Моделирование интегрированного внутреннего упругого подвеса микромеханического устройства

Устройства с интегрированными в объеме или на поверхности твердого тела электронными и микромеханическими структурами. Интеграция микроэлектромеханических систем с оптическими компонентами. Технологический маршрут изготовления микромеханического зеркала.

Рубрика Производство и технологии
Предмет Микросистемная техника
Вид статья
Язык русский
Прислал(а) Аля
Дата добавления 28.05.2017
Размер файла 1,5 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.