Высокоресурсный электродуговой плазматрон постоянного тока

Особенности рабочего процесса Т-плазматрона. Вольт-амперные характеристики. Поток аргоновой плазмы, отклоняемый поперечным потоком технологического газа. Спецификация деталей А-плазматрона. Плазмохимическое травление фоторезиста на кремниевой пластине.

Рубрика Физика и энергетика
Вид статья
Язык русский
Дата добавления 09.06.2014
Размер файла 2,0 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.

    презентация [1,9 M], добавлен 02.10.2013

  • Физика явлений, происходящих в газовых разрядах с непрерывным и импульсным подводом электрической энергии, как основа лазерных технологий. Виды, свойства и характеристики разрядов. Разряд униполярного пробоя газа, его вольт-амперные характеристики.

    дипломная работа [1,9 M], добавлен 25.02.2013

  • Методики экспериментального определения коэффициента ионизации газа. Напряжение возникновения разряда. Вольт-амперные характеристики слаботочного газового разряда в аргоне с молибденовым катодом. Распределение потенциала в газоразрядном промежутке.

    контрольная работа [122,5 K], добавлен 28.11.2011

  • Общая характеристика и исследование схемы двигателя с поперечным потоком, его разновидности и функции, отличительные особенности и назначение. Водяное охлаждение и действенная плотность двигателя, анализ и оценка его главных преимуществ и недостатков.

    презентация [873,0 K], добавлен 23.05.2014

  • Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.

    презентация [2,3 M], добавлен 02.10.2013

  • Приведение переменных и параметров рабочего механизма к валу исполнительного двигателя. Основные характеристики и параметры электропривода. Силовые полупроводниковые преобразователи, принцип их действия и структура. Схемы двигателей постоянного тока.

    дипломная работа [1,0 M], добавлен 30.04.2011

  • Принцип работы и устройство генераторов постоянного тока. Электродвижущая сила и электромагнитный момент генератора постоянного тока. Способы возбуждения генераторов постоянного тока. Особенности и характеристика двигателей различных видов возбуждения.

    реферат [3,2 M], добавлен 12.11.2009

  • Роль и значение машин постоянного тока. Принцип работы машин постоянного тока. Конструкция машин постоянного тока. Характеристики генератора смешанного возбуждения.

    реферат [641,0 K], добавлен 03.03.2002

  • Контакторы рычажного типа. Устройство дугогасительных систем по принципу гашения электрической дуги поперечным магнитным полем в дугогасительных камерах. Конструкции контакторов постоянного и переменного тока. Устройство и общая компоновка контакторов.

    лабораторная работа [125,7 K], добавлен 12.01.2010

  • Разработка конструкции сенсорного выключателя. Выбор типа печатной платы, класса точности и метода ее изготовления. Шаг координатной сетки. Размещение элементов проводящего рисунка. Разработка технологического процесса сборки вольтметра постоянного тока.

    курсовая работа [42,9 K], добавлен 20.03.2014

  • Понятие полупроводникового диода. Вольт-амперные характеристики диодов. Расчет схемы измерительного прибора. Параметры используемых диодов. Основные параметры, устройство и конструкция полупроводниковых диодов. Устройство сплавного и точечного диодов.

    курсовая работа [1,0 M], добавлен 04.05.2011

  • Принцип работы и устройство генератора постоянного тока. Типы обмоток якоря. Способы возбуждения генераторов постоянного тока. Обратимость машин постоянного тока. Двигатель параллельного, независимого, последовательного и смешанного возбуждения.

    реферат [3,6 M], добавлен 17.12.2009

  • Конструкция и принцип действия машины постоянного тока. Характеристики генератора независимого возбуждения. Внешняя характеристика генератора параллельного возбуждения. Принцип обратимости машин постоянного тока. Электромагнитная обмотка якоря в машине.

    презентация [4,1 M], добавлен 03.12.2015

  • Электрический привод с тиристорными преобразователями и двигателями постоянного тока как основной тип привода станков с ЧПУ. Основные характеристики электропривода и тип двигателя постоянного тока. Достоинства и недостатки высокомоментных двигателей.

    курсовая работа [1,5 M], добавлен 14.12.2012

  • Особенности расчета двигателя постоянного тока с позиции объекта управления. Расчет тиристорного преобразователя, датчиков электропривода и датчика тока. Схема двигателя постоянного тока с независимым возбуждением. Моделирование внешнего контура.

    курсовая работа [1,2 M], добавлен 19.06.2011

  • История открытия и создания двигателей постоянного тока. Принцип действия современных электродвигателей. Преимущества и недостатки двигателей постоянного тока. Регулирование при помощи изменения напряжения. Основные линейные характеристики двигателя.

    курсовая работа [1,3 M], добавлен 14.01.2018

  • Сущность и решение машинных цепей при переменных ЭДС и трансформаторах. Расчет характеристик трехфазного трансформатора. Трехфазные асинхронные двигатели. Машины постоянного тока, их характеристики и особенности. Расчет двигателя постоянного тока.

    контрольная работа [590,3 K], добавлен 06.04.2009

  • Разработка конструкции двигателя постоянного тока. Число эффективных проводников в пазу. Плотность тока в обмотке якоря. Индукция в расчётных сечениях магнитной цепи. Магнитное напряжение воздушного зазора. Расчёт характеристики намагничивания машины.

    курсовая работа [333,5 K], добавлен 30.04.2009

  • Основные понятия и специальные разделы электродинамики. Условия существования электрического тока, расчет его работы и мощности. Закон Ома для постоянного и переменного тока. Вольт-амперная характеристика металлов, электролитов, газов и вакуумного диода.

    презентация [8,4 M], добавлен 30.11.2013

  • Устройство и назначение генератора постоянного тока. Основные характеристики и принципиальная электрическая схема генераторной установки. Материалы, применяемые при изготовлении, техническом обслуживании и ремонте. Безопасность организации труда.

    курсовая работа [1,0 M], добавлен 25.06.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.