Метод электронной оже-спектроскопии
Явление эмиссии оже-электронов при возбуждении внутренних электронных уровней первичным пучком. Зависимость вероятности проявления эффекта от атомного номера исследуемого элемента. Главный анализ обоснования необходимости наличия сверх высокого вакуума.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | контрольная работа |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 20.10.2014 |
| Размер файла | 429,9 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
4. Порядок выполнения работы
1. Получить задание на выполнение работы, содержащее:
- характеристику исследуемого образца;
- информацию об обработке поверхности образца;
- задачу работы: проведение качественного или количественного элементного анализа приповерхностного слоя, определение элементного состава по глубине образца, определение толщины тонких пленок.
2. Ознакомиться с инструкцией по эксплуатации установки РНI-660.
3. В соответствии с полученным заданием выбрать режимы работы энергоанализатора, электронной и ионной пушек.
4. Установить образец в кристаллодержатель и ввести его в исследовательскую камеру с помощью шлюзового штока.
5. Для очистки поверхности образца использовать ионную пушку.
6. Включить электронную пушку, для чего:
- включить тумблер POWER блока питания;
- включить управляющий компьютер;
7. По упругому пику (3кВ) установить образец в фокус электронной пушки.
8. Нажатием SEM получить изображение поверхности во вторичных электронах.
9. Выбрать место на поверхности образца для проведения анализа в соответствии с полученным заданием.
10. Записать оже-спектры обзорный спектр (от 0 до 2000 эВ) или выбрать нужный энергетический интервал (шириной 30 эВ), используя справочные данные об энергетическом положении характериных пиков элементов. Для получения профилей распределения элементного состава по глубине включить ионную пушку и записать данные в режиме PROF.
5. Обработка результатов эксперимента
1. Обработать полученные спектры на ЭВМ с помощью стандартных программ: сглаживание, дифференцирование.
2. Вывести обработанные спектры на печатающее устройство.
3. Провести расшифровку полученных оже-спектров с учетом возможной зарядки образца.
4. Рассчитать количественный состав образца. Полученные данные представить в виде таблицы.
|
Элемент |
|||
|
С, %(ат.) |
5. Построить профиль распределения элементов ( указанных преподавателем по глубине образца С = f(х), где х толщина распыленного слоя, нм. х определить по номограмме (из справочника), учитывая плотность тока первичных ионов j, мА/см2 и коэффициент распыления S.
6. Контрольные вопросы
1. Принцип работы энергоанализатора?
2. Чем определяется разрешающая способность спектрометра?
3. Какова толщина анализируемого слоя методом oже-спектроскопии?
4. От чего зависит интенсивность линий оже-спектра?
5. Методы определения количественного состава с помощью ЭОС?
6. Глубина выхода оже-электронов.
7. Механизм оже-процесса.
8. Вероятность оже-эффекта.
9. Энергетическое разрешение в ЭОС.
Литература
1. Анализ поверхности методами оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии/ Под ред. Д. Бриггса, М. П. Сиха -М.: Мир, 1987.
2. Фелдман Л., Майер Д., Основы анализа поверхности и тонких пленок. -М.: Мир, 1989.
Размещено на Allbest.ru
Подобные документы
Физические процессы, лежащие в основе электронной оже-спектроскопии (ЭОС). Механизмы ЭОС, область ее применения. Относительная вероятность проявления оже-эффекта. Глубина выхода оже-электронов. Анализ тонких пленок, преимущества ионного распыления.
реферат [755,3 K], добавлен 17.12.2013Рассмотрение процесса взаимодействия ионов с твёрдыми телами. Изучение характеристик электронной эмиссии, а также ионной бомбардировки. Зависимость выхода электронов из твёрдого тела от кинетической и потенциальной энергии бомбардирующих частиц.
реферат [1,7 M], добавлен 09.11.2014Возбуждение и ионизация, определение потенциалов ионизации и возбуждения газов методом электронной спектроскопии. Схема энергетических состояний атома газа. Отклоняющее напряжение и процессы столкновений. Схема энергетических уровней атомного ядра.
реферат [3,0 M], добавлен 30.11.2008Понятие электронной микроскопии как совокупности методов исследования с помощью электронных микроскопов микроструктур тел, их локального состава. Содержание телевизионного принципа развертки тонкого пучка электронов или ионов по поверхности образца.
презентация [3,1 M], добавлен 22.08.2015Вакуум - состояние газа при давлении, меньшем атмосферного. Открытие Эдисоном явления, получившего название термоэлектронной эмиссии. Явление термоэлектронной эмиссии и его применение. Появление электронных ламп разнообразных устройств. Вакуумный триод.
реферат [219,1 K], добавлен 19.12.2008Понятие атомного номера элемента в таблице Менделеева. Сопоставление квантовых чисел с определяемыми ими категориями. Связь между атомами в металлах. Классификация дефектов строения кристаллов. Переход вещества из одного агрегатного состояния в другое.
контрольная работа [15,6 K], добавлен 01.10.2010Вакуум - состояние газа при давлении меньше атмосферного. Поток электронов в вакууме как разновидность электрического тока. Явление термоэлектронной эмиссии, его применение. Вакуумный диод (двухэлектродная лампа). Вольтамперная характеристика диода.
реферат [187,2 K], добавлен 24.10.2008Изучение эффекта Унру с точки зрения электродинамики. Формула радиуса комптоновской волны. Возникновение электрических диполей в вакууме. Электродинамические свойства вакуума в ускоренных системах отсчета. Расчет частоты электромагнитного излучения Унру.
контрольная работа [196,9 K], добавлен 26.05.2015Исследование кристаллической структуры поверхности с помощью рентгеновских и электронных пучков. Дифракция электронов низких и медленных энергий (ДЭНЭ, ДМЭ), параметры. Тепловые колебания решетки, фактор Дебая-Валлера. Реализация ДЭНЭ, применение метода.
курсовая работа [3,2 M], добавлен 08.06.2012Загадка природы физического вакуума. Философские проблемы вакуума. Физические феномены. Новое понимание сущности физического вакуума. Макроскопические флуктуации в процессах различной природы. Электроводородный генератор Студенникова.
статья [1,6 M], добавлен 25.12.2003
