Оптичний актинометричний метод контролю плазмохімічних процесів в мікроелектронній технології

Аналіз можливостей і перспектив використання оптичного актинометричного методу контролю плазмохімічного травлення структур р­Si/SiO2/Si при виготовленні приладів сучасної мікро­ та наноелектроніки. Результати досліджень процесу травлення мікроструктур.

Рубрика Производство и технологии
Вид статья
Язык украинский
Дата добавления 30.10.2016
Размер файла 599,5 K

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.


Подобные документы

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.