Комплект технологической документации по оптической контактной литографии

Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Выбор и описание технологического оборудования. Плотность элементов в кристалле ИМС. Возможные дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Контроль рельефа рисунка в подложке.

Рубрика Производство и технологии
Вид курсовая работа
Язык русский
Дата добавления 15.08.2014
Размер файла 2,1 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

  • Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Фоторезисты и фотошаблоны, дефекты при проведении процесса контактной фотолитографии. Сущность бесконтактной, рентгеновской и электронно-лучевой литографии, оценка технологического процесса.

    курсовая работа [4,9 M], добавлен 12.06.2010

  • Основы теории и технологии контактной точечной сварки. Процессы, протекающие при контактной точечной сварке: деформирования свариваемых деталей; формирования механических и электрических контактов, электрической проводимости зоны сварки; нагрева металла.

    учебное пособие [8,4 M], добавлен 21.03.2008

  • Разработка плана контактной сети перегона, определение объемов строительных работ. Выбор технических средств для сооружения опор. Расчет количества "окон" для сооружения опор контактной сети методом с пути. Разработка графика работы установочного поезда.

    курсовая работа [631,0 K], добавлен 19.07.2011

  • Исследование особенностей конструкции металлической стойки опор контактной сети. Анализ влияния элементов на свариваемость. Организация рабочего места сварщика. Характеристика сварочного оборудования. Расчет режимов сварки. Дефекты сварных соединений.

    реферат [289,2 K], добавлен 20.07.2015

  • Принцип контактной электрической сварки. Основные виды электрической контактной сварки: стыковая сопротивлением и точечная; последовательность операций. Технология электрической контактной сварки и подготовка заготовок. Получение стыкового соединения.

    контрольная работа [499,4 K], добавлен 25.11.2012

  • Основные виды контактной сварки. Конструктивные элементы машин для контактной сварки. Классификация и обозначение контактных машин, предназначенных для сварки деталей. Система охлаждения многоэлектродных машин. Расчет режима точечной сварки стали 09Г2С.

    контрольная работа [1,1 M], добавлен 05.09.2012

  • Назначение и описание детали "остов якоря", точностные характеристики ее поверхности. Выбор станочного оборудования и режущих инструментов. Описание технологического процесса, программа обработки детали. Расчет режимов резания, контроль качества.

    курсовая работа [52,3 K], добавлен 29.07.2012

  • Сущность и классификация методов контактной сварки по форме сварного соединения, роду сварочного тока и характеру протекания производственного процесса. Оценка преимуществ и недостатков контактной сварки, используемое в ней оборудование и материалы.

    презентация [1,0 M], добавлен 04.07.2014

  • Описание действующей технологии изготовления изделия, анализ вариантов сварки. Расчет режимов, выбор и обоснование используемого оборудования и приспособлений. Разработка технологического процесса сборки и сварки изделия, контроль качества материалов.

    дипломная работа [678,7 K], добавлен 15.02.2015

  • Методика разработки технологической схемы производства силикатного кирпича и общее описание технологического процесса. Содержание материального баланса завода. Порядок формирования технологической карты производственного процесса на исследуемом заводе.

    контрольная работа [35,6 K], добавлен 10.01.2013

  • Анализ процессов и устройств для сборки и монтажа, технологичности конструкции изделия. Разработка технологической схемы сборки, вариантов маршрутной технологии, выбор технологического оборудования и оснастки. Проектирование технологического процесса.

    курсовая работа [340,2 K], добавлен 01.12.2009

  • Анализ конструкции детали "Зубчатое колесо", выбор заготовки и метода ее получения. Оценка нужного оборудования и технологической оснастки. Определение операций механической обработки по переходам, их нормирование. Разработка технологической документации.

    курсовая работа [179,9 K], добавлен 03.04.2012

  • Структура управления предприятием. Характеристика основного и вспомогательного оборудования. Основные параметры полуфабрикатов и основного продукта по технической документации. Регулирование режимов технологического процесса и контроль параметров работы.

    отчет по практике [1,1 M], добавлен 11.03.2015

  • Технологические процессы производства молочных продуктов, технологические операции, выполняемые на разных машинах и аппаратах. Описание технологической схемы производства спредов, сравнительная характеристика и эксплуатация технологического оборудования.

    курсовая работа [1,5 M], добавлен 27.03.2010

  • Перспективы проектирования детской одежды из эластичных материалов. Анализ современного парка оборудования, применяемого при работе с трикотажем, методы обработки узлов и направления современной моды. Этапы технологии изготовления детской куртки.

    дипломная работа [794,8 K], добавлен 01.05.2013

  • Разработка маршрутного технологического процесса изготовления детали "корпус водила нижнего". Описание технологической операции для фрезерования пазов. Выбор оборудования и режущего инструмента для данной операции. Расчет параметров режима резания.

    курсовая работа [2,3 M], добавлен 15.12.2014

  • Выбор рациональной технологической структуры процесса раскроя материалов. Операции по сборке и комплектованию. Вырезание деталей, нумерация, контроль качества кроя. Обработка дефектных полотен. Расчет рабочей силы, оборудования, площадей раскройного цеха.

    курсовая работа [117,5 K], добавлен 19.08.2016

  • Возможности литографии высокого разрешения как универсального способа получения изображения элементом микросхемы на кристалле полупроводника. Основные виды литографии, их характеристика и применение. Фотолитография, рентгеновская и электронная литография.

    презентация [369,7 K], добавлен 26.08.2013

  • Описание технологии производства и конструкций разрабатываемого оборудования. Технологический расчет колонны. Технологический расчет теплообменника. Расчет, выбор стандартизированного вспомогательного оборудования. Автоматизация технологического процесса.

    дипломная работа [2,5 M], добавлен 03.05.2009

  • Совмещение и экспонирование - ответственные операции процесса фотолитографии. На слое фоторезиста возможны различные виды брака. Плохая адгезия фоторезиста к подложке вызывает при последующем травлении растравливание и искажение рисунков элементов.

    реферат [470,4 K], добавлен 06.01.2009

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.