Комплект технологической документации по оптической контактной литографии

Основные параметры литографических процессов. Фоторезисты, фотошаблоны и контактная фотолитография. Дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Рентгеновская литография и электронно-лучевая. Выбор и описание технологического оборудования.

Рубрика Производство и технологии
Вид дипломная работа
Язык немецкий
Дата добавления 11.08.2015
Размер файла 3,3 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.

    курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010

  • Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.

    презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013

  • Принцип контактной электрической сварки. Основные виды электрической контактной сварки: стыковая сопротивлением и точечная; последовательность операций. Технология электрической контактной сварки и подготовка заготовок. Получение стыкового соединения.

    контрольная работа [499,4 K], добавлен 25.11.2012

  • Сущность и классификация методов контактной сварки по форме сварного соединения, роду сварочного тока и характеру протекания производственного процесса. Оценка преимуществ и недостатков контактной сварки, используемое в ней оборудование и материалы.

    презентация [1,0 M], добавлен 04.07.2014

  • Основы теории и технологии контактной точечной сварки. Процессы, протекающие при контактной точечной сварке: деформирования свариваемых деталей; формирования механических и электрических контактов, электрической проводимости зоны сварки; нагрева металла.

    учебное пособие [8,4 M], добавлен 21.03.2008

  • Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.

    дипломная работа [4,8 M], добавлен 08.07.2014

  • Основные виды контактной сварки. Конструктивные элементы машин для контактной сварки. Классификация и обозначение контактных машин, предназначенных для сварки деталей. Система охлаждения многоэлектродных машин. Расчет режима точечной сварки стали 09Г2С.

    контрольная работа [1,1 M], добавлен 05.09.2012

  • Молекулярно-лучевая эпитаксия как эпитаксиальный рост в условиях сверхвысокого вакуума. Характеристика видов электронных микроскопов, анализ сфер применения. Рассмотрение составных частей установки ионной имплантации. Особенности электронной литографии.

    реферат [1,0 M], добавлен 06.05.2014

  • Разработка плана контактной сети перегона, определение объемов строительных работ. Выбор технических средств для сооружения опор. Расчет количества "окон" для сооружения опор контактной сети методом с пути. Разработка графика работы установочного поезда.

    курсовая работа [631,0 K], добавлен 19.07.2011

  • Технология электронно-лучевой обработки конструкционных материалов. Электронно-лучевая плавка и сварка металлов. Лазерная обработка материалов и отверстий. Ионно-лучевая обработка материалов. Ионно-лучевые методы осаждения покрытий и ионная литография.

    реферат [1,3 M], добавлен 23.06.2009

  • Структура управления предприятием. Характеристика основного и вспомогательного оборудования. Основные параметры полуфабрикатов и основного продукта по технической документации. Регулирование режимов технологического процесса и контроль параметров работы.

    отчет по практике [1,1 M], добавлен 11.03.2015

  • Структура процессов и документации технологической части самолетостроения. Конструктивно-технологический анализ кронштейна, выбор схемы базирования и закрепления. Химический состав стали, выбор заготовки и технологического процесса производства детали.

    курсовая работа [2,5 M], добавлен 26.12.2010

  • Характеристика контактной сварки и соединения деталей. Конструкция изделия и условия его работы. Характеристика материала и оценка его свариваемости. Расчет режимов сварки, проектирование сварочного контура машины и техническое нормирование работ.

    курсовая работа [136,8 K], добавлен 15.06.2009

  • Методика разработки технологической схемы производства силикатного кирпича и общее описание технологического процесса. Содержание материального баланса завода. Порядок формирования технологической карты производственного процесса на исследуемом заводе.

    контрольная работа [35,6 K], добавлен 10.01.2013

  • Анализ процессов и устройств для сборки и монтажа, технологичности конструкции изделия. Разработка технологической схемы сборки, вариантов маршрутной технологии, выбор технологического оборудования и оснастки. Проектирование технологического процесса.

    курсовая работа [340,2 K], добавлен 01.12.2009

  • Анализ конструкции детали "Зубчатое колесо", выбор заготовки и метода ее получения. Оценка нужного оборудования и технологической оснастки. Определение операций механической обработки по переходам, их нормирование. Разработка технологической документации.

    курсовая работа [179,9 K], добавлен 03.04.2012

  • Исследование особенностей конструкции металлической стойки опор контактной сети. Анализ влияния элементов на свариваемость. Организация рабочего места сварщика. Характеристика сварочного оборудования. Расчет режимов сварки. Дефекты сварных соединений.

    реферат [289,2 K], добавлен 20.07.2015

  • Характеристика технологического процесса производства хлеба пшеничного. Анализ нормативной документации на производимую продукцию. Расчет экономической эффективности за счет внедрения инновационного оборудования. Применение метода "Бенчмаркинга".

    дипломная работа [1,1 M], добавлен 13.02.2012

  • Разработка маршрутного технологического процесса изготовления детали "корпус водила нижнего". Описание технологической операции для фрезерования пазов. Выбор оборудования и режущего инструмента для данной операции. Расчет параметров режима резания.

    курсовая работа [2,3 M], добавлен 15.12.2014

  • Назначение и описание детали "остов якоря", точностные характеристики ее поверхности. Выбор станочного оборудования и режущих инструментов. Описание технологического процесса, программа обработки детали. Расчет режимов резания, контроль качества.

    курсовая работа [52,3 K], добавлен 29.07.2012

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.