Технология литографических процессов
Анализ ограничений разрешающей способности фотолитографии. Сущность и этапы литографии: формирование слоя фоторезиста; создание рельефной структуры; перенос рельефа фоторезиста на технологический слой подложки. Развитие теневых методов литографии.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Вид | учебное пособие |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 25.11.2023 |
| Размер файла | 13,4 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.
реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.
курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.
презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013Геометрические параметры и физико-механическое состояние поверхностного слоя деталей. Граничный и поверхностный слой. Влияние механической обработки, состояния поверхностного слоя заготовки и шероховатости на эксплуатационные свойства деталей машин.
презентация [1,9 M], добавлен 26.10.2013Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.
контрольная работа [304,0 K], добавлен 03.10.2009Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.
реферат [1,0 M], добавлен 06.05.2014Классификация методов переработки пластиковой тары. Принцип создания кипящего слоя. Печь псевдоожиженного слоя, ее схема. Компоновка производственной линии сортировки отходов. Изменение сопротивления слоя сыпучих материалов от скорости сушильного агента.
курсовая работа [2,4 M], добавлен 08.04.2015Патентно-информационное исследование и разработка структуры пневмопривода. Использование промышленного робота МП-9С для автоматизации технологических процессов, где необходимо осуществить захват, перенос и установку детали по координатам рабочей зоны.
курсовая работа [3,1 M], добавлен 23.07.2012Химико-технологические процессы, в которых основную роль играет перенос вещества из одной фазы в другую (массообменные). Разность химических потенциалов как движущая сила массообменных процессов. Использование массообменных процессов в промышленности.
презентация [241,5 K], добавлен 10.08.2013Определение и виды технологий; классификация отраслей промышленности. Категории и понятия экономики, специфические черты системы экономики. Особенности и характеристики методов управления разновидностями процессов в разных отраслях промышленности.
реферат [16,4 K], добавлен 06.05.2010Сущность производственного процесса. Структура и технологический порядок осуществления операций. Соблюдение принципов организации производства как основополагающее условие его эффективности. Целесообразность единичного и серийного его типов в экономике.
презентация [98,2 K], добавлен 24.03.2014Изучение видов и технологических особенностей переплавных процессов. Сравнительный анализ методов получения специальных сталей. Выявление их преимуществ и недостатков. Выбор оптимального метода переплава. Сопоставление показателей переплавных процессов.
реферат [37,4 K], добавлен 12.10.2016Назначение электронного узла и условия его работы. Анализ технологичности: отраслевые стандарты, критерии качественной и количественной оценки. Определение типа производства, выбор и обоснование методов. Этапы разработки технологической схемы сборки.
курсовая работа [346,4 K], добавлен 09.12.2014Надежность машин и механизмов как важнейшее эксплуатационное свойство. Методы проектирования и конструирования, направленные на повышение надежности. Изучение влияния методов обработки на формирование физико-механических свойств поверхностного слоя.
реферат [303,6 K], добавлен 18.04.2016Выбор и обоснование технологической схемы производства, ее разработка и основные этапы. Характеристика сырья и готовой продукции. Автоматический контроль и регулирование параметров процессов. Описание и порядок расчета внутрицехового транспорта.
дипломная работа [678,5 K], добавлен 12.10.2012Анализ существующей методики получения поверхностного слоя методом электроискрового легирования, которая не учитывает образование слоя на начальном этапе. Зависимость переноса массы от плотности анода и катода. Образование первичного и вторичного слоя.
статья [684,1 K], добавлен 21.04.2014Химический состав, пищевая и биологическая ценность топленого молока. Требования к качеству сырья, используемого при производстве топленого молока. Выбор и обоснование методов, режимов и оборудования технологических процессов выработки топленого молока.
курсовая работа [146,0 K], добавлен 19.12.2022Классификация и разновидности железоуглеродистых сплавов в зависимости от содержания в них углерода. Кристаллизация заэвтектического чугуна, этапы данного процесса и его конечные продукты. Формирование структуры при охлаждении сталей и серых чугунов.
презентация [3,7 M], добавлен 29.09.2013Общие понятия о технологических размерных цепях, их виды. Условия осуществления размерного анализа технологических процессов. Основные методы и этапы расчета технологических размерных цепей. Назначение допусков на размеры исходной заготовки детали.
презентация [774,8 K], добавлен 26.10.2013Изучение и анализ существующих конструкций автоматических загрузочных устройств, механизмов автоматического контроля деталей и технологических процессов. Обоснование созданных конструкций. Вариантность при разработке робота технологических процессов.
контрольная работа [500,7 K], добавлен 21.04.2013
