную эпитаксиальную пленку, если поверхность не обработана так, чтобы исключить все следы нарушений, связанных с резкой и механической полировкой. Наряду с требованием к качеству поверхности должны быть обеспечены плоскостность и параллельность. И, наконец, подложка должна быть тщательно очищена и подготовлена к эпитаксиальному процессу таким образом, чтобы в идеальном случае единственным источником дефектов в пленке мог бы оказаться только сам процесс жидкофазной эпитаксии.
Жесткое блокирование плоской поверхности
1.Нагреть наклеечное приспособление
2.Установить наклеечное приспособление на подставку
3.Нанести слой смолы или клей-расплава в лунки наклеечного приспособления или на поверхность плоского наклеечного приспособления
4.Разогреть заготовки
5.Положить заготовки в лунки на слой смолы, нанесенный на поверхность наклеечного приспособления и прижать их
6.Охладить блок на воздухе
Расчет плоского блока
Рис.4.7 Схема блокирования
Здесь выбираем оптимальную схему расположения заготовок в центральной зоне, обеспечивающую рациональное использование площади наклеечного приспособления, число зон, по которым располагаются заготовки, их количество. Коэффициент заполнения, характеризуемый отношением суммарной площади, занимаемой круглыми заготовками, к общей площади блока, одинаков у схем с одной, тремя и четырьмя заготовками в центральной зоне[26].
Для нахождения параметров блока последовательно выполняют следующие вычисления.
1. Рассчитаем диаметр Di, описывающий i-ю зону блока для всех схем расположения заготовок диаметром DД в центральной зоне:
2. Найдем число i зон, по которым могут быть размещены заготовки и сравним с диаметром DНП=500мм наклеечного приспособления.
При размещении одной детали в центре число зон - 5.
При трех и четырех деталях в центральной зоне - 4 зоны.
3. Определим количество заготовок Мбл заготовок, которые могут быть собраны на блоке.
1 деталь в центральной зоне:
3 детали в центральной зоне:
4 детали в центральной зоне:
Наиболее выгодным является заполнение с одним элементов в центральной зоне.
Шлифование плоской поверхности
Производить на станке 3ШП-350
Инструмент: плоскошлифовальный круг
1. Тонкое шлифование заготовки выполнить комплектом плоских шлифовальников по переходам, применяя абразивные материалы с убывающей зернистостью М10, М7, М5.
2. Установить на шпинделе обрабатывающий инструмент
3. Произвести тонкое шлифование микропорошком М10
4. После окончания шлифования выключить шпиндель, блок очистить от остатков шлифовального материала
5. Произвести тонкое шлифование микропорошком М7 и М5
4.5.3 Полирование подложки
При механической обработке поверхности подложки в качестве промежуточных стадий полировки можно использовать абразивные порошки из алмаза или окиси алюминия.
Для получения поверхности с малой глубиной нарушенного слоя применяют химико-механическое полирование. Оно ведется твердыми сферическими частицами диоксида кремния коллоидного диапазона зернистости 0.04-0,15 мкм (аэросила) в составе щелочной суспензии (вода 1000 мл, аэросил 90 г, глицерин 50 мл, этилендиамин 80 мл, перекись водорода 40 мл). Можно также применять полирование с помощью суспензии из Si02 сразу после шлифования, минуя промежуточные стадии полирования, однако при этом намного увеличивается время обработки, необходимое для снятия нарушенного поверхностного слоя.
После шлифования успех финишной обработки зависит от сочетания скорости полирования, давления па подложку и скорости подачи суспензии. Обычно полирование производят при частоте вращения полировального круга 50--100 об/мин и удельном давлении (0,1--0,3) * 105 Н/м2.
Из-за сравнительно невысокой твердости ГГГ внешние загрязнения следует сводить к минимуму путем создания гермозоны в месте обработки подложек. Дополнительные сложности также возникают из-за того, что коллоидные частицы Si02образуют агломераты, продолжающие нарушать поверхность подложки. Это происходит, если используют слишком большие давления и скорости полирования в сочетании с неравномерным распределением потока жидкости по площади образца, что приводит к локальному возрастанию температуры и испарению жидкой связки. При правильно подобранных давлениях и скоростях полирования и скорости подачи суспензии примерно 1 капля в секунду можно получить высокое качество поверхности.
Полирование
Производить на станке 3ШП-350
Инструмент: плоскошлифовальный круг
1.Зазоры между деталями очистить от смолы
2.Подрезать равномерно полировальник по всей поверхности, подогреть в горячей воде и смазать полирующей суспензией
3.Установить на шпинделе станка обрабатывающий инструмент и осуществить ручную прополировку блока с деталями используя в качестве суспензии аэросил.
4. Полировать блок в течение 10 минут. Частота вращения 80 об/мин.
5. По окончании полирования снять блок со станка, промыть мягкой губкой в теплой воде
6. Произвести контроль класса чистоты. Инструмент: лупа 6х, микрометр
Лакирование плоской поверхности
Защитное покрытие эмалью отполированной поверхности во избежание получений повреждений во время закрепления детали, центрировки и транспортировки ее в помещениях цеха.
Используется: эмаль НЦ-25, кисть беличья, салфетка фланелевая, работы проводить под вытяжкой.
Разблокирование осуществлять охлаждением при температуре от -30 до -50оС.
Промывка водой
Повторить пункты шлифования, полирования и лакирования для другой стороны пластины.
Контроль подложек.
Контролируют качество поверхности (дефекты поверхности и при необходимости глубину нарушенного слоя) и отклонения геометрической формы (разнотолщинность, клиновидность, неплоскостность и прогиб).
Состояние шлифованной и полированной поверхностей пластин, наличие ямок, светящихся точек, сколов, пятен, рисок и трещин контролируют визуально невооруженным глазом или под микроскопом. При помощи стереоскопического микроскопа МБС-1 и металлографического микроскопа МИС-11 проверяют наличие на поверхности дефектов и следов загрязнения при максимальных увеличениях - 88x (МБС-1) и 1440x (МИС-11).
После любой абразивной обработки возникает нарушенный слой за счет ударного воздействия зерен на обрабатываемую поверхность.
Глубину нарушенного слоя определяют несколькими методами: рентгеновским, электронографическим, травлением и др.
Толщину пластин измеряют либо установленным на стойке индикатором часового типа с ценой деления 1 мкм, либо оптическим длинномером ИКВ-3 (± 0,5 мкм) .
Индикатор и длинномер ИКВ-3 используют также для определения клиновидности пластин, которая будет равна наибольшей разности значений толщин пластины в диаметрально противоположных точках.
Для измерения неплоскостности окончательно обработанных пластин, закрепленных на вакуумном столике, используют интерферометры с лазерным источником излучения.
Прогиб пластин контролируется бесконтактным емкостным или интерференционными методами.
4.6Эпитаксиальное выращивание Bi-содержащих МПФГ
Эпитаксиальные гранатовые магнитные пленки для магнитооптических применений могут быть получены различными методами: газотранспортной эпитаксией (ГТЭ), гидротермальной эпитаксией и жидкофазной эпитаксией (ЖФЭ). ЖФЭ наиболее эффективна.
Этим процессом могут быть получены гранатовые пленки многих составов с чрезвычайно низкой даже нулевой плотностью дефектов, характеристики которых легко контролируются и воспроизводятся.
При выращивании пленки главным требованием является соблюдение равенства постоянных решеток подложки и пленки, что в свою очередь влияет на магнитооптические характеристики МПФГ.
Существо ЖФЭ заключается в том, что подготовленная для эпитаксии монокристаллическая подложка помещается в раствор-расплав, содержащий компоненты выращиваемой пленки и растворитель. Если раствор-расплав находится в переохлажденном состоянии, то на подложке нарастает монокристаллический слой магнитного граната заданного состава. Наиболее распространенным вариантом ЖФЭ в применении к выращиванию магнитных гранатовых пленок является метод погружения, заключающийся в кратковременном погружении горизонтально или вертикально расположенной подложки в раствор-расплав, содержащийся в платиновом тигле. Для получения пленки на одной стороне подложки рост производится сразу на двух горизонтально расположенных подложках, закрепленных вместе в платиновом держателе. При хорошей плоскостности поверхности подложек рост пленки на соприкасающихся поверхностях не происходит. ЖФЭ в себя включает следующие этапы: подготовку раствора-расплава (нагрев, выдержка, охлаждение до температуры роста), опускание подложки на уровень расплава, выдержку над поверхностью расплава для выравнивания температуры подложки, погружение подложки в раствор-расплав на время роста пленки, подъем подложки с пленкой со скоростью около 50 мм/мин, а также программа вращения тигля и подложки, включающая как обязательный элемент быструю (400--1000 об/мин) раскрутку подложки после подъема из раствора-расплава для центробежного удаления его остатков с поверхности пленки [7].
Если раствор-расплав переохлажден, то при погружении в него соответствующей монокристаллической подложки происходит рост пленки. Скорость роста линейно зависит от приведенного параметра переохлаждения. Толщина эпитаксиальной пленки также линейно зависит от времени выращивания для разных ростовых условий, кроме начального периода, где эта зависимость существенно нелинейная. Такое поведение свидетельствует о наличии переходного периода в росте, в течение которого формируется пограничный диффузионный слой.
Рис. 4.8. Схема установки ЖФЭ
На рис.4.8 показана схема установки эпитаксиального выращивания, где 1 - верхняя управляющая головка, 2 - печной блок предварительного нагрева, 3 - основной печной блок, 4 - подъемная система печи, 5 - нижняя управляющая головка, 6 - двигатель вертикального перемещения штока, 7 - двигатель осевого вращения штока, 8 - верхняя керамическая заглушка, 9 - средняя керамическая заглушка, 10 - платиновый тигель с расплавом, 11 - подложка, 12 - компьютер, 13 - блок АЦП и ЦАП, 14 - блок энергоснабжения двигателей, 15 - устройство ручного контроля, 16 - устройство зонного контроля температур.
При росте из раствора процессом, контролирующим скорость роста, может быть либо транспорт материала к растущей поверхности, либо кинетические эффекты на поверхности раздела, где частицы материала присоединяются к растущему кристаллу. Если объемная диффузия через пограничный слой играет решающую роль в скорости роста кристалла, то последняя есть некоторая функция относительного движения между раствором и кристаллом. Вращение кристалла, например, скажется в снижении толщины пограничного слоя и приведет, следовательно, к увеличению скорости роста кристалла.
В целом диффузионный механизмроста в ЖФЭ гранатовых пленок подтверждается следующими фактами: 1) до некоторой степени переохлаждения (10--20°С) сохраняется строгая линейность в зависимости скорости роста от переохлаждения; 2) скорость роста на подложках ориентации [111] не зависит от плотности дислокаций в них и сохраняет свое значение приросте на бездислокационных подложках. Однако зависимость скорости роста от кристаллографической ориентации поверхности подложки, а также большая скорость роста на начальном участке толщины пленки (примерно 0,1 мкм) говорят о некотором вкладе реакционной поверхностной кинетики в эпитаксиальный рост. С учетом вышесказанного жидкофазная эпитаксия гранатовых пленок может быть представлена следующей последовательностью элементарных процессов:
перенос компонент раствора к границе диффузионного слоя, примыкающего к фронту кристаллизации;
независимая диффузия компонент через диффузионный слой;
возможное упорядочение компонент вблизи фронта кристаллизации;
десольватация молекул растворителя и поверхностная диффузия компонент кристаллизации к местам присоединения;
диффузия молекул растворителя через диффузионный слой в раствор.
Магнитные характеристики эпитаксиальных гранатовых пленок в значительной степени зависят от условии выращивания. Намагниченность 4рМsможно изменять либо изотермическим отжигом пленок при соответствующей равновесной температуре, либо изменением содержания галлия путем вариации ростовых параметров, в частности, скорости роста, которая связана с переохлаждением и частотой вращения подложки.
Выращивание гранатовых пленок с висмутом с повышенными магнитооптическими свойствами связано с выполнением ряда специфических требований, обусловленных особенностями применения этих материалов. Во-первых, оптическое поглощение в видимом диапазоне света должно быть минимальным; во-вторых, анизотропия пленок должна изменяться в широких пределах -- от большой одноосной перпендикулярной поверхности пленки до плоскостной; коэрцитивность доменной стенки должна изменяться от долей эрстеда до десятков эрстед и др. Выполнение многих из этих требований определяется условиями выращивания пленок.
Для минимизации оптического поглощения пленки не должны содержать нескомпенсированных двух- и четырехвалентных примесей, таких как Рb2+, Са2+, Si4+, Gе4+, Рt4+, влияние которых на поглощение неодинаково.
При выращивании пленок с Вi раствор-расплавдолжен удовлетворять следующим требованиям:1) содержать Вi2О3 в большой концентрации; 2) иметь низкую температуру ликвидуса, так как температурная зависимость коэффициента распределения Bi ограничивает максимальное замещение в гранате при повышении температуры роста; 3) иметь вязкость менее 2-10-3Нс/м2; 4) другие, кроме Вi и Fе, компоненты растворителя не должны внедряться в гранатовую пленку и ухудшать ее свойства; 5) растворимость компонент граната в растворе-расплаве должна быть высокой и раствор-расплав должен быть стабилен в переохлажденном состоянии. Многим из этих требований удовлетворяет раствор-расплав на основе растворителя Вi2О3--RО2 (R - Si, Ge, Ce) (см. табл. 3.5). При выращивании Bi-содержащих пленок температура гомогенизации расплава 1050°С [30].
Для проведения жидкофазной эпитаксии используется установка Эпигран ТМ. Схема представлена на рис. 4.9.
Рис.4.9. Схема установки жидкофазной эпитаксии структур Эпигран ТМ.
Установка обладает следующими особенностями:
· Автоматический цикл подготовки расплава и нанесения структуры на подложку.
· В установке имеется 5 зон нагрева печи и 1 зона нагрева тигля для формирования необходимого температурного градиента в диапазоне рабочих температур 300-1250°С при атмосферном давлении.
· Прецизионное независимое управление температурой каждой зоны.
· Применение прецизионных малогабаритных приводов линейного перемещения и вращения.
· Мониторинг и графическое отображение температуры и положения механизмов.
· Система блокировок безопасности в автоматическом, ручном и наладочном режимах.
· Пониженное энергопотребление за счет применения новейших теплоизоляционных материалов.
· Повышение экологической безопасности оператора за счет полного ограждения технологического агрегата и организации в его объеме вытяжной вентиляции.
· Возможность реализации в установке физико-термических процессов - сушка, отжиг, диффузия, спекание структур и других.
Процесс выращивания висмутсодержащей пленки феррит-граната:
1. Взвешивание шихты при помощи весов“Sartorius E 5500 S”в следующих порциях:
Вi2О3 - 233 г, Y2О3- 2,07 г, Fe2О3- 11,0 г, Ga2О3 - 1,0 г, CeО2- 0,86 г.
Контроль шихты осуществлять химическим анализом трех проб в соде, борной кислоте. Содержание посторонних примесей не должно превышать 10-4 ат. долей.
2. Загрузить и перемешать шихту в муфельной печи
3. Нагреть до температуры 1050оС и расплавить шихту в течение 4 часов.
4. Провести гомогенизацию при данной температуре в течение 10 часов. При этом 4 часа перемешивать платиновой мешалкой.
5. Снизить температуру до 860оС в течение 2,5 часов.
6. Отмытую и высушенную подложку загрузить в держатель, который закрепляется на алундовом штоке.
7. Опустить подложку в печь в течение 15...20 мин с выдержкой над расплавом 5 мин. Цикл роста занимает 3-5 мин со скоростью вытягивания 1мкм/мин. Скорость вращения подложки составляет 170 об/мин. Для улучшения однородности параметров по площади пленки и выравнивания их значений на верхней и нижней сторонах подложки применяют реверсирование направления вращения подложки через каждые 3 оборота.
8. Сбросить капли расплава при ускоренном вращении 700 об/мин в течение 1...3 мин, кристалл удалить из печи за 10...12 мин.
9. Остатки капель расплава удалить травлением в горячей (50...70оС) 10%-ной уксусной или азотной кислоте с последующей промывкой в деонизованной воде.
4.7 Нанесение покрытий
4.7.1 Нанесение зеркального покрытия термическим испарением в вакууме
Для повышения коэффициента отражения и защиты магнитной пленки от химического и механического взаимодействия требуется нанести зеркальное покрытие.
Получение тонких пленок на основе термического испарения материала осуществляется в вакуумной установке (ВУ) с подколпачным устройством. Требуется нанести покрытие толщиной 0,4 мкм из алюминия (Тис,660 С) с подслоем хрома (Тис,1900 С).
Установка вакуумная модели ВУ-1А
Изделие предназначено для нанесения покрытий на оптические детали методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводниковых материалов и металлов с одновременным контролем толщины покрытия. Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на деталях серийной продукции, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра. Установка может эксплуатироваться в закрытых сухих помещениях промышленных объектов категории 4.2. по ГОСТ 15150-69 и климатических условиях:
· температура окружающей среды от 170С до 270С;
· относительная влажность от 40 до 75%;
· атмосферное давление от 8,4.104 до 10,6.104Па ( 630 до 780 мм.рт.ст.)
В состав установки входит:
· откачной пост (с высоковакуумными откачными средствами, вакуумной системой и пневмо-гидроаппаратурой);
· форвакуумный агрегат;
· электрооборудование (с двумя стойками управления- управление вакуумной системой и управление технологическими источниками).
В таблице 4.3 приведены основные характеристики ВУ-1А.
Таблица 4.3 Технические характеристики
|
Давление в камере при одновременном нагреве ее до 3200С и при охлаждении всех ловушек жидким азотом, Па |
4х10-4 |
|
|
Время достижения давления 4х10-4Па, мин, не более |
30 |
|
|
Регулируемая температура нагрева в камере, С0 |
от 100 до 320 |
|
|
Количество резистивных испарителей, шт. |
2 |
|
|
Количество электронно-лучевых испарителей, шт. |
1 |
|
|
Вместимость деталей размерами, шт. · диаметром 40 мм · диаметром 70 мм |
70 6 |
|
|
Напряжение источника питания тлеющего разряда ионной очистки на холостом ходу, В |
от 2175± 20% до 4350± 20% |
|
|
Максимальный ток тлеющего разряда ионной очистки А, не более |
0,4 |
|
|
Максимально допустимый ток резистивного испарителя при напряжении на трансформаторах А, не более: · 12В · 24В |
300 150 |
|
|
Максимальный ток электронно-лучевого испарителя, мА |
480±20 |
|
|
Мощность, потребляемая установкой, кВт, не более |
20 |
|
|
Масса установки, кг, не более |
1 900 |
|
|
Площадь, занимаемая установкой, м2, не более |
6 |
Рис.4.10 Схема вакуумной установки
Процесс нанесения зеркального покрытия:
1.Подготовка подложек - промывка и обезжиривание их этиловым спиртом
2. Подготовка вакуумной камеры включает промывку и сушку колпака и технологической оснастки, размещение подложек в оправах оснастки.
3. Откачивание воздуха из вакуумной камеры до давления до 10-3 мм рт ст форвакуумным насосом
4.Обработку подложек тлеющим разрядом
5.Откачивание воздуха из вакуумной камеры до до 10-6 мм рт ст
6.Испарение вещества происходит под колпаком после откачки воздуха
7.Разгерметизация колпака
8.Контроль покрытия. Инструмент: Микроскоп металлографический рабочий ММР-4
4.7.2 Нанесение просветляющего покрытия
Целью данного процесса является уменьшение коэффициента отражения на поверхности подложки для увеличения оптических характеристик устройства считывания скрытых магнитных изображений.
К материалам испарителей предъявляются следующие требования:
Между материалом испарителя и испаряемым веществом не должно происходить химических реакций.
Давление пара материала испарителя при температуре испарения напыляемого вещества должно быть пренебрежимо малым.
Материал испарителя должен обладать хорошей смачиваемостью поверхности испаряемым веществом.
Нанесение покрытия проводят также в ВУ.
Испаритель обычно выполняют из тугоплавкого материала (Mo, W, Ta) в виде лодочки.
При выборе веществ для напыления следует руководствоваться следующими требованиями:
Испаряемое вещество должно быть соответствующим образом обработано, высушено, обезгажено, гранулировано доставлено в вакуумную лабораторию в специальной герметичной таре.
Напыляемое вещество должно быть близким по физическим и химическим свойствам к материалу подложки.
Основными материалами для покрытия выбраны ZnS (Тис,1850 С) и MgF2 (Тис,1260 С).
Процесс нанесения просветляющего покрытия:
1. Подготовка подложек - промывка и обезжиривание их этиловым спиртом
2. Подготовка вакуумной камеры включает промывку и сушку колпака и технологической оснастки, размещение подложек в оправах оснастки.
3. Откачивание воздуха из вакуумной камеры до давления до 10-3 мм рт ст форвакуумным насосом
4. Обработку подложек тлеющим разрядом
5. Откачивание воздуха из вакуумной камеры до до 10-6 мм рт ст
6. Испарение вещества происходит под колпаком после откачки воздуха
7. Разгерметизация колпака
8. Контроль толщины оптической пленки проверяют фотометрическим методом.
4.8 Разрезание на заготовки 10x10 мм
На данном этапе подложки разрезают на заготовки нужных размеров. В силу малости толщины подложки (1 мм), без труда обеспечивается раскалывание на заготовки 10x10 мм при небольшом усилии. Осуществляется в два этапа: 1 - лазерное скайбирование, 2 - Разламывание пластин на кристаллы
Рис. 4.11 Схема разрезания подложки на заготовки 10x10 мм
4.8.1 Лазерное скрайбирование
При лазерном скрайбировании разделительные риски между готовыми структурами создают испарением узкой полосы полупроводникового материала с поверхности пластины во время ее перемещения относительно сфокусированного лазерного луча. Это приводит к образованию в пластине сравнительно глубоких (до 50...100 мкм) и узких (до 25…40 мкм) канавок. Канавка, узкая и глубокая по форме, играет роль концентратора механических напряжений. При разламывании пластины возникающие напряжения приводят к образованию на дне канавки трещин, распространяющихся сквозь всю толщину пластины, в результате чего происходит ее разделение на отдельные кристаллы.
Наряду с созданием глубокой разделительной канавки достоинством лазерного скрайбирования является его высокая производительность (100...200 мм/с), отсутствие на полупроводниковой пластине микротрещин и сколов. В качестве режущего инструмента используют импульсный оптический квантовый генератор с частотой следования импульсов 5...50 кГц и длительностью импульса 0,5 мс.
Рис. 4.12 Схема лазерного скрайбирования полупроводниковой пластины
Установка лазерного скрайбирования ALS200.3
Технические характеристики:
1. Генератор лазера:
- длина волны 10,6 мкм,
- непрерывный и пульсирующий режимы работы,
- мощность при непрерывной работе 350 Вт, при пульсирующем режиме до 1000 Вт,
- стабильность мощность в долгосрочном периоде ±4%
- длительность импульса 2-1000 микросек.
- частота импульса до 50 кГц
- потребление газовой смеси ?24 норм.литров в год
- рассеивание тепла
2. X-Y стол:
- перемещение 200х200 мм
- линейные двигатели
- оптические линейные энкодеры
- скорость перемещения до 500 мм/сек
- разрешение перемещения 0,5 мкм
- точность перемещения ±5 мкм
- повторяемость ±4 мкм.
3. Системные требования:
- электропитание 380 В, 3 фазы, 50 Гц, 10 А
- пневмопитание 5 бар, расход 100 л/мин.
- вытяжка 3 м3/мин, 1500 мм H2O
Процесс лазерного скрайбирования:
1. Расположить пластину на столе установки
2. Внести данные в управляющий лазером компьютер относительно траектории движения лазерного луча
3. Позиционировать лазерную головку
4. Начать процесс скрайбирования
5. По окончании нанесения рисок, выключить лазер. Переместить пластину на мягкую резиновую опору
4.8.2 Разламывание пластин на кристаллы
Разламывание пластин на кристаллы после скрайбирования осуществляется механически, приложив к ней изгибающий момент. Отсутствие дефектов кристаллов зависит от приложенного усилия, которое зависит от соотношения габаритных размеров и толщины кристаллов.
Наиболее простым способом является разламывание пластин на кристаллы валиком (рисунок 4.12). Для этого пластину 3 помещают рабочей поверхностью (рисками) вниз на мягкою гибкою (из резины) опору 4 и с небольшим давлением прокатывают ее последовательно в двух взаимно перпендикулярных направлениях стальным или резиновым валиком 1 диаметром 10 ё30 мм. Гибкая опора деформируется, пластина изгибается в месте нанесения рисок и ломается по ним. Таким образом, разламывание происходит в две стадии - вначале на полоски, затем на отдельные прямоугольные или квадратные кристаллы.
Рис.4.13. Разламывание полупроводниковых пластин на кристаллы валиком: 1 -- валик; 2 -- защитная пленка; 3 -- кристалл; 4 -- опора
Валик должен двигаться параллельно направлению скрайбирования, иначе ломка будет происходить не по рискам. Брак может проявиться также в том случае, если полоски или отдельные кристаллы смещаются относительно друг друга в процессе ломки. Поэтому перед ломкой пластины покрывают сверху тонкой эластичной полиэтиленовой пленкой 2, что позволяет сохранить ориентацию кристаллов в процессе ломки и избежать произвольного разламывания и царапания друг друга. Смещения кристаллов можно также избежать, поместив пластину перед разламыванием в герметичный полиэтиленовый пакет и откачав из него воздух.
Процесс разделения пластины на кристаллы:
1. Установить пластину на резиновую опору рисками, нанесенными в процессе скайбирования, вниз.
2. Покрыть пластину тонкой полиэтиленовой пленкой.
3. Прокатить резиновым валиком диаметром 30мм с небольшим давлением.
4. Полученные кристаллы промыть водой.
4.9 Контроль магнитооптических параметров
Измерение толщины феррит-гранатовой пленки
Выращиваемая толщина пленки 4±0,2мкм
От точности измерения толщины пленки в сильной степени зависит точность определения остальных ее параметров. Измерения проводят наиболее распространенным интерференционным методом с использованием двух лучевого спектрофотометра СФ-8. В областях спектра, где интерференционные максимумы и минимумы проявляются наиболее отчетливо, производятся измерение соответствующих им длин волн. Вычисление толщины пленки проводят по формуле:
,
где л1 , л2 - длины волн, соответствующие выбранным интерференционным максимумам (минимумам) на кривой пропускания; N - разность порядков интерференции, соответствующих выбранным интерференционным максимумам (минимумам); n1 , n2 - показатели преломления пленки на длинах волн л1 , л2 . Предполагается перпендикулярное падение света на пленку.
Величина n в основном определяется концентрацией железа и висмута и слабо зависит от концентрации и типа редкоземельных ионов в позициях феррит-граната. Для эпитаксиальных пленок смешанных феррит-гранатов можно ввести эффективный показатель преломления, который с хорошей точностью постоянен и равен 2,4. Это позволяет проводить расчет величины h по упрощенной формуле:
.
Возникающая при этом ошибка в определении h не превышает 3-5 %.
Измерение удельного фарадеевского вращения в пленке феррит-граната
Удельное фарадеевское вращение выращиваемого кристалла должно лежать в пределах 0,5-1,5град/мкм.
Удельное фарадеевское вращение в пленке феррит-граната определяется по формуле
где F - величина полного угла поворота плоскости поляризации излучения, проходящего через однородно намагниченную до насыщения пленку (вектор намагниченности перпендикулярен плоскости падения). Измерение величины F проводится на установке, представленной на рис.13.
Установка включает в себя: осветительный узел (1), выполненный на базе монохроматора ИКС-21; электромеханический модулятор света (2); поляризатор (3); держатель образца (5) с катушкой (4), обеспечивающий необходимую величину магнитного поля (0-500 Э), размещенные на предметном столике микроскопа «Полам Р-312»; анализатор (6), механически связанный с отсчетной лимбовой системой теодолита 2Т-2 (7), которая позволяет фиксировать угол поворота оси пропускания анализатора с точностью порядка ± 2"; ФЭУ (8), регистрирующий амплитуду прошедшего света; измерительный усилитель У2-8 (9), на который подается сигнал, пропорциональный фототоку ФЭУ; осциллограф С1-70 (10), обеспечивающий визуальный контроль амплитуды и формы фотоотклика ФЭУ.
Рис. 4.14 Схема установки для измерения удельного фарадеевского вращения в пленке
Установка позволяет измерять угол фарадеевского вращения с ошибкой ± 30" в диапазоне длин волн от 0,5 до 1,5 мкм.
Методика измерений заключается в следующем: строятся кривые зависимости фототока ФЭУ от угла поворота оси пропускания поляризатора относительно оси пропускания анализатора для двух случаев: 1) пленка намагничена в направлении распространения излучения; 2) пленка намагничена в направлении, противоположном направлению распространения излучения. Разница между координатами ближайших положений оси анализатора, соответствующих одинаковым величинам сигналов на выходе ФЭУ равна удвоенному значению фарадеевского угла вращения. Для повышения точности измерений по методу нулевого сигнала в схему вводится синхродетектор (12), на выходы которого подается сигнал с выхода блока синхронизации (11) и выхода усилителя У2-8 (10). Работа синхродетектора становится более стабильной при замене электромеханического модулятора электрооптическим (МЛ-3) с блоком питания и модуляции (13) [1, 7].
Измерение показателя поглощения феррит-гранатовой пленки
Оптическое поглощение должно быть 200±10см-1.
Спектральные кривые оптического пропускания пленки, полученные на спектрофотометре СФ-8 позволяют также определить величины показателя ее поглощения. Вычисления проводятся по формуле:
, ,
где Т1 - пропускание пленки на длине волны л1 в диапазоне, где практически отсутствует поглощение в пленке; Тл - пропускание пленкина длине л, при которой определяется показатель поглощения; Rл,1 - коэффициенты отражения от границы магнитной пленки соответственно на длинах волн л и л1. При известной величине показателя преломления, Rл,1можно рассчитать по формулам Френеля.
Во многих случаях с погрешностью порядка 5% определение б можно проводить по упрощенной формуле
4.10 Анализ технологичности изготовления магнитооптического кристалла
Разработан технологический процесс мелкосерийного производства магнитооптического кристалла, выполненного в виде нанесенной висмут содержащей пленки феррит-граната на подложку из гадолиний-галлиевого граната.
Выявлены следующие критичные операции: выращивание гадолиний-галлиевого граната и жидкофазная эпитаксия.
Для осуществления контроля качества необходимо следующее измерительное оборудование: двухлучевой спектрофотометр СФ-8, монохроматор ИКС-21. Данное оборудование является стандартным и может быть поверено в соответствии с утвержденными методиками.
Разработанный технологический процесс позволяет производить выпуск 12 шт. кристаллов за один цикл. Цикл производства составляет 65 ч. Преимущества технологического процесса: возможность получения качественного кристалла при применении стандартного оборудования. Недостатки технологического процесса: продолжительное время изготовления партии магнитооптических кристаллов. На данном этапе данный недостаток является неустранимым, т.к. в технологическом процессе используется стандартное, доступное в производстве оборудование.
Одним из самых длительных этапов изготовления магнитооптического кристалла является жидкофазная эпитаксия. Для нанесения феррит-гранатовой пленки на одну подложку диаметром 50мм тратится более 20 часов. В данном технологическом процессе из такой заготовки можно получить до 12 готовых кристаллов. Для увеличения объема производства необходимо обеспечить нанесение пленки на большее количество заготовок, либо увеличить диаметр изготавливаемой подложки. Однако увеличение диаметра приведет к существенному увеличению продолжительности роста подложки.
В настоящий момент нет оборудования, позволяющего одновременный рост пленки феррит-граната на нескольких подложках. Это объясняется сложностью позиционирования и, следовательно, нанесением равной по толщине пленки феррит-граната. В будущем для перехода на серийное производство необходимо увеличить количество оборудования для жидкофазной эпитаксии пленок феррит-гранатов на гадолиний-галлиевую подложку или разработать оборудование, позволяющее одновременный рост пленки на нескольких подложках.
Вывод
Разработан технологический процесс, включающий в себя следующие операции: выращивание гадолиний-галлиевого граната, ориентация подложки, резка подложки на заготовки, механообработка подложки, жидкофазную эпитаксию, нанесение просветляющего и зеркального покрытий, разрезание на заготовки 10х10мм, контроль магнитооптических параметров. Разработана технологическая карта изготовления магнитооптического кристалла, осуществлен подбор технологического оборудования, разработаны метрологические операции контроля, произведен анализ технологичности. Выявлены следующие критичные операции: выращивание гадолиний-галлиевого граната и жидкофазная эпитаксия. По результатам определена полная трудоемкость единицы продукции - сумма всех затрат живого труда на изготовление единицы продукции, измеряемая в человеко-часах: 5,41 человеко-часов на единицу продукции. Таким образом, изготовление магнитооптического кристалла является трудоемким процессом.
Выращивание подложки и жидкофазная эпитаксия происходят в автоматическом режиме, поэтому требуемая квалификация: оператора по выращиванию кристалла 3-го разряда. В его обязанности входит: Выращивание оптических кристаллов средней сложности открытым способом, в вакууме и вакуум-компрессионных печах. Выбор и установление теплового режима в электропечах выращивания кристаллов. Наладка вакуумных установок. Измерение давления, вакуума, температуры печи и регулировка по заданному режиму. Расчет весовых количеств компонентов для приготовления расплавов и определение времени роста кристалла-зародыша.
Для ориентации кристалла требуется рентгенгониомерист 2-го разряда. В его обязанности входит: Определение с помощью рентгенгониометра угла среза кристалла пластин. Вычисление поправок углов среза по шкале рентгенгониометра с точностью до 1 - 2 мин. и нанесение данных на пластину пьезокварца. Ориентирование с помощью рентгенгониометра блоков, секций и пластин по заданному углу среза. Подшлифовка поверхности блоков и пластин кристаллов под заданный угол среза на притирочной плите шлифпорошком с керосином. Проверка и шлифование контрольных сторон блока под угольник. Настройка рентгенгониометра с помощью эталона и регулирование его в процессе работы. Смена приспособления под заданный угол среза. Чистка и смазка рентгенгониометра.
Нанесение покрытий должен осуществлять оператор вакуумных установок по нанесению покрытий на оптические детали 2-го разряда. Характеристика работ: Ведение процесса нанесения зеркальных покрытий термическим способом без закрепления на простые оптические детали на однотипных вакуумных установках под руководством оператора вакуумных установок более высокой квалификации. Нарезка испаряемого материала с помощью ножниц и пассатижей. Протравливание испаряемого материала, промывка, сушка. Изготовление ленточных и проволочных испарителей типа "лодочки" и жгутов. Очистка внутренней части рабочей камеры, установка испарителей, загрузка испаряемого материала и деталей. Включение и выключение вакуумной установки. Выгрузка деталей после нанесения покрытий. Снятие покрытия с забракованных изделий. Упаковка готовых изделий.
Для увеличения объема производства необходимо обеспечить нанесение пленки на большее количество заготовок, либо увеличить диаметр изготавливаемой подложки. Однако в настоящее время это затруднено возможностями существующего оборудования и требует проведения дополнительных исследований и разработок в направлении модернизации или создания нового, более совершенного оборудования, позволяющего улучшить качественно и увеличить количественно производство магнитооптического кристалла.
5. Организационно-экономическая часть.
5.1 Анализ рынка
На сегодняшний день проблема установления подлинности ценных бумаг, считывания информации с магнитных носителей, криминалистических исследований номерных агрегатов машин, обладающих магнитными свойствами, является актуальной. Определим организации, заинтересованные в использовании разрабатываемого прибора:
· Министерства
· Банковские компании;
· Спецслужбы;
· множество частных компаний любого профиля, т.к. необходимость проверки на подлинность наличных средств или ценных бумаг возникает повсеместно;
· физические лица.
Преимущества разрабатываемой системы по отношению к существующим аналогам на нашем рынке заключаются в следующем:
· Данная система может позволяет проводить более глубокий анализ информации, считываемой с магнитных носителей
· Программное обеспечение, позволяющее обрабатывать полученные результаты в режиме реального времени;
· Все аналоги подобного класса имеют большие массогабаритные характеристики, по сравнению с разрабатываемым устройством регистрации магнитных полей рассеяния.
На сегодняшний день российский рынок подобного оборудования представлен либо достаточно дешевыми приборами (от 2000 руб. или $60), имеющим минимальный набор функций, либо многофункциональными дорогостоящими системами (от 50000 руб. или $1500). Цена максимально близких аналогов составляет порядка $500.
Планируемый горизонт расчета составляет 15 лет. Прогнозируемое производство устройств будет иметь мелкосерийный характер. Для обеспечения гарантированной конкурентоспособности розничная цена системы не должна превышать 20000 руб. Исходные данные для расчета стоимости проектно-конструкторских работ по разработки системы приведены в Таблице 2 (см. Приложения).
Примем торговую наценку дилеров на продаваемую технику за 50%. При этом выручка от каждой сделки купли-продажи облагается НДС - 18% от выручки.
Таким образом, цена производителя без НДС должна составлять :
руб.
Цена производителя складывается из себестоимости S0 изделия и прибыли П, определяемой уровнем рентабельности:
Таким образом, себестоимость оптико-электронного устройства регистрации магнитных полей рассеяния может быть выражена через цену производителя и норму прибыли:
руб.
где p - уровень рентабельности (10%).
5.2 Определение стоимости проектно-конструкторских работ
Для принятия управленческого решения осуществляется планирование себестоимости проекта методом составления сметы затрат, структура которой приведена в таблице 3 (см. Приложение 2).
Расчет заработной платы производится на основе определения основной заработной платы и дополнительной заработной платы. В общем случае расчёт суммы основной заработной платы исполнителей ведётся по формуле:
,
где - расходы на оплату труда исполнителей НИОКР;
- численность исполнителей i-ой категории и j-го разряда;
- зарплата исполнителей i-ой категории и j-го разряда;
n - количество групп исполнителей i-ой категории и j-го разряда.
Для расчёта однодневного размера оплаты труда исполнителя необходимо знать его месячный оклад, величина которого зависит от требуемой квалификации работника (разряда работы), значения МРОТ на момент начала проектирования, тарифного коэффициента. В некоторых случаях месячный оклад определён в трудовом договоре между работодателем и работником.
Требуемая квалификация исполнителя определяется исходя из сложности работ при выполнении стадий проектирования ПП. Определяется по ТКС. МРОТ устанавливается соответствующими постановлениями правительства РФ. Тарифный коэффициент выбирается из ETC.
Суммируя все эти данные, рассчитаем основную часть месячного оклада исполнителя. Дополнительная зарплата рассчитывается по формуле:
,
где - коэффициент отчислений на дополнительную зарплату. В данном случае коэффициентучитывает не только оплату непроработанного времени, но и все компенсационные и стимулирующие надбавки к тарифам.
Для определения однодневного размера оплаты труда надо знать количество рабочих дней (часов) в месяце расчётного года, которые устанавливается законодательно (по производственному календарю). Для расчёта количества рабочих дней требуется знать трудоёмкость и продолжительность отдельных этапов и всей разработки ПП в целом, а также количество исполнителей на каждом из этапов проектирования.
Соотношение трудоёмкости этапов проектных работ, характерное для приборостроения представлено в таблице 4 (см. Приложение 2).
Определим трудоёмкость этапа разработки рабочей документации, трудоемкости остальных этапов будем рассчитывать косвенным путем, через приведённые в таблице процентные соотношения.
За единицу нормирования принимается время разработки одного чертежа технической документации формата А1. Объем дипломного проекта: графической части - 12 листов формата А1.
где - трудоёмкость технического проектирования, чел./час;
число ожидаемых чертежей формата А1, шт.;
норма времени на разработку одного чертежа данного формата, чел./час;
поправочный коэффициент к нормативам времени в зависимости от типа производства проектируемых изделий ( - мелкосерийное производство);
- коэффициент сложности конструкторских работ ( - 3-я группа сложности).
Норма времени на составление спецификации - 0.15 ч на позицию. Суммарно во всех спецификациях приблизительно 100 позиций. Итого суммарное время на составление спецификаций - 15 человеко-часов.
Итого
Для дальнейших расчётов необходимо установить фонд рабочего времени. Срок окончания работ - 30 мая, по результатам моделирования фонда рабочего времени необходимо определить срок начала работ.
Нормальная продолжительность рабочего времени не может превышать 40 часов в неделю. Продолжительность рабочего дня или смены, непосредственно предшествующих нерабочему праздничному дню, уменьшается на один час. Режим рабочего времени должен предусматривать продолжительность рабочей недели (пятидневная с двумя выходными днями).
Таким образом, работа над проектом осуществляется при пятидневной рабочей неделе: обычный рабочий день - 8 ч, предпраздничный - 7 ч (таблица 7 в Приложениях).
Тогда фонд рабочего времени:
F= РД•8 + ПД•7 = 59•8 + 3•7 = 493 час
Рассчитаем продолжительность каждого этапа в календарных днях и в часах, значения занесем в Таблицу 8 в Приложениях. Фонд рабочего времени каждого этапа за период определенный директивными сроками определяется как процент от общего директивного срока выполнения проекта.
Рассчитаем необходимое число исполнителей для каждого этапа по формуле:
,
где - трудоёмкость этапа, человеко-дни;
- продолжительность в днях, фонд рабочего времени;
- коэффициент дополнительных работ;
- коэффициент выполнения норм;
- коэффициент для перевода рабочих дней в календарные.
Количество исполнителей приведено в Таблице 9 в приложениях.
Необходимо провести корректировку срока окончания работ в календарных днях, результаты внесем в Таблице 10 (см. Приложения). Используя формулу, рассчитаем период фактического выполнения работ:
Для координации во времени всех этапов ПКР составляем ленточный график, приведенный на Рис. 5.1.
Рис. 5.1 Ленточный график выполнения ПКР
Как видно из Таблицы 11, общая продолжительность проведения ПКР при последовательном методе организации работ составляет 36 календарных дней. И для сдачи работы в срок ее необходимо начать 8 апреля.
Руководствуясь приложением о типовых нормах времени на разработку конструкторской документации о примерном распределении конструкторских работ между исполнителями, выбираем состав и разряд исполнителей (Таблицы 12 и 13 в приложениях соответственно). Значения заработных плат приведены в Таблице 14.
,
где - минимальный размер оплаты труда (12600 руб./мес.); - коэффициент тарифной ставки -го исполнителя, учитывающий его разряд.
Определим расходы на основную заработную плату исполнителей.
Для этого сначала рассчитаем размер оплаты для каждого из работников в день:
где - месячный оклад -го исполнителя по тарифной ставке с учётом разряда; - среднемесячный фонд рабочего времени за срок выполнения КПП.
В 2014 году при пятидневной рабочей неделе с двумя выходными днями 247 рабочих дней, в том числе 6 предпраздничных дня (22 февраля, 7 марта, 30 апреля, 8 мая, 11 июня и 31 декабря), и 118 выходных дней с учетом 2 дополнительных дней отдыха (8 января, 25 февраля) в связи с совпадением нерабочих праздничных дней 5 января, 23 февраля с выходными днями.
Месячный фонд рабочего времени считается следующим образом:
Fмес = 247 раб.дн / 12 мес = 20.58 раб. дня
Дополнительная заработная плата составит 8085,3 руб. Итого расходы на заработную плату: 80853+8085,3=88938,3 руб.
Таким образом, теперь можно рассчитать смету затрат на проектно-конструкторские работы по разработке оптико-электронного устройства регистрации магнитных полей рассеяния (Таблица 15).
Таким образом, стоимость ПКР по проектированию оптико-электронного устройства регистрации магнитных полей рассеяния составляет 279519,5 рублей.
5.3 Расчёт простого срока окупаемости инвестиций
Под сроком окупаемости инвестиций понимается календарный отрезок времени, по окончании которого разница между капитальными вложениями в инвестиционный проект Ки и нарастающим денежным потоком Дп становится равной нулю.
В общем случае расчет простого срока окупаемости производится путем постепенного, шаг за шагом, вычитания из общей суммы инвестиционных затрат величин чистого эффективного денежного потока за один интервал планирования. Номер интервала, в котором остаток становится отрицательным, соответствует искомому значению срока окупаемости инвестиций.
Планируемый объём собственных капитальных затрат на проектирование и производство оптико-электронного устройства регистрации магнитных полей рассеяния 10 млн. руб.
Инвестиционный проект рассчитан на 10 лет. Объём производства за время действия инвестиционного проекта остаётся неизменным. Предприятие имеет долгосрочные договоры на реализацию своей продукции, в соответствии с которыми цена единицы изделия принимается неизменной в течение 10 лет и равна Ци = 20000 руб./шт.
Т.к. на предприятии есть налаженное собственное производство, то капитальные затраты по инвестиционному проекту не вкладываются в приобретение основных средств, используемых при изготовлении продукции, поэтому начисленная величина амортизационных отчислений Sам = 0 в течение всего времени действия инвестиционного проекта.
Подобные документы
Выбор метода регистрации магнитограмм. Магнитооптический эффект Керра. Материалы для магнитооптических устройств и их характеристики. Выбор и обоснование конструкции оптико-электронного устройства регистрации магнитограмм. Крепление оптических элементов.
дипломная работа [2,0 M], добавлен 09.06.2014Оптико-механические приборы. Крепления оптических деталей. Особенности сборки оптических деталей с механическими. Устройство для юстировки сетки. Сборка и юстировка окуляров. Проверка диоптрийной установки. Схема проверки натяжения. Диоптрийная трубка.
реферат [2,7 M], добавлен 25.11.2008Элегазовое комплектное распределительное устройство электроэнергии, его характеристики. Конструкции основных элементов устройства в элегазовых ячейках с двумя системами сборных шин в трех различных типоисполнений. Общий вид трансформатора напряжения.
презентация [2,3 M], добавлен 20.07.2015Технические характеристики и основные преимущества элегазового комплектного распределительного устройства. Общий вид конструкции основных элементов. Трансформатор напряжения для элегазовой ячейки. Конструкция элегазового ограничителя перенапряжений.
презентация [2,1 M], добавлен 07.11.2013Датчик как совокупность измерительных преобразователей, виды: генераторные, параметрические. Анализ первичного и завершающего элементов измерительной цепи. Знакомство с датчиками, применяемыми в медицине. Общая характеристика структурной схемы съема.
презентация [1,5 M], добавлен 28.03.2013Виды оптики. Земная атмосфера, как оптическая система. Солнечный закат. Цветовое изменение неба. Образование радуги, разнообразие радуг. Полярные сияния. Солнечный ветер, как причина возникновения полярных сияний. Мираж. Загадки оптических явлений.
курсовая работа [1,4 M], добавлен 17.01.2007Устройство, управляющее полупроводниковыми ключами и содержащий в своем составе цифровой автомат. Описание функциональной схемы. Разработка принципиальной схемы и конструкции цифрового управляющего устройства. Входные и выходные сигналы устройства.
курсовая работа [1,2 M], добавлен 16.07.2009Идеальная оптическая система. Расчет призмы, выбор окуляра. Осесимметричная и пространственная оптическая система. Конструкционные параметры, аберрация объектив и призма. Расчет аберраций монокуляра. Выпуск чертежа сетки. Триора пространства предметов.
контрольная работа [1,0 M], добавлен 02.10.2013Обоснование и выбор функциональной схемы устройства. Выбор и расчет принципиальных схем узлов устройства.
курсовая работа [78,4 K], добавлен 11.10.2008История развития устройств хранения данных на магнитных носителях. Причины появления доменов, а также запоминающие устройства на тонких магнитных пленках. Доменная структура тонких магнитных пленок. Запоминающие устройства на гребенчатых структурах.
курсовая работа [1,0 M], добавлен 23.12.2012
