Разработка и исследование мембранно-пневматической системы разгрузки зеркала диаметром 1715 мм проекта "Спектр-УФ" (Т-170)

Высокоразрешающие оптические системы наземного, воздушного и космического базирования, применяемые в интересах обороноспособности страны, исследований космического пространства, глобального мониторинга поверхности Земли, состояния ее атмосферы, а также для наземных оборонных комплексов наблюдения и обнаружения быстро перемещающихся атакующих объектов, требуют практически дифракционного качества формируемого этими системами изображения исследуемого объекта.

Изготовление таких оптических элементов стало возможным благодаря созданию научной методологии, разработке и практической реализации систем базирования и разгрузки оптических элементов в процессе формообразования, созданию специализированного оборудования для обработки деталей диаметром до 6 м, созданию специальных средств и методов оптического контроля формы поверхности, разработке программно-математического анализа процесса обработки результатов контроля и расчета целенаправленных сеансов обработки поверхностей.

Для обработки поверхностей оптических деталей важное значение имеют системы разгрузки зеркал в процессе их контроля, от которых во многом зависит успех успешной доводки оптической поверхности до высокого качества.

Оправа должна создавать разгруженное состояние зеркала с точностью, превышающей требования спецификации на форму поверхности и обеспечивать ее неизменное состояние при развороте зеркала на данной технологической оправе. Актуальность работ по исследованию технологической системы разгрузки вызвана постоянно растущими требованиями к качеству формы поверхности астрономических зеркал, появлению тонких активных зеркал, увеличению апертуры зеркала и сокращением его фокусного расстояния, конструкционными и эксплуатационными параметрам прецизионных изделий оптических элементов, используемых в оптико-электронной промышленности.

В работе представлены результаты исследования мембранно-пневматической системы разгрузки для главного зеркала менисковой формы диаметром 1715 мм проекта космического телескопа «Спектр-УФ» для ультрафиолетового диапазона:

- изучены методы исследования и аттестации как отдельного элемента мембранно-пневматической разгрузки, так и всей оправы в целом;

- исследована возможность использования мембранно-пневматической системы разгрузки зеркала вместо механической штатной разгрузки;

- определены ошибки формы поверхности, возникающие при использовании мембранно-пневматической разгрузки вместо механической;

- исследовано влияние разновысотности опор на деформации рабочей поверхности, предложен метод стабилизации системы разгрузки при развороте зеркала на оправе на 120 градусов для обеспечения работоспособности оправы и достижения качества обработки рабочей поверхности зеркала в соответствии с требованиями спецификации.

Конструкция мембранных опор удовлетворяет техническим требованиям, приведенным в таблице 2.1.

В качестве базы сравнения в таблице 2.1 приведены характеристики мембранных опор, ранее использовавшихся в конструкциях технологических систем разгрузки зеркал.

Таблица 2.1

Эксплуатационные преимущества подобных опорных элементов, таких как одинаковость геометрических размеров мембран, высокая нагрузочная способность опор, нечувствительность к радиальным и тангенциальным усилиям, действующим на систему технологической разгрузки зеркал в процессе их обработки полноразмерными инструментами и т.д., оказались недостаточными для равномерной разгрузки тонких зеркал, в которой должно быть обеспечено рассогласование разгружающих усилий ? ± 10г. Это рассогласование возможно обеспечить за счет снижения полной жесткости опоры и погрешности разгружающего усилия, воспроизводимого единичной опорой, которая должна быть менее 5 г.

В таблице 2.2. приведены результаты испытаний разработанных мембранных опор и их конструктивные параметры. Для оснащения системы торцевой разгрузки тонких зеркал принята конструкция мембраны Ш 120/MI, показанная на рис. 2.1, которая удовлетворяет поставленным требованиям. Мембраны изготавливаются методом вулканизации в прессформе.

В результате экспериментального определения конструктивных параметров мембраны, жесткого центра и деталей заделки практически исключено изменение эффективной площади мембраны при изменении внутреннего давления, в опорах (в диапазоне хода h = ± 3 мм).

Таблица 2.2.

Рис. 2.1. Конструкция мембранной опоры

На рис. 2.2 приведен пример графо-аналитической коррекции, фиксируемых на стенде параметров испытываемых опор. Для получения действительных значений высоты "аттестуемой" опоры, из измеренных значений высоты "аттестуемой" опоры необходимо вычесть соответствующие изменения высоты "эталонной" опоры. При аттестационных испытаниях всего комплекта опор системы разгрузки изменения высоты "эталонной" опоры определяются от единой технологической базы, что снижает погрешности аттестационных измерений.

На рис. 2.2 разброс точек характеристики F_p-f(h) аттестуемой опоры после введения коррекции значительно уменьшается. Расхождение ветвей характеристики F_p -f(h) при нагружении и снятии нагрузки объясняется тем, что временные интервалы данной характеристики, выдерживаемые при изменении нагрузки, оказались недостаточными для полной релаксации внутренних напряжении в материале мембраны.

На рис. 2.3 показан график изменения высоты той же опоры при изменении внешней нагрузки при более длительном времени отстоя в точках изменений нагрузки после введения соответствующей коррекции по "эталонной" опоре.

Полученная характеристика не имеет релаксационных задержек и соответствует полной обработке перемещения мембраны от изменения приложенной нагрузки.

При совмещения графиков рис. 2.2 и рис. 2.3 получен график рис. 2.4, по которому определено соответствие графика полной отработки перемещения среднеарифметическим значениям точек ветвей нагружения и снятия нагрузки при наличии релаксационных задержек в отработке перемещений мембраной.

На основании этого возможно применить графически метод определения действительной характеристики мембранной опоры по характеристикам ускоренных аттестационных измерений имеющих релаксационные задержки отработки перемещения.

Рисунок 2.2. Пример графо-аналитической коррекции, фиксируемых на стенде параметров испытываемых опор

Рис. 2.3. График изменения высоты опоры при изменении внешней нагрузки

Рис. 2.4. График отработки перемещений мембраны

2.2 Конструктивные характеристики мембранно-пневматической опоры

Назначение:

Система технологической разгрузки зеркала обеспечивает деформационные изменения формы поверхности зеркала в процессе технологического и аттестационного контроля в допустимых пределах, меньших по амплитуде, чем требуемый размах ошибок поверхности обрабатываемого зеркала.

В результате проведенной работы собрана технологическая оправа для доводки и аттестации разнотолщинного мениского крупногабаритного зеркала диаметром 1715 мм.

Мембранно-пневматические элементы оправы выдерживают нагрузку на опору до 100 кг и обеспечивают погрешность разгружающих усилий торцевой разгрузки не более 10 г.

Стенд для аттестации мембранно-пневматических элементов обеспечивает отклонение базовой плоскости от горизонтальности не более 0.1 мм/м, обеспечивает измерение высоты опоры с точностью не хуже 0.01 мм, снабжен системой подачи сжатого воздуха и системой стабилизации положения опоры относительно базовой плоскости, аналогичной системе стабилизации оправы контролируемого зеркала.

Оправа системы разгрузки тонкого зеркала менисковой формы эксплуатируется в закрытом помещении на оптическом станке АД-2000 в стенде вертикального контроля. В соответствии с разработанной технической документацией, она обеспечивает базирование и сохранение относительно оправы пространственного положения зеркала менисковой формы диаметром 1715 мм при контроле.

Мембранно-пневматические опоры располагаются на соответствующей высоте, на заданных диаметрах относительно оси зеркала:

D1 - 573.4 мм 9 шт.

D2 - 794.0 мм 18 шт.

D3 - 1036.0 мм 18 шт.

D4 - 1267.0 мм 18 шт.

D5 - 1559.0 мм 18 шт.

Всего 63 опоры.

Оправа системы разгрузки тонкого зеркала содержит систему стабилизации положения зеркала, обеспечивающую сохранение его пространственного положения относительно оправы. Она обеспечивает погрешность разгружающих усилий осевой разгрузки не более 10 г, обеспечивает погрешность стабилизации положения зеркала до 0.1 мм и обеспечивает нормальные режимы работы при температуре окружающей среды в диапазоне 20 5С.

Состав стенда:

Стенд (рис. 2.6) предназначен для определения рабочих характеристик мембранных опор пневматических оправ крупногабаритных оптических деталей, с целью их дооснащения компенсационными пластинами и последующей установкой в технологическую оправу.

Рис. 2.6.

Стол

Несущая плита (материал ситалл СО-115М)

Чаша с грузами (три поз.)

Эталонная опора

Аттестуемая опора

Индикаторы часового типа

Датчик системы стабилизации рабочего давления

Регулятор подачи воздуха

Блок автоматической системы стабилизации рабочего давления

Назначение элементов стенда:

Стол предназначен для крепления несущей плиты и блока автоматической системы стабилизации рабочего давления. Стол установлен на виброизоляционные опоры.

Несущая плита выполнена из ситалла СО-115М. Рабочие участки плиты в зонах установки мембранных опор имеют отступления от плоскости не более 1 мкм. Плита снабжена металлическими площадками для установки исполнительных устройств. Плита имеет отверстия для чаш.

Чаша с грузами предназначена для создания рабочей нагрузки на опору.

Эталонная опора предназначена для проведения компенсационного метода измерений, когда исключается влияние внешних дестабилизирующих факторов.

Аттестуемая опора является сменным элементом. По результатам измерений высот опор рассчитываются компенсирующие пластины под опоры, необходимых для создания одинаковых реактивных усилий в опорах в рабочем состоянии.

Индикатор предназначен для измерения высот эталонной и аттестуемой опор в процесс работы стенда.

Датчик системы стабилизации рабочего давления предназначен для прекращения подачи воздуха в опоры при достижении номинального давления. Это позволяет проводить независимые во времени измерения рабочих характеристик опор.

Регулятор подачи воздуха производит независимое наполнение опор от магистрали сжатого воздуха.

Блок автоматической системы стабилизации рабочего давления производит впуск или выпуск воздуха для точной установки номинального давления в опорах. Включает в себя: опору, чашу с грузами, систему пневмоклапанов, электронные реле, плату управления, блок питания (24V).

2.3.2 Порядок работы стенда

На базовую поверхность стола под датчик системы стабилизации рабочего давления установить набор калиброванных плиток высотой H₀.

Произвести установку датчика на высоте H_0.

- Включить блок питания.

- Закрыть вентили регулятора подачи воздуха.

- Закрепить датчик в нейтральном положении (загорание зеленой лампочки).

- Установить опору системы стабилизации (ОСС).

- Открыть вентиль ОСС.

- Загорание зеленой лампочки свидетельствует о достижении номинального давления в системе.

- Контроль правильной установки ОСС осуществляется индикатором.

Произвести измерение высоты положения жестких центров эталонной и аттестуемой опор.

- Установить эталонную и аттестуемую опоры на базовые поверхности блоков измерения эталонной и аттестуемой опор соответственно. В качестве эталонной использовать любую опору из комплекта системы разгрузки.

- Надеть соединительные трубки на штуцеры опор, открыть запорные вентили и заполнить опоры сжатым воздухом.

- Выдержать опоры на стенде при данных условиях в течение не менее 1 часа.

- Произвести 4 измерения положения жесткого центра H_ЭТ.i для эталонной и 4 измерения положения жесткого центра H_АТ.i для аттестуемой опор.

- Перекрыть запорный вентиль аттестуемой опоры, снять соединительные трубки с её штуцера и снять аттестуемую опору со стенда.

- Произвести измерения следующей аттестуемой опоры, повторив действия по п.3.

По результатам измерений всей партии опор определить максимальный и минимальный отсчеты положения жесткого центра эталонной опоры и определить их среднее арифметическое значение:

- Вычислить корректированные значения H_корр.i положений жестких центров аттестуемых опор по формуле:

H_корр.i= H_АТ.i + H_ЭТ.ср. - H_ЭТ.i

- Определить среднеарифметическое значение H_{корр.ср.} полученных значений H_корр.i для каждой из аттестуемых опор.

- Вычислить фактические значения H_оп высоты аттестуемых опор по формуле:

H_оп = H₀ - H_{корр.ср}

- Рассчитать высоту компенсатора для каждой опоры системы разгрузки по формуле:

H_к = H_настр - H_оп ,

H_к - высота компенсатора для каждой опоры системы разгрузки;

H_настр - расстояние от верхней плоскости оправы до тыльной поверхности зеркала (назначается из конструктивных соображений).

Результаты измерений оформить в виде протоколов.

- Приложение №1

- Приложение №2

Точностные характеристики:

Стенд обеспечивает проведение линейных измерений с общей погрешностью 0.015мм, что обеспечивает рассогласование усилий, создаваемых системой мембранных опор торцевой разгрузки не более 7 грамм.

3. Конструкторский раздел

3.1 Технические характеристики и составные части оправы

3.4 Принцип работы технологической оправы

Сохранение стабильности формы рабочей поверхности зеркала обеспечивается за счет приложения к его тыльной поверхности равных реактивных усилий, которые развиваются системой осевых мембранно-пневматических опор разгрузки, расположенных в расчетных точках. Минимальная величина рассогласования опорных усилий обеспечивается аттестацией и настройкой всех опор системы, которая заключается в установке жестких центров опор в номинальное положение Н (рис. 2.1). Настройкой компенсируются погрешности изготовления и сборки опор.

Рис. 3.3. Оправа в сборе

Рисунок 3.4. Узел технологического подъема

Рисунок 3.5. Узел фиксации

Обеспечение постоянства параметра Н в пневмосистеме мембранно-пневматических опор разгрузки при изменяющихся внешних условиях (атмосферное давление, температура) осуществляется блоком стабилизации положения зеркала, управляемым датчиком стабилизации положения.

3.5 Меры безопасности

Захват, подъем, транспортирование оправы производить с использованием грузоподъемных средств оптического цеха.

К работе с оправой допускаются лица, прошедшие обучение на рабочем месте и изучившие правила эксплуатации.

Оправа заземляется и подключается к общей системе заземления цеха.

3.6 Подготовка к работе

Установить технологическую оправу на рабочее место. Выставить верхнюю (базовую) плоскость основания в горизонтальное положение с помощью уровня. Отклонение от горизонтальности должно быть не более 0.1 мм/м.

Подключить оправу к общей системе заземления цеха.

Выставить три жесткие торцевые опоры узла технологического подъема в размер H₁ мм, на 0.5 мм меньше расчетного (H₁ = Н - 0.5) от верхней плоскости основания оправы.

Произвести контрольное взвешивание зеркала, установленного в грузозахватное устройство, с помощью весов крановых. Зафиксировать вес зеркала с грузозахватным устройством (М - вес зеркала с грузозахватным устройством).

Не снимая зеркало, установленное в грузозахватное устройство, с весов крановых произвести его опускание на три жесткие осевые опоры узла технологического подъема до достижения веса (М - 275) 25 кг, тем самым предотвращая возможность перегрузки зеркала.

Установить три узла фиксации зеркала (рис. 3.5).

Центрировать зеркало относительно оси оправы, используя винты узла фиксации зеркала.

Используя измерительное приспособление произвести замеры расстояния между образующей зеркала М1 и торцевыми поверхностями корпусов мембран. По результатам замеров произвести центрировку устройства относительно образующей зеркала М1. Завершить операцию центрировки по достижении разницы показаний измерительного приспособления не превышающей 0.1 мм. Угловая ориентация зеркала осуществляется по нуль-марке зеркала М1, которая совмещается с меткой на подложке с точностью 0.5 мм.

Произвести полное опускание зеркала краном.

Удалить грузозахватное устройство.

Подготовить к работе систему стабилизации:

- подключить систему стабилизации к источникам питания: реле электронное - к сети переменного тока 220 В, 50 Гц; блок пневмоклапанов - к сети постоянного тока 24 В;

- подключить систему стабилизации к источнику сжатого воздуха 49 kPa ± 30%.

3.7 Порядок работы

Зеркало должно находиться на мембранно-пневматических опорах системы разгрузки технологической оправы в следующих случаях:

- выдержке перед оптическим контролем;

- во время проведения оптического контроля в вертикальной схеме.

Система стабилизации положения зеркала должна быть включена:

- два раза в сутки через каждые 12 часов на период 5-10 мин при длительном хранении зеркала;

- за 1 час до проведения оптического контроля формы поверхности зеркала.

3.8 Контроль за работой технологической оправы

При включении системы стабилизации осуществляется визуальный контроль за работой системы, по включению индикаторных ламп на панели электронного реле и срабатыванию пневмоклапанов.

Срабатывание клапанов и переключение лампочек сразу после включения системы с последующим снижением частоты срабатывания и стабилизацией системы (включение зеленой лампочки на панели реле) свидетельствует о нормальной работе системы.

При включенной индикаторной лампе (красного цвета) напуска воздуха в пневмосистему на панели электронного реле визуально контролируется отсутствие зазора между наконечником датчика системы стабилизации и тыльной поверхностью зеркала. При появлении зазора немедленно отключается система стабилизации.

Непрекращающееся включение клапанов и переключение лампочек свидетельствует о разгерметизации пневмосистемы оправы. В этом случае необходимо восстановить герметичность системы.

После устойчивого включения зеленой лампочки на панели электронного реле (5 минут после включения системы) возможны отдельные редкие срабатывания клапанов от внешних воздействий (вибрация, прикосновение к зеркалу), что не является показателем неисправности.

После выключения системы зеркало должно в течение суток незначительно изменять свое пространственное положение. Значительное изменение пространственного положения (до касания жестких опор) свидетельствует о разгерметизации системы.

4. Технологический раздел

ОАО «ЛЗОС» по контракту с фирмой AMOS выполняет работы по изготовлению главного и вторичного зеркал телескопа DOT (Devasthal Optical Telescope) для ARIES (Aryabhatta Research Institute of Observational Sciences). Главное зеркало имеет диаметр 3700 мм, вершинный радиус 14639 мм (F/1.96), коническую константу -1.03296, асферичность 111 мкм.

Требуемое отклонение волнового фронта по спецификации - 40 нм (среднеквадратичное отклонение волнового фронта, RMS(W)).

Именно для этого зеркала рассматривается технологическая система разгрузки. Зеркало разгружается на 69 мембранно-пневматических опорах (рис. 4.1), центры которых совпадают с центрами приклеенных к тыльной поверхности зеркала инваровых элементов. Эти инваровые элементы являются упорами, через которые передается силовое воздействие на зеркало, установленное в штатной оправе телескопа, для активного управления банным зеркалом.

Как было описано, мембраны аттестуются на определенную рабочую высоту и при использовании их для разгрузки зеркала рассчитываются компенсаторы, чтобы обеспечить одинаковое усилие в точке их приложения к зеркалу. Высота мембраны с компенсатором должна сохраняться с точностью в 0.02-0.03 мм. Для проверки работоспособности оправы и доказательства того факта, что зеркало разгружается на оправе с точностью более высокой, чем требуется по спецификации на готовое зеркало, зеркало поворачивают на оправе на 60 или 120 градусов, снова устанавливают на оправу и контролируют полученный волновой фронт. Если изменения формы волнового фронта лежат в пределах спецификации, то это означает, что разгрузка дает надежное разгруженное состояние зеркала.

Что касается главного зеркала ARIES M1, то заготовка его была изготовлена фирмой SCHOTT, в том числе и площадки, на которые приклеены инваровые элементы. Сами площадки изготовлены с точностью ±0.5 мм. Поэтому, при развороте зеркала на 60 или 120 градусов возникает разновысотность мембранных опор, что приведет к деформациям зеркала.

Расчеты разгруженного состояния зеркала на штатной разгрузке были выполнены как в AMOS, так и в ОАО «ЛЗОС» и показали сходные значения. Расчеты деформаций зеркала на технологической мембранно-пневматической разгрузке показали некоторое различие - возникает зональная ошибка на поверхности детали. Было принято решение - выполнять обработку зеркала на технологической разгрузке, а зональную ошибку вычитать.

4.2 Анализ деформации зеркала на мембранно-технологической разгрузке в основном положении

Фома поверхности зеркала контролируется интерферометром с корректором волнового фронта. Корректор волнового фронта преобразует плоский волновой фронт в асферический, в соответствии с формой поверхности, отраженный фронт снова возвращается в интерферометр и сравнивается с плоским эталонным волновым фронтом. (рис. 4.2).

На рис. 4.3. представлена форма волнового фронта отраженного от зеркала на штатной разгрузке зеркала в телескопе, выполненная заказчиком, фирмой AMOS. Среднеквадратичеая ошибка поверхности (RMS) составляет 9.102 нм. Данные расчеты были проверены и пересчитаны. Результаты представлены на рис. 4.4. Среднеквадратичная ошибка волнового фронта (RMS(W)=0.021 ) равна 6.6 nm, что близко к значениям, полученным AMOS.

Рисунок 4.1. Схема расположения 69 инваровых элементов, которые базируются на мембранно-технологической разгрузке



Рисунок 4.2. Контроль формы поверхности зеркала c интерферометром с корректором волнового фронта: а) схема контроля; б) корректор волнового фронта; в) интерферометр с корректором.

На рис. 4.5 представлены результаты расчета деформаций волнового фронта при помещении зеркала на технологическую разгрузку в те же точки детали. В этом случае ошибка волнового фронта RMS(W)=0.097 , что составляет величину 30.7 нм на поверхности детали.

Появление зональной ошибки на детали объясняется следующим образом. На штатной разгрузке используются неодинаковые силы реакции в точках приложения усилий, а на мембранно-пневматической оправе они одинаковые. За вычетом данной зональной ошибки карта волнового фронта такая же, как для случая штатной разгрузки (рис. 4.4).



Рисунок 4.3. Расчетная форма волнового фронта зеркала на штатной разгрузке

Для данного случая рассчитаны компенсаторы для мембранно-пневматических опор зеркала, задача которых получить разгруженное состояние зеркала, близкое к представленному на рис. 4.4.

Результаты расчетов представлены в таблице 4.1. В таблице приведены высоты опор технологической оправы от базовой плоскости (2-я колонка). Самая низкая площадка в 4-м ряду взята за «0» и в 3-й колонке приведены значения высот относительно нулевой площадки. В скобках приведена поправка к данной высоте, которую необходимо добавить к величине компенсатора. В 5-й колонке приведены высоты площадок детали (в соответствии с сертификатом SCHOTT, рис. 4.6). Все они находятся ниже номинального уровня и поэтому данную поправку необходимо вычесть из высоты компенсаторов.



Рисунок 4.4. Расчетная интерферограмма и карта волнового фронта на штатной разгрузке (внешний диаметр 3600 мм, внутренний 1166 мм). Основные регулярные ошибки исключены.

Рисунок 4.5 Расчетная карта волнового фронта на пневмоопорах (внешний диаметр 3600 мм, внутренний 1166 мм). RMS(W)=0.097 .



Рисунок 4.6. Пример величин высот площадок на заготовке главного зеркала ARIES, Target Value - требуемая высота площадки, Actual Value- действительная высота площадки.

Таблица 4.1

№ опоры	Высота опор (mm)	Поправка высоты относительно уровня 4-го ряда, (мм) dh1	Высоты площадок (мм)	Поправка высоты (мм) dh2
1 ряд
1	177.10	86.30 (0.70)	96.90	-0.10
2	177.09	86.29 (0.71)	96.91	-0.09
3	177.07	86.27 (0.73)	96.91	-0.09
4	177.10	86.30 (0.70)	96.92	-0.08
5	177.10	86.30 (0.70)	96.91	-0.09
6	177.12	86.32 (0.68)	96.94	-0.06
7	177.12	86.32 (0.68)	96.94	-0.06
8	177.10	86.30 (0.70)	96.95	-0.05
9	177.15	86.35 (0.65)	96.84	-0.16
10	177.10	86.30 (0.70)	96.56	-0.44
11	177.10	86.30 (0.70)	96.92	-0.08
12	177.11	86.31 (0.69)	96.91	-0.09
13	177.11	86.31 (0.69)	96.64	-0.36
14	177.13	86.33 (0.67)	96.58	-0.42
15	177.10	86.30 (0.70)	96.64	-0.36
16	177.09	86.29 (0.71)	96.51	-0.49
17	177.14	96.34 (0.66)	96.62	-0.38
18	177.15	86.35 (0.65)	96.59	-0.41
19	177.10	86.30 (0.70)	96.78	-0.22
20	177.11	86.31 (0.69)	96.83	-0.17
21	177.12	98.32 (0.68)	96.86	-0.14
22	177.12	86.32 (0.68)	96.87	-0.13
23	177.10	86.30 (0.70)	96.88	-0.12
24	177.10	86.30 (0.70)	96.90	-0.10
2 ряд
25	143.49	52.69 (-0.19)	62.17	-0.33
26	143.51	52.71 (-0.21)	62.21	-0.29
27	143.51	52.71 (-0.21)	62.14	-0.36
28	143.44	53.44 (0.06)	62.13	-0.37
29	143.52	52.72 (-0.22)	62.46	-0.04
30	143.50	52.70 (-0.20)	62.46	-0.04
31	143.50	52.70 (-0.20)	52.46	-0.04
32	143.45	52.65 (-0.15)	62.09	-0.41
33	143.45	52.65 (-0.15)	62.14	-0.36
34	143.50	52.70 (-0.20)	62.21	-0.29
35	143.50	52.70 (-0.20)	62.47	-0.03
36	143.45	52.65 (-0.15)	62.34	-0.16
37	143.47	52.67 (-0.17)	62.27	-0.33
38	143.45	52.65 (-0.15)	62.11	-0.39
39	143.47	52.67 (-0.17)	62.39	-0.11
40	143.49	52.69 (-0.19)	62.29	-0.21
41	143.47	52.67 (-0.17)	62.46	-0.04
42	143.47	62.67 (-0.17)	62.14	-0.36
3 ряд
43	112.85	22.05 (1.45)	33.33	-0.17
44	112.79	21.99 (1.51)	33.23	-0.27
45	112.75	21.95 (1.55)	33.24	-0.26
46	112.75	21.95 (1.55)	33.23	-0.27
47	112.72	21.92 (1.58)	33.06	-0.44
48	112.82	22.02 (1.48)	33.30	-0.20
49	112.69	21.89 (1.61)	33.23	-0.27
50	112.90	22.10 (1.40)	33.34	-0.16
51	112.73	21.93 (1.57)	33.27	-0.23
52	112.80	22.00 (1.50)	33.35	-0.15
53	112.75	21.95 (1.55)	33.26	-0.24
54	112.80	22.00 (1.50)	33.21	-0.29
55	112.74	21.60 (1.90)	33.33	-0.17
56	112.73	21.93 (1.57)	33.25	-0.25
57	112.81	22.01 (1.49)	33.37	-0.13
4 ряд
58	90.85	-0.05	9.93	-0.07
59	90.83	-0.03	9.90	-0.10
60	90.83	-0.03	9.88	-0.12
61	90.84	-0.04	9.69	-0.31
62	90.83	-0.03	9.84	-0.16
63	90.83	-0.03	9.86	-0.14
64	90.81	-0.01	9.87	-0.13
65	90.80	0.00	9.84	-0.16
66	90.80	0.00	9.89	-0.11
67	90.81	-0.01	9.82	-0.18
68	90.82	-0.02	9.91	-0.09
69	90.85	-0.05	9.90	-0.10

В таблице 4.2 приведены номера опор и их гравировка на корпусе (в скобках), измеренная высота мембраны при высоте эталонной мембраны 39.00 мм, вычисленная высота компенсатора 43-H_{корр.ср.}. В последней колонке окончательная высота компенсатора после суммирования поправок dh₁ и dh_2.

Таблица 4.2 H_настр. = 43 мм

№ опоры	H кор. ср. (мм)	Высота компенсатора мм	Поправка на высоту опор (мм) dh1	Поправка на высоту площадок (мм) dh2

Страница:

•  1 
•  2 

дипломная работа "Разработка и исследование мембранно-пневматической системы разгрузки зеркала диаметром 1715 мм проекта "Спектр-УФ" (Т-170)" скачать

Подобные документы

• Исследование параметров оптических резонаторов на длине волны 1,55 мкм

  Устройство и параметры оптических квантовых генераторов. Устойчивые и неустойчивые резонаторы. Основные типы лазеров, способы накачки. Зеркала оптического резонатора. Определение потерь и оптимального коэффициента пропускания выходного зеркала.
  
  дипломная работа [2,8 M], добавлен 09.10.2013
  

• Измерение коэффициентов отражения зеркал

  Принцип получения отражения с помощью зеркала. Формула расчёта коэффициента отражения многослойного покрытия зеркала. Способ рефлексометрических измерений, его сущность и недостатки. Применение метода кругового сличения, использование рефлектометра.
  
  презентация [483,0 K], добавлен 28.12.2015
  

• Устройство для измерения фокусного расстояния гибкого зеркала

  Разработка функциональной схемы устройства для измерения фокусного расстояния гибкого зеркала. Выбор и технические характеристики фотоприемника, двигателя, блока питания и микроконтроллера. Представление электрической принципиальной схемы устройства.
  
  курсовая работа [3,0 M], добавлен 07.10.2014
  

• Использование установки ДСМ-2 для моделирования поведения первых зеркал в термоядерном реакторе ИТЕР

  Исследование деградации коэффициента отражения для металлических зеркал. Особенности влияния бомбардировки ионами дейтериевой плазмы на зеркала из аморфных сплавов. Гипотеза о зависимости поглощения дейтерия от наличия гидридообразующих компонентов.
  
  дипломная работа [2,8 M], добавлен 07.06.2011
  

• Технология изготовления аргонового лазера

  Конструкция аргонового лазера и особенности его оптического резонатора, активная среда и функциональные особенности. Технологические операции по изготовлению лазера и его выходного зеркала, этапы и принципы их реализации, анализ и оценка эффективности.
  
  курсовая работа [785,0 K], добавлен 16.05.2015
  

• Открытые оптические резонаторы. Конфигурация поля в резонаторе

  Решение дифракционной задачи для открытого резонатора методом последовательных приближений при многократных переходах волны через резонатор. Интеграл Френеля-Кирхгофа и определение зависимости уровня дифракционных потерь для мод зеркала от числа Френеля.
  
  презентация [191,2 K], добавлен 19.02.2014
  

• Электромагнитные волны. Момент импульса электромагнитных волн

  Энергия электромагнитных волн. Вектор Пойнтинга, свойства. Импульс, давление электромагнитного поля. Излучение света возбужденным атомом. Задача на определение тангенциальной силы, действующей на единицу поверхности зеркала со стороны падающего излучения.
  
  контрольная работа [116,0 K], добавлен 20.03.2016
  

• Амплитудно-ступенчатые зеркала открытого квазиоптического резонатора

  Характеристика конфигураций амплитудно-ступенчатых зеркал открытого квазиоптического резонатора СО2-лазера от геометрических размеров зеркал и параметров амплитудно-ступенчатого фильтра в виде поглощающих элементов, размещенных в узловых линиях поля.
  
  дипломная работа [485,8 K], добавлен 09.07.2012
  

• Изучение тонких линз и сферических зеркал

  Определение фокусных расстояний линз и зеркал, наблюдение и оценка их аберраций. Свойства линз и сферических зеркал превращать расходящиеся гомоцентрические пучки лучей в гомоцентрические сходящиеся пучки, виды аберрации. Формула сферического зеркала.
  
  лабораторная работа [59,3 K], добавлен 20.02.2010
  

• Автоматическая частотная разгрузка

  Описание возможных сценариев развития аварий на электростанциях. Автоматическая частотная разгрузка энергосистемы, ее задачи и назначение. Требования, категории разгрузки, установки АЧР. Математическая модель энергосистемы. Моделирование работы разгрузки.
  
  реферат [7,7 M], добавлен 20.03.2011
  

Другие документы, подобные "Разработка и исследование мембранно-пневматической системы разгрузки зеркала диаметром 1715 мм проекта "Спектр-УФ" (Т-170)"

• главная
• рубрики
• по алфавиту
• вернуться в начало страницы
• вернуться к началу текста
• вернуться к подобным работам