Інформаційні технології аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем

Для розв'язання подібних задач призначена спеціальна мова VHDL-AMS. Вона дає змогу побудувати VHDL-AMS моделі для аналізу аналогових, цифрових схем та сигналів неелектричної природи. Відповідно, кожна модель описує роботу неелектричних елементів МЕМС в описі загальної електричної схеми.

В роботі розроблено метод автоматизованої побудови VHDL-AMS моделей. Він потребує побудови спрощеної механічної моделі, а потім - спрощеної електричної моделі з наступною її формалізацією. На базі розроблених спрощених моделей розробляється VHDL-AMS модель електромеханічного елемента МЕМС. Приклад частини VHDL-AMS моделі акселерометра ємнісного типу має вигляд:

architecture archDAVACH_ACCEL_CAPAS_Fe of DAVACH_ACCEL_CAPAS_Fe is

constant Kon: real:= 0.5e-12; quantity x: real:= 0.0; quantity R: real:= 0.0;

quantity V: real:= 0.0; quantity F across Fin to GROUND;

quantity C: real:= 0.0; quantity Q: real:= 0.0; quantity I: real:= 0.0; quantity Fe: real:= 0.0;

begin

V'dot == (F+Fe-R)/M; Fe == Kon*Area*eps*epsVak*Volt*Volt/((d-x)*(d-x));

R == D*V+K*x; x'dot == V; C == Area*eps*epsVak/(d-x); Q == C*Volt; Q'dot == I;

end architecture archDAVACH_ACCEL_CAPAS_Fe;

Аналогічні VHDL-AMS - моделі розроблені в дисертаційній роботі для базових елементів МЕМС, зокрема: ємнісного акселерометра зустрічно-стрижневої конструкції, ємнісного акселерометра пластинчастої конструкції, п'єзорезистивного давача тиску, ємнісного давача та інших. Окрім того, запропоновані VHDL-AMS моделі дають змогу організувати обмін інформацією між функціональним, схемотехнічним та компонентним рівнями ІТ аналізу та синтезу МЕМС.

Розроблений метод можна використовувати при побудові VHDL-AMS моделей з іншими принципами роботи, а для випадків, коли побудувати модель пристрою МЕМС на основі методу аналогій та теорії коливань неможливо, то необхідно використовувати евристичні моделі чи моделі, які наведені в літературних джерелах. Як один з таких можливих підходів в дисертаційній роботі наведено розробку моделі схемотехнічного рівня для аналізу та синтезу інтегрального ємнісного давача зустрічно-стрижневої конструкції та наведено розробку оптимізаційної моделі і розв'язання даної задачі.

У п'ятому розділі дисертаційної роботи розроблено методи автоматизації побудови моделей і моделі для компонентного рівня ІТ аналізу та синтезу МЕМС.

Вдосконалено метод автоматизованої побудови моделей базових ємнісних елементів для компонентного рівня ІТАС МЕМС, який грунтується на забезпеченні єдиного підхіду до визначення ємності для елементів різного конструктивного виконання з мікронними розмірами.

Кожна модель електростатичного елемента потребує визначення величини ємності з високою точністю. Так, ємність в усіх синтезованих моделях визначається через енергію та напругу , прикладену до електростатичного елемента:

,

де ,- значення вектора електричної індукції і напруженості електричного поля в точці з координатами ;

- вагові коефіцієнти.

Розроблений алгоритм визначення ємності для конструкцій ємнісних елементів передбачає визначення розподілу електростатичного потенціалу, електричного поля та вектора електричної індукції в тривимірній області моделювання.

Визначення розподілу потенціалу в тривимірному випадку для однорідного середовища потребує розв'язання системи диференціальних РЧП з відповідними крайовими умовами на межі області моделювання та розділу двох середовищ:

, ,

де - значення електростатичного потенціалу в -й області; - номер середовища з відповідним значенням діелектричної проникності.

Для визначення розподілу напруженості електричного поля в тривимірному випадку, необхідно розв'язати систему тривимірних рівнянь Пуассона з відповідними крайовими умовами

, ,

де - вектор електричної індукції; - діелектрична проникність -го середовища; - напруженість електричного поля.

Розроблений метод грунтуються при побудові моделей, що використовують рівняння в частинних похідних, а при розв'язанні використано метод скінчених різниць (МСР), що дає змогу врахувати нелінійні процеси, які присутні в реальних пристроях, отримати вихідні параметри з похибкою 5 - 8%, забезпечують єдиний підхід до визначення ємності для пристроїв МЕМС різного конструктивного виконання та дають змогу контролювати похибку вихідних параметрів в процесі розв'язання задач.

Вдосконалено математичну модель електромагнітного актюатора для елементного рівня розроблення. В загальному випадку ММ дає змогу визначити прогин балки та кут відхилення і включає диференціальне рівняння другого порядку

з крайовими умовами , ,

де - прогин балки; - прикладена сила, яка обумовлена взаємодією пермалоєвої пластини та вектора магнітної індукції; - модуль Юнга; - момент інерції; - кут відхилення балки.

При визначенні відхилення тонкої пластини з тонким шаром пермалою необхідно визначити величину сили

, , ,

де і - напруженість магнітного поля на верхній та нижній гранях пластини (в наведеній конфігурації ); , - ширина та товщина балки; - намагніченість насичення.

Задача визначення розподілу напруженості магнітного поля в двовимірній області моделювання відноситься до задач магнітостатики і, в загальному випадку, її можна описати наступною системою диференціальних рівнянь:

, , ,

де - напруженість магнітного поля; - вектор магнітної індукції; - магнітна проникність речовини; - оператор Лапласа; - густина струму; - векторний потенціал магнітного поля.

Оскільки нас цікавить значення напруженості магнітного поля на поверхні пермалоєвої пластини, то розв'язуємо двовимірне рівняння Пуассона для визначення векторного магнітного потенціалу:

, (2)

де - компонента в напрямку осі вектора потенціалу.

На завершення формулювання задачі по визначенню необхідно додати наступні крайові умови:

,

- на границі розділу двох середовищ,

- на границі області моделювання. (3)

Розв'язання задачі по визначенню напруженості магнітного поля біля пермалоєвої пластини передбачає виконання алгоритму, що складається з наступних трьох основних кроків. Перший крок передбачає розв'язок рівняння Пуассона (2) з крайовими умовами для прямокутної області моделювання (3).

При розв'язанні цієї задачі необхідно порахувати густину струму , що визначається з особливостей конструкції інтегральної котушки, кількості витків та величини струму, який протікає через кожен виток . Якщо знехтувати відстанню між витками, то

,

а у випадку врахування відстані між витками значення має дещо менше значення.

Другий крок алгоритму передбачає обчислення значення вектора магнітної індукції, враховуючи, що та , тоді

.

Третій крок передбачає визначення напруженості магнітного поля в двовимірній області моделювання.

Для розв'язання задачі магнітостатики використано метод скінчених різниць, а наведена вище математична модель забезпечує отримання вихідних параметрів з високою точністю, можливістю керування точністю в процесі розв'язання задачі та врахування особливостей різного конструктивного виконання електромагнітного актюатора і потребує менших обчислювальних затрат за рахунок зменшеної складності математичних розрахунків у порівнянні з моделями, які використовують для розв'язання цих задач метод скінчених елементів.

Отримав подальший розвиток метод автоматизованої побудови моделей базових елементів пластинчастих конструкцій для компонентного рівня ІТАС МЕМС, який грунтується на теорії тонких пластин та коливних процесів.

Моделі елементів МЕМС пластинчастих конструкцій використовують бігармонічне рівняння рівняння:

,

, (4)

де - прогини пластини (вертикальні переміщення пластини); , - напрямки осей, які формують координатну площину , що рівновіддалена від основ пластини; - товщина пластини; - коефіцієнт Пуассона; - інтенсивність розподіленого на поверхні пластини навантаження.

При визначенні напружень використано такі рівняння:

,

,

. (5)

де - напруження в напрямку осі ; - напруження в напрямку осі ; - дотичне напруження.

Крайові та початкові умови вибираються з наступних

, , , ,

де - нормаль до границі області моделювання; - значення зміщення на границі області моделювання.

При розв'язанні задачі (4 та 5) по визначенню деформацій та напружень використано метод скінчених різниць, а розроблений метод дає змогу синтезувати моделі, які потребують менших обчислювальних затрат за рахунок меншої кількості вузлових рівнянь, враховують різне конструктивне виконання і виготовлення пружного елемента та контролювати похибку вихідних параметрів, різними умовами фіксації пружного елемента, керувати точністю.

В цьому розділі розроблено моделі компонентного рівня для інтегрального електромагнітного давача, термічних, гідравлічних і п'єзорезистивних елементів МЕМС, які враховують особливості багаторівневого автоматизованого аналізу та синтезу, нелінійні та нестаціонарні процеси в їх конструкціях, що досягається застосуванням МСР та методу скінчених елементів (МСЕ) і забезпечують отримання вихідних параметрів з похибкою 5 - 8%.

В роботі проведені обчислювальні експерименти по дослідженню залежності похибки вихідних параметрів від величини кроку по координаті та часу для моделей, при формалізації яких використано рівняння в частинних похідних з наступним застосуванням чисельних методів в процесі їх розв'язання. Отримані залежності дають змогу оптимізувати затрати машинного часу при забезпеченні мінімального впливу похибки, яка обумовлена застосуванням чисельних методів, на загальну похибку ММ.

У шостому розділі розроблено імітаційні ММ технологічних операцій виготовлення МЕМС, які використовуються в мікротехнологіях. Зокрема, розроблено тривимірну модель іонної імплантації, що грунтуються на використанні методу Монте-Карло та теорії міжатомної взаємодії між впроваджуваним іоном і атомами мішені, яка дає змогу отримати вихідні параметри з високою точністю та застосувати дану модель до визначення розподілів іонів в багатокомпонентних мішенях і нових матеріалах, що є актуальною задачею для розвитку МЕМС мікротехнологій.

Розроблено тривимірну модель іонного травлення, що використовує метод Монте-Карло і забезпечує визначення вихідних параметрів з високою точністю. Основна ідея цієї моделі грунтуються на обчисленні коефіцієнта розпилення мішені бомбардуючими іонами

,

де - число вибитих (розпилених) атомів матеріалу (мішені), що визначається з допомогою методу Монте-Карло; - загальне число іонів, які бомбардують матеріал мішені. Відповідно глибина травлення мішені визначається виразом

,

де - час травлення; - швидкість травлення. Запропонована модель використовується для дослідження коефіцієнта розпилення нових матеріалів, багатокомпонентних мішеней та у випадку дослідження параметрів нових матеріалів і мікротехнологій.

Отримали подальший розвиток тривимірні математичні моделі термічної дифузії, епітаксії та термічного відпалу, які грунтуються на тривимірному диференціальному рівнянні Фур'є, а вид дифузійної операції визначається початковими та крайовими умовами:

,

де - нормовані значення просторових координат , , ; - нормоване значення поточного значення часу дифузії; - нормовані значення концентрації домішки впровадження та сумарної електрично-активної концентрації домішок; h - коефіцієнт, який враховує вплив електричного поля на перерозподіл домішок; f - коефіцієнт, що враховує ефект кластеризації легуючої домішки; - нормоване значення коефіцієнта дифузії; - коефіцієнти, які визначаються з допомогою наступних виразів

, , ,

- власний коефіцієнт дифузії, - час термічної дифузії, , , - максимальні лінійні розміри області моделювання по координатах , , .

Для розв'язання дифузійних задач використано МСР, що забезпечує врахування нелінійних та нестаціонарних процесів в напівпровідникових структурах, процесів кластеризації та впливу електричного поля і, відповідно, отримати вихідні параметри з високою точністю.

Розроблено алгоритми для організації ефективних обчислень при моделюванні технологічних операцій виготовлення і вихідних параметрів елементів МЕМС та проведено дослідження залежності точності вихідних результатів при застосуванні МСЕ та МСР в залежності від лінійних розмірів скінченого елемента, кроку сітки та часу розв'язання задач, що дало змогу визначити оптимальні лінійні розміри скінченого елемента та кроку сітки по координатах при забезпеченні необхідної точності вихідних параметрів математичних моделей базових елементів МЕМС і технологічних процесів їх виготовлення.

Розроблено та досліджено генератор рівномірного закону розподілу випадкових величин, який використовується при моделюванні технологічних операцій, що використовують метод Монте-Карло, дослідження проводилися за параметрами рівномірності та визначення періоду. Порівнюючи результати досліджень для розробленого генератора рівномірного закону розподілу випадкової величини на рівномірність та стандартних генераторів, можна стверджувати, що розроблений генератор володіє кращими вихідними параметрами. Наведені результати залежності похибки від кількості іонів, обчислювальних затрат від кількості іонів та енергії іона, що дає змогу оцінити необхідні затрати ресурсу персонального комп'ютера для досягнення необхідної точності вихідних параметрів.

Запропоновані імітаційні тривимірні ММ технологічних процесів виготовлення МЕМС дають змогу врахувати вплив технологічних параметрів на вихідні параметри інтегральних елементів МЕМС та технологічність нових конструкцій.

У сьомому розділі наведено результати аналізу та дослідження вихідних параметрів базових мікродавачів, актюаторів та МЕМС з допомогою розроблених методів, моделей та засобів.

Представлено результати аналізу базової зустрічно-стрижневої конструкції інтегрального мікродавача на основі розроблених математичних моделей, а саме: розподіл електростатичного потенціалу, розподіл електричного поля, залежності ємностей від ширини електродів, відстані між ними та кількості стрижнів. Подані результати оптимізації зустрічно-стрижневої конструкції інтегрального мікродавача згідно критерію максимальної ємності при наявності обмеженої площі, яку використовує пристрій.

Особливу увагу в цьому розділі дисертаційної роботи приділено акселерометрам різного конструктивного виконання. З допомогою розроблених математичних моделей ємнісних акселерометрів отримані результати аналізу напружено-деформованого стану ємнісних акселерометрів, виготовлених з таких матеріалів як кремній, оксид кремнію і нітрид кремнію та різного конструктивного виконання. З отриманих результатів можна зробити висновок, що найкращими характеристиками по зміщенню володіють такі матеріали як та , а найменші напруження в конструкції виникають у матеріалі у порівнянні з конструкціями, виготовленими з матеріалів та .

Результати по дослідженню залежності вихідної ємності від прикладеного прискорення показують, що вихідна ємність змінюється за нелінійним законом. Аналогічні результати отримані при дослідженні вихідних параметрів зустрічно-стрижневої конструкції ємнісного акселерометра. Отримані результати дають змогу зробити висновок про те, що відповідну нелінійність необхідно врахувати на етапі розробки схеми керування акселерометром.

Наведено результати моделювання електромагнітного мікродавача та мікроактюатора. Отримано залежності зміни вихідної напруги мікродавача від вектора магнітної індукції для різних значень струмів в контурі та проведені дослідження напружено-деформованого стану електромагнітних інтегральних пристроїв і залежності вихідних параметрів від вхідних та конструктивних рішень. Чутливість інтегрального електромагнітного давача є прямо пропорційною величині струму в контурі, товщині та ширині тонкої пластини.

Проведено дослідження залежності вихідних параметрів інтегрального давача тиску ємнісного та п'єзорезистивного типів від вхідних даних. Чутливість запропонованих конструкцій зростає зі зменшенням товщини тонкої пластини та збільшенням її ширини і довжини.

Наведені результати аналізу мікрогідравлічних пристроїв МЕМС, зокрема мікропомп з електростатичним та п'єзоелектричним видами актюації для різного конструктивного виконання і матеріалів, що використовуються в мікроелектронній технології. Результати зміни продуктивності роботи мікропомпи від прикладеної електричної напруги дають змогу стверджувати, що збільшення напруги призводить до збільшення продуктивності. Хоча при малих прикладених напругах маємо швидший ріст продуктивності, ніж при напругах більших за 200 В.

Проведено дослідження синтезованих VHDL-AMS - моделей базових елементів МЕМС, що дозволило визначити зміни зміщення, ємності, заряду та струму від величини та форми вхідного механічного сигналу. Отримані результати дають змогу стверджувати, що схеми керування інтегральними акселерометрами і давачами мають володіти високою чутливістю.

Наведені результати аналізу структур МЕМС з допомогою розроблених мереж Петрі. Отримані результати дозволяють стверджувати, що в побудованих мережах Петрі відсутні такі характеристики як обмеженість, надлишковість та подані основні параметри графа досяжності.

У 7 додатках наведено розроблені VHDL-AMS моделі базових елементів МЕМС, значення точок інтегрування та вагових коефіцієнтів при застосуванні квадратурних формул до обчислення значень дво- та тривимірних інтегралів, застосування методу скінчених різниць до розв'язання двовимірного рівняння Лапласа, основні співвідношення для застосування методу скінчених елементів при визначенні переміщень та напружень в конструкціях елементів МЕМС, результати технологічного проектування ємнісного акселерометра пластинчастої конструкції та акти, які підтверджують впровадження результатів дисертаційної роботи.

Висновки

Отримані у дисертації наукові результати у сукупності вирішують науково-прикладну проблему розроблення методів та засобів для інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС на системному, схемотехнічному та компонентному рівнях.

При цьому отримані такі основні теоретичні та практичні результати:

1. Проведено аналіз типів, структур МЕМС та їх елементів за різними критеріями: призначенням систем, призначенням мікродавачів та актюаторів, вихідним контрольованим параметром, згідно фізичних ефектів, які використовуються в процесі роботи мікродавачів, згідно параметрів, для вимірювання яких призначені мікродавачі, згідно вхідної енергії та сил, які використовуються при роботі мікроактюаторів, що дало змогу визначити базові структури та елементи для груп мікродавачів і мікроактюаторів, які відображають основні параметри цілої групи пристроїв і забезпечують зменшення потужності множини альтернативних рішень при подальшому розв'язанні процедури синтезу структури на системному рівні інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС.

2. Вдосконалено метод автоматизованого генерування множини альтернативних рішень для розв'язання задач структурного синтезу МЕМС, який використовує побудоване морфологічне І-АБО дерево альтернативних рішень для цього класу структур та набір продукційних правил і, на відміну від існуючих, забезпечує автоматичне формування обмеженої множини альтернативних рішень згідно з визначеними розробником правилами і параметрами технічного завдання;

3. Вдосконалено метод зменшення потужності множини альтернативних рішень для розв'язання задач структурного синтезу мікроелектромеханічних систем шляхом використання базових елементів та структурних схем МЕМС, набору евристичних правил, врахування особливостей технології виготовлення та розв'язання багатокритеріальних оптимізаційних задач.

4. Вперше розроблено метод автоматизованого синтезу функціональних моделей МЕМС, що базується на теорії часових і кольорових мереж Петрі з пріоритетами та забезпечує єдиний підхід до побудови моделей, які дають змогу визначити вихідні параметри об'єкта розроблення та дослідити динаміку його роботи.

5. Вперше розроблено метод автоматизованої побудови VHDL-AMS моделей базових елементів МЕМС для схемотехнічного рівня інформаційних технологій аналізу та синтезу, що грунтується на методі електричних аналогій, системах звичайних диференціальних рівнянь та рівняннях в частинних похідних і для якого послідовність та кількість використаних диференціальних рівнянь визначається фізичними принципами роботи елемента МЕМС, що дає змогу підвищити рівень автоматизації операції синтезу VHDL-AMS моделей на 20 % у порівнянні з існуючими.

6. Отримав подальший розвиток метод підвищення ефективності інформаційних технологій аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем на ієрархічних рівнях на основі розроблених алгоритмів організації операцій аналізу на кожному з ієрархічних рівнів, які дають змогу врахувати різні фізичні процеси функціонування МЕМС та використовують теорію чутливості для цілеспрямованого покращання вихідних параметрів об'єкта проектування.

7. Вдосконалено метод автоматизованої побудови моделей базових ємнісних елементів для компонентного рівня інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС, який грунтується на забезпеченні єдиного підхіду до визначення ємності для елементів різного конструктивного виконання з мікронними розмірами на основі рівнянь в частинних похідних та побудованих алгоритмах і дає змогу ситезувати моделі, які забезпечують врахування нелінійних та нестаціонарних процесів, отримання вихідних параметрів з високою точністю і включають засоби контролю похибки вихідних параметрів.

8. Отримав подальший розвиток метод автоматизованої побудови моделей базових елементів пластинчастих конструкцій для компонентного рівня ІТАС МЕМС, який грунтується на теорії тонких пластин та коливних процесів і забезпечує синтез моделей, які потребують в шість разів менших обчислювальних затрат за рахунок меншої кількості вузлових рівнянь, дають змогу врахувати різне конструктивне виконання і виготовлення пружного елемента та контролювати похибку вихідних параметрів.

9. Вперше розроблено інформаційні моделі мікроелектромеханічних систем та альтернативних рішень їх структур, що грунтуються на базових структурах мікроелектромеханічних систем, використовують теорію множин, графів і двозв'язні списки для збереження даних про інтегральну структуру та дають змогу ефективно організувати операції модифікації параметрів МЕМС в процесі їх автоматизованого аналізу і синтезу та можливість зміни структурного рішення альтернативи.

10. Вперше розроблено архітектуру інформаційних технологій багаторівневого аналізу та синтезу МЕМС на основі базових елементів та структур мікросистем, яка включає такі складові: БД типових структур МЕМС, БД методів аналізу та синтезу, базу знань, БД типових елементів МЕМС, БД технологій виготовлення МЕМС, чотирирівневу бібліотеку моделей та програмно-технічні засоби для багаторівневого розроблення МЕМС, що дає змогу автоматизувати процес аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем.

11. Отримали подальший розвиток імітаційні тривимірні моделі технологічних операцій виготовлення (дифузії, епітаксії, іонної імплантації та іонного травлення) елементів мікроелектромеханічних систем на основі рівнянь математичної фізики з використанням числових методів, які забезпечують врахування нестаціонарних та нелінійних процесів і, на відміну від існуючих, включають засоби контролю точності вихідних параметрів та дають змогу дослідити вплив параметрів технологічного процесу (температури процесу, типу домішки, часу та ін.) на вхідні (опір матеріалу, товщина структурного шару, ефект заокруглення країв елемента тощо) і вихідні параметри елементів МЕМС.

12. Підтверджено адекватність розроблених математичних моделей елементів МЕМС, які використовують чисельні методи (МСР та МСЕ) в процесі розв'язання рівнянь в частинних похідних, і показано залежності похибки вихідних результатів від величини кроку по координаті та часу. Визначено затрати ресурсу персонального комп'ютера та дано оцінку похибки вихідних параметрів для іонної імплантації та іонного травлення при застосуванні методу Монте-Карло в залежності від кількості випробувань, що дає змогу оцінити необхідні затрати ресурсу персонального комп'ютера для досягнення необхідної точності вихідних параметрів та визначити оптимальні лінійні розміри скінченого елемента та крок сітки по координатах при забезпеченні необхідної точності вихідних параметрів математичних моделей базових пристроїв МЕМС і технологічних процесів їх виготовлення.

Список основних опублікованих праць за темою дисертації

1. Теслюк В.М. Моделі та інформаційні технології синтезу мікроелектромеханічних систем / В.М. Теслюк // Монографія. - Львів: Вежа і Ко, 2008. - 192 с.

2. Теслюк В.М. Метод для автоматизації побудови VHDL-AMS моделей елементів МЕМС на схемотехнічному рівні / В.М. Теслюк // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім. Г.Є. Пухова НАН України. - К.: 2008. - Вип. 45. - С. 118 - 123.

3. Теслюк В.М. Побудова множини можливих рішеннь з допомогою І - АБО дерева при вирішенні задач структурного синтезу на системному рівні проектування МЕМС / В.М. Теслюк // Інформаційні технології і системи. - Львів, 2006. - Т. 9, № 1. - C. 101 - 108.

4. Теслюк В.М. Застосування мереж Петрі при проектуванні МЕМС на системному рівні / В.М. Теслюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2006. - № 564. - C. 45 - 53.

5. Теслюк В.М. Розробка моделей та структурної схеми для автоматизованого проектування МЕМС / В.М. Теслюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Радіотехніка та телекомунікації. - 2007. - № 595. - С. 61 - 71.

6. Теслюк В.М. Методи проектування мікроелектромеханічних систем / В.М. Теслюк // АСУ и приборы автоматики: Всеукр. межвед. научно.-техн. сборник - Харьков: ХТУРЭ, 2006. - Вып. 134. - C. 82 - 89.

7. Теслюк В.М. Розробка математичних моделей МЕМС на основі мереж Петрі для системного рівня автоматизованого проектування / В.М. Теслюк, П.Ю. Денисюк, Хамза Алі Юсеф Аль Шавабкех, Тарік (Мох'д Тайсір) Алі Аль Омарі // Моделювання та інформаційні технології. Зб. наук. пр. ІПМЕ ім. Г.Є. Пухова НАН України. - К.: 2008. - Вип. 46. - С.120 - 126.

8. Teslyuk V. Model of integral electromagnetic actuator / V. Teslyuk, M. Lobur // Прикладна радіоелектроніка. - Харків, 2006. - Т. 5, № 2. - С. 284 - 288.

9. Теслюк В.М. Розробка VHDL-AMS моделі для автоматизованого проектування ємнісного мікрофона за допомогою МЕМС технологій / В.М. Теслюк, Аль Омарі Тарік // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім. Г.Є. Пухова НАН України. - К.: 2007. - Вип. 44. - С.93 - 98.

10. Теслюк В.М. Моделі та алгоритми для автоматизованого проектування МЕМС на функціональному рівні / В.М. Теслюк // Комп'ютерні технології друкарства. Зб. наук. пр. - Львів: УАД, 2006. - Вип. 16. - С. 222 - 230.

11. Теслюк В.М. Розробка мови та структури даних для збереження інформації про множину альтернативних рішень при автоматизованому проектуванні МЕМС на системному рівні / В.М. Теслюк // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім. Г.Є. Пухова НАН України. - К.: 2007. - Вип. 40. - С.37 - 43.

12. Теслюк В.М. Методологія проектування МЕМС на системному рівні проектування / В.М. Теслюк // Комп'ютерні технології друкарства. Зб. наук. пр. - Львів: УАД, 2007. - Вип. 18. - С. 56 - 63.

13. Теслюк В.М. Розрахунок та аналіз вихідних параметрів мікроакселерометра ємнісного типу / В.М. Теслюк, Кушнір, Р.В. Загарюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2007. - № 591. - C. 124 - 130.

14. Матвійків М.Д. Аналіз доцільності побудови давачів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М.Д. Матвійків, М.В. Лобур, В.М. Теслюк, Т.М. Матвійків // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Радіотехніка та телекомунікації. - 2006. - № 557. - С. 20 - 24.

15. Лобур М.В. Математична модель для аналізу вихідних характеристик інтегрального давача тиску на компонентному рівні проектування / М.В. Лобур, В.М. Теслюк, К.К. Колесник // Электроника и связь: Тематичний випуск "Проблеми електроніки", Ч.2. - Київ: НТУУ "КПИ", 2005. - С. 109 - 111.

16. Теслюк В.М. Автоматизована система розв'язування оптимізаційних задач при проектуванні інтегральних мікровбудованих систем / В.М. Теслюк, М.В. Лобур, П.Ю. Раєвський, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Інформаційні системи та мережі. - 2005. - № 549. - С. 174 - 183.

17. Теслюк В.М. Математична модель магнітного інтегрального мікродавача / В.М. Теслюк, К.К. Колесник, П.Ю. Раєвський, Р.Т. Панчак // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2005. - № 548. - С. 125 - 129.

18. Лобур М.В. Математическое моделирование исходных электрических и конструктивных параметров резонатора емкостного типа / М.В. Лобур, В.Н. Теслюк, Т.В. Свиридова, П.Ю. Денисюк, П.Ю. Раєвський П.Ю., С.Г. Мосин // Электронная техника: Межвуз. сб. науч. трудов. - Ульяновск: УлГТУ. - 2004. - С. 89 - 96.

19. Лобур М.В. Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем / М.В. Лобур, Т.В. Свірідова, В.М. Теслюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Радіоелектроніка та телекомунікації. - 2005. - № 534. - С. 147 - 152.

20. Теслюк В.М. Розробка VHDL-AMS моделі ємнісного акселерометра пластинчастої конструкції / В.М. Теслюк, Р.В. Загарюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні науки та інформаційні технології. - 2007. - № 604. - С. 76 - 80.

21. Теслюк В.М. Математична модель інтегрального ємнісного сенсора / В.М. Теслюк, М.В. Лобур, П.Ю. Раєвський, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2004. - № 522. - С. 175 - 180.

22. Лобур М.В. Побудова бібліотеки математичних моделей для проектування елементів вбудованих систем / М.В. Лобур, В.М. Теслюк, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна інженерія та інформаційні технології. - 2005. - № 521. - С. 101 - 103.

23. Лобур М.В. Розробка структури програмно-методичного комплексу аналізу фізичних процесів в гідро- та газодинамічних процесів / М.В. Лобур, В.М. Теслюк, П.Ю. Денисюк, М.Є. Перейма // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2004. - № 501. - С. 3 - 9.

24. Теслюк В.М. Математична модель для обчислення термонапружень та переміщень в актюаторі на базі двохшарової пластини / В.М. Теслюк, М.В. Лобур, К.К. Колісник, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна інженерія та інформаційні технології. - 2003. - № 496. - С. 94 - 99.

25. Коваль В.О. Моделирование процессов перераспределения легирующих примесей в кремниевых структурах / В.О. Коваль, П.П. Гранат, В.Н. Теслюк // Техника, Экономика: Сер. Автоматизация проектирования. Межотрасл. научн.-техн. сб. - М.: ВИМИ, 1995. - Вып. 3 - 4. - C. 96 - 104.

26. Теслюк В.М. Підсистема моделювання технологічних операцій ІС із використанням методу Монте-Карло / В.М. Теслюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2002. - № 444. - C. 42 - 47.

27. Теслюк В.М. Дослідження впливу конструкції дифузійного вікна на перерозподіл домішок в напівпровідниковій структурі / В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 1999. - № 367. - С. 197 - 199.

28. Теслюк В.М. Алгоритми для чисельного моделювання 3D дифузійних задач / В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Радіоелектроніка та телекомунікації. - 1998. - № 352. - С. 109 - 112.

29. Теслюк В.М. Моделювання технологічних маршрутів виготовлення КМОН приладів з допомогою ППП "ПроМІС-Т" / В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна інженерія та інформаційні технології. - 1998. - № 351. - С. 74 - 79.

30. Теслюк В.М. Тривимірне моделювання дифузійних процесів виробництва ВІС / В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 1998. - № 327. - С. 177 - 186.

31. Теслюк В.М. Використання високоенергетичної іонної імплантації для формування ВІС/ В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 1999. - № 373. - С. 71 - 76.

32. Теслюк В.М. Розробка та дослідження основних характеристик генератора рівномірного закону розподілу / В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2001. - № 415. - C. 62 - 67.

33. Теслюк В.М. Моделювання профілів розподілу домішкових іонів, вакансій та міжвузлових атомів у напівпровідниковому матеріалі при іонному легуванні / В.М. Теслюк, О.Р. Корбецький // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. - №1(5). - Запоріжжя, 2001. - С. 22 - 27.

34. Корбецький О.Р. Комп'ютерне моделювання розподілу поверхневого опору по пластині та в "касеті" для операції "дифузії" в проточному реакторі / О.Р. Корбецький, П.П. Гранат, В.М. Теслюк // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. - № 2(4). - Запоріжжя, 2000. - С. 88 - 93.

35. Гранат П.П. Алгоритмізація задачі синтезу технологічних маршрутів формування структури кристалів ІС / П.П. Гранат, А.В. Назар, В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна інженерія та інформаційні технології. - 2000. - № 413. - С. 51 - 56.

36. Теслюк В.М. Дослідження точності та ефективності розв'язку дифузійних задач методами скінченних різниць та скінченних елементів / В.М. Теслюк, П.П. Гранат, О.Р. Корбецький // Вісник Державного університету "Львівська політехнік": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2000. - №398. - С. 42 - 49.

37. Назар А.В. Структуризація процесу прийняття рішень в задачах технологічного проектування ІС / А.В. Назар, В.М. Теслюк // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна iнженерiя та iнформацiйнi технологiї. - 1999. - № 370. - С. 34 - 40.

38. Лобур М.В. Застосування САЕ - систем для дослідження напружено - деформованого стану пружного елемента сенсора ємнісного типу та визначення його функціональних можливостей / М.В. Лобур, В.М. Теслюк, К.К. Колесник, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи та мережі. - 2004. - № 523. - С. 92 - 98.

39. Теслюк В.М. Використання мультипроцесорної платформи при моделюванні технологічного процесу виготовлення ВІС / В.М. Теслюк, А.В. Назар // Вісник Державного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерна iнженерiя та iнформацiйнi технологiї. - 1999. - № 386. - С. 18 - 21.

40. Лобур М.В. Гетерогенна система автоматизованого проектування вбудованих систем / М.В. Лобур, В.М. Теслюк, А.Б. Керницький, П.Ю. Денисюк, П.Ю. Раєвський // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Радіотехніка та телекомунікації. - 2005. - № 534. - С. 130 - 138.

41. Теслюк В.М. Тривимірна модель іонного травлення / В.М. Теслюк // Технічні Вісті. - Львів, 2006. - № 1(22), 2(23). - C. 27 - 30.

42. Теслюк В.М. Використання методу Монте-Карло для моделювання іонної імплантації / В.М. Теслюк // Технічні Вісті. - Львів, 2000. - №1(10), 2(11). - С. 117 - 119.

43. Денисюк П.Ю. Математична модель базової конструкції гідравлічної мікропомпи з п'єзоелектричним приводом для компонентного рівня проектування / П.Ю. Денисюк, В.М. Теслюк, М.Є. Перейма // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2005. - № 548. - С. 106 - 111.

44. Теслюк В.М. Математична модель термоактюатора рідинного типу / В.М. Теслюк, П.Ю. Денисюк // Вісник Національного університету "Львівська політехніка": Комп'ютерні системи проектування. Теорія і практика. - 2004. - № 522. - С. 181 - 185.

45. Lobur M. Using petri nets in MEMS design / M. Lobur, V. Teslyuk, R. Zaharyuk, V. Antonyuk // Journal Machine Dynamics Problems. - Poland, Warsaw University of Technology. - 2006. - Vol. 30, № 4. - P. 29 - 36.

46. Teslyuk V. Computer-aided design of MEMS at system level / V. Teslyuk, Tarik Al Omari, Hamza Alshavabkekh, P. Denysyuk, M. Melnyk // Journal Machine Dynamics Problems. - Warsaw University of Technology, Poland. - 2007. - Vol. 31, № 3. - P. 92 - 104.

47. Tesluk V. A Program for modeling of technological routes of VLSI fabrication - "ProMIC-T" / V. Tesluk, O. Korbetskyy // Modeling and Simulaion of Microsystems: Technical Proc. of the Second Inern. Conf. - Puerto Rico, USA. - 1999. - P. 99 - 101.

48. Teslyuk V. Usage of monte-carlo method for ion implantation simulation / V. Tesluk, O. Korbetskyy // Modern Problems of Telecommunication, Computer Science and Engineers Training (TCSET'2000): Proc. of Inter. Conf. - Lviv-Slavsko, 2000. - P. 33.

49. Lobur M. 3-Dimensional mathematical models of technological processes of MEMD / M. Lobur, V. Teslyuk, P. Kosobutckiy // CAD in Machinery Design - Implementation and Educational Problems (CADMD'2003): Proc. of the XI Polish-Ukrainian Conf. - Warsaw, Poland. - 2003. - P. 27 - 35.

50. Lobur M. Thermomechanical characteristics research of actuators based on the bimetalic plates / M. Lobur, V. Teslyuk, K. Kolisnyk, M. Pereyma // Advanced Computer Systems And Networks: Design And Application (ACSN - 2003): Proc. of the 1-st Intern. Conf. - Lviv, 2003. - P. 39 - 42.

51. Lobur M. Mathematical modelling of electrical and design parameters of the capacitor resonator / M. Lobur, V. Teslyuk, T. Sviridova, P. Denysyuk, P. Rayeskyy // Informatics, Mathematical Modelling And Design In The Technics, Controlling And Education (IMMD'2004): Proc. of Intern. Scientific Conf. - Vladimir, Russia, 2004. - P. 145 - 148.

52. Теслюк В.Н. Математические модели оптимизации технологического процесса производства ИС и микровстроенных систем / В.Н. Теслюк, М.В. Лобур, A.Б. Керницкий // Вузовская наука, промышленность, международное сотруднечество: сб. науч. трудов V-ой междун. науч.-практ. конф. - Минск, БГУ, 2004. - С. 315 - 317.

53. Teslyuk V. Mathematical model of thermoelastic element of fluid actuator / V. Teslyuk, P. Denysyuk, M. Pereyma // The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM'2005): Proc. of the VIII-th Intern. Conf. - Lviv - Polyana, 2005. - P. 531 - 532.

54. Teslyuk V. Mathematical model for optimization of input desing parameters of integrated electrostatic sensors / V. Teslyuk, M. Lobur, A. Kernytskyy, P. Denysyuk // CAD in Machinery Design - Inplementation and Educational Problems (CADMD'2005): Proc. of XIII Polish-Ukrainian Conf. - Jurata, Poland, 2005. - P. 71 - 78.

55. Denysyuk P. Mathematical model for electrostatic micropumps / P. Denysyuk, V. Teslyuk // Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH'2005): Proc. of the 1-st Inter. Conf. - Lviv-Polyana, 2005. - P. 44 - 45.

56. Lobur M. Desing of micromechanical filter using correlation dependencies between mechanical and electrical parameters / M. Lobur, T. Sviridova, V. Teslyuk // Mixed Design Of Integrated Circuits And Systems (MIXDES'2005): Proc. of The 12-th Intern. Conf. - Krakov, Poland, 2005. - P. 325 - 327.

57. Teslyuk V. System for physical processes simulation in hydraulic microelectromechanical systems / V. Teslyuk, P. Denysyuk, M. Lobur, I. Farmaga, R. Abramovych // Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH'2006): Proc. of the 2-nd Inter. Conf. - Lviv - Polyana, 2006. - P. 138 - 142.

58. Теслюк В.М. Система для розв'язку оптимізаційних задач при проектуванні інтегральних мікровбудованих систем OptimMEMS / В.М. Теслюк, П.П. Гранат, В.О. Марков // Інтелектуальні системи прийняття рішень та прикладні аспекти інформаційних технологій (ISDMIT'2005): матер. міжн. наук. конф. - Євпаторія, 2005. - Т. 4. - С. 159 - 164.

59. Teslyuk V. Sensitivity theory application in MEMS design / V. Teslyuk, M. Lobur, R. Zaharyuk, Al Omari Tarik // The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM'2007): Proc. of the IX-th Intern. Conf. - Lviv - Polyana, 2007. - P. 536 - 537.

60. Лобур М.В. Схема перетворення сигналів акселерометра ємнісного типу / М.В. Лобур, Р.-А.Д. Іванців, Р.В. Загарюк, В.М. Теслюк // Системний аналіз та інформаційні технології (CAIT'2007): матер. IX міжнар. наук.-техн. конф. - Київ, 2007. - С.158.

Размещено на Allbest.ru