Современные технологические процессы производства пластин-подложек интегральных микросхем
Повышение точности пластин-подложек интегральных микросхем из кремния и сапфира и производительности технологических процессов. Параметры доводочных операций на этапах шлифовки и полирования. Отклонения детали при обработке пластин различных диаметров.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Предмет | Технологии |
| Вид | автореферат |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | Аникин А.В. |
| Дата добавления | 31.03.2018 |
| Размер файла | 541,6 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Рассмотрены методы шлифовки, которые разделяют по виду используемого абразива на обработку свободным и связанным абразивом, по конструкции станка и характеру удаления припуска – на одностороннюю и двустороннюю. Полировка полупроводниковых пластин.
реферат [90,4 K], добавлен 19.01.2009Технологія виготовлення планарного діода: вхідний контроль, підготовка напівпровідникових пластин, епітаксія, окислювання кремнієвих пластин, фотолітографія, металізація. Скрайбування та розламування пластин на кристали. Розрахунок дифузійного процесу.
курсовая работа [696,4 K], добавлен 10.11.2013Дифференциальное уравнение изгиба абсолютно жестких пластин судового корпуса. Перемещения пластины и значения изгибающих моментов. Цилиндрическая жесткость пластины. Влияние цепных напряжений на изгиб пластин. Определение напряжений изгиба пластины.
курсовая работа [502,8 K], добавлен 28.11.2009Оборудование для нанесения фоторезиста методом центрифугирования. Оборудование для разделения подложек на кристаллы – лазерное скрайбирование, защита объектива от продуктов испарения. Резка стальными полотнами и дисками, лазерное разделение пластин.
контрольная работа [304,0 K], добавлен 03.10.2009Заготовки фасонного монолитного инструмента из твердого сплава. Припаивание пластин из твёрдых сплавов. Процесс шлифования. Смазочно-охлаждающие жидкости. Затачивание и доводка алмазными кругами. Шлифование многогранных неперетачиваемых пластин.
курсовая работа [8,8 M], добавлен 27.12.2008Ассортимент и характеристики выпускаемой продукции современным полиграфическим предприятием. Выбор и контроль качества изготовления печатных пластин. Тенденции развития цифровых допечатных технологий. Участок шахматных полей. Отработка режимов проявления.
презентация [819,4 K], добавлен 05.10.2014Разработка технологического процесса изготовления крепежной панели, входящей в состав стенда по испытанию интегральных микросхем при пониженном атмосферном давлении. Оценка эффективности процесса изготовления детали по технологической себестоимости.
курсовая работа [1,4 M], добавлен 07.01.2015Конструктивные особенностей резцов с многогранными твёрдосплавными пластинами. Достоинства и недостатки различных способов установки в державке резца многогранных сменных пластинок. Крепление прихватом сверху для наилучшей точности установки пластины.
лабораторная работа [72,3 K], добавлен 12.10.2013Назначение и краткое техническое описание детали, разработка твердотельной 3D-модели. Расчет силовых и деформационных параметров в процессе эксплуатации. Выбор технологических баз и оценка точности базирования заготовки. План обработки, маршрут операций.
дипломная работа [1,2 M], добавлен 05.04.2017Разработка технологических процессов изготовления деталей с помощью систем автоматизированного проектирования технологических процессов. Описание конструкции, назначения и условий работы детали в узле. Материал детали и его химико-механические свойства.
курсовая работа [978,3 K], добавлен 20.09.2014