Комплект технологической документации по оптической контактной литографии

Современные литографические процессы в технологии ППП и ИС. Понятие и специфика фоторезистов и фотошаблонов. Характеристика контактной и бесконтактной фотолитографии. Выбор и описание работы технологического оборудования оптической фотолитографии.

Рубрика Физика и энергетика
Вид дипломная работа
Язык русский
Дата добавления 25.10.2010
Размер файла 3,1 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.

Установка отмывки полупроводниковых пластин Ostec ADT 976 руководство по эксплуатации.

Установка нанесения, проявления и снятия фоторезиста Ostec EVG®101 руководство по эксплуатации.

Установка прецизионного двухстороннего совмещения и экспонирования Ostec EVG620 руководство по эксплуатации.

Nikon каталог продукции - Микроскопы для исследования полупроводниковых пластин.

Прямой моторизированный инспекционный микроскоп Nikon Eclipse L200А руководство по эксплуатации.

Sawatec каталог продукции - температурные установки.

Установка сушильная Sawatec HP 150 руководство по эксплуатации.

Список литературы

Для подготовки данной работы были использованы материалы с сайта http://referat.ru


Подобные документы

  • Определение нормативных нагрузок на провода контактной сети. Расчет натяжения проводов и допустимых длин пролетов. Разработка схем питания и секционирования станции. Составление плана контактной сети. Выбор способа прохода контактной цепной подвески.

    курсовая работа [561,0 K], добавлен 01.08.2012

  • Технология изготовления элементов интегральной оптики методом ионного обмена в стеклянных подложках. Промышленные технологии стыковки волоконных световодов и интегрально-оптических волноводов. Процесс напыления маскирующей пленки и фотолитографии.

    дипломная работа [5,6 M], добавлен 09.10.2013

  • Устройство электрификации железной дороги, разработка контактной сети: климатические, инженерно-геологические условия, тип контактной подвески; расчеты нагрузок на провода и конструкции, длин пролетов, выбор рационального варианта технического решения.

    курсовая работа [57,3 K], добавлен 02.02.2011

  • Механический расчет цепной контактной подвески. Определение длин пролетов на прямом и кривом участках пути. Составление схемы питания и секционирования контактной сети. Проход контактной подвески в искусственных сооружениях. Расчет стоимости оборудования.

    курсовая работа [3,3 M], добавлен 21.02.2016

  • Разработка технологического процесса выправки железобетонных опор контактной сети комплексом машин. Определение состава усиленной механизированной бригады по ремонту устройств электроснабжения. Расчет себестоимости работ по выправке опор контактной сети.

    контрольная работа [215,8 K], добавлен 11.01.2014

  • Проект участка контактной сети. Расчет нагрузок на провода. Определение допустимых длин пролетов. Механический расчет анкерного участка полукомпенсированной контактной подвески станции. Подбор стоек опор контактной сети. Оценка риска отказа участка.

    дипломная работа [495,8 K], добавлен 08.06.2017

  • Количественная оценка технического состояния зажимов контактной сети по падению напряжения на зажимах. Прогнозирование долговечности ригеля. Восстановление устройств контактной сети. Погрузка и разгрузка на обочину опор, ригелей, фундаментов и анкеров.

    курсовая работа [63,8 K], добавлен 21.01.2013

  • Расчет размеров движения, расхода электроэнергии, мощности тяговых подстанций. Тип и количество тяговых агрегатов, сечение проводов контактной сети и тип контактной подвески. Проверка сечения контактной подвески по нагреванию. Токи короткого замыкания.

    курсовая работа [333,8 K], добавлен 22.05.2012

  • Определение нагрузок на провода контактной сети, группового заземления, максимально допустимых длин пролета. Трассировка контактной сети на перегоне. Требование к сооружениям и устройствам электроснабжения железных дорог. Расчет стоимости сооружения.

    дипломная работа [1,9 M], добавлен 30.07.2015

  • Расчет гидропривода машины для контактной стыковой сварки. Выбор основных параметров гидродвигателя, гидроаппаратуры. Внутренний диаметр трубопровода. Предельные значения объемного расхода. Характеристика магистральной и вспомогательных гидролинии.

    контрольная работа [957,9 K], добавлен 20.04.2015

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.