Методы и средства измерений линейных размеров в нанометровом диапазоне
Разработка методов и средств измерений линейных размеров элементов в субмикронной и нанометровой областях. Перспективы уменьшения критического размера элемента микросхемы от 0,35 до 0,07 мкм при сохранении погрешности их измерения в контрольной операции.
| Рубрика | Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника |
| Предмет | Микроэлектроника |
| Вид | статья |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | А.Ю. Кузин |
| Дата добавления | 02.11.2018 |
| Размер файла | 1,1 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Средства электрических измерений: меры, преобразователи, комплексные установки. Классификация измерительных устройств. Методы и погрешности измерений. Определение цены деления и предельного значения модуля основной и дополнительной погрешности вольтметра.
практическая работа [175,4 K], добавлен 03.05.2015Классификация методов повышения точности средств измерений. Уменьшение аддитивной погрешности. Метод отрицательной связи, инвариантности, прямого хода, вспомогательных измерений. Периодическая автоподстройка параметров. Виды помех, способы их описания.
курсовая работа [1,6 M], добавлен 13.11.2011Государственная метрологическая аттестация: методы и проблемы проверки магнитоэлектрических логометров, стандарты достоверности, средства измерений и контроля. Правила и схемы метрологических проверок средств измерения для обеспечения единства измерений.
курсовая работа [44,2 K], добавлен 27.02.2009Параметры ошибок и методы их измерений по G.821. Схема измерений параметров каналов ЦСП типа "точка-точка". Основные принципы методологии измерений по G.826. Методика индикационных измерений. Измерение параметров кодовых ошибок, их связь с битовыми.
реферат [405,0 K], добавлен 12.11.2010Понятие средства измерений, их виды и классификация погрешностей. Метрологические характеристики средств измерений, особенности норм на их значения. Частные динамические характеристики аналого-цифровых преобразователей и цифровых измерительных приборов.
курсовая работа [340,9 K], добавлен 03.01.2013Измерительные приборы, при помощи которых можно измерить напряжение, ток, частоту и разность фаз. Метрологические характеристики приборов. Выбор ваттметра для измерения активной мощности, потребляемой нагрузкой. Относительные погрешности измерения.
задача [26,9 K], добавлен 07.06.2014Структурная схема и принцип работы средства измерений прямого и уравновешивающего преобразования. Назначение и сферы применения время-импульсного цифрового вольтметра. Нахождение результата и погрешности косвенного измерения частоты по данным измерения.
контрольная работа [1,3 M], добавлен 17.01.2010Обзор конструктивных особенностей и характеристик лазеров на основе наногетероструктур. Исследование метода определения средней мощности лазерного излучения, длины волны, измерения углов расходимости. Использование исследованных средств измерений.
дипломная работа [2,7 M], добавлен 26.10.2016Поверка средств измерений органами метрологической службы при помощи эталонов и образцовых средств измерений. Описание технических приемов поверки. Принцип действия измерительного преобразователя. Описание и характеристики преобразователя "Сапфир-22ДИ".
реферат [480,1 K], добавлен 17.07.2015Обзор методов измерения физической величины и их сравнительный анализ. Принцип действия фотоэлектрических преобразователей. Избыточный коэффициент усиления. Источники погрешностей от приемников излучения. Погрешности от нестабильности условий измерений.
курсовая работа [917,9 K], добавлен 06.12.2014