Особенности формирования микроструктуры мультикремния, выращенного из рафинированного металлургического кремния
Анализ данных по примесному составу слитков мультикремния, выращенных при разных скоростных и тепловых режимах. Выявление разновидностей протяженных дефектов в мультикремнии методами селективного травления и разных видов микроскопии травления.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | автореферат |
| Язык | русский |
| Дата добавления | 26.07.2018 |
| Размер файла | 2,0 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
5. В.Л. Усов, Электрофизические свойства мультикристаллического кремния для солнечной энергетики / В.Л. Усов, С.М. Тарасова, Р.В. Пресняков // Материалы конференции молодых ученых “Современные проблемы геохимии. Иркутск, 2007, с.166.
6. С.М. Тарасова, Изучение структуры мультикристаллов солнечного кремния методом РСМА / С.М. Тарасова, Л.А. Павлова, А.И. Непомнящих // Материалы V международной конференции и IV школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, - Черноголовка, 2008, с.142.
7. А.И. Непомнящих, Морфологические особенности и взаимосвязь электрофизических свойств мультикристаллического кремния / А.И. Непомнящих, В.Л. Усов, Р.В. Пресняков, С.М. Тарасова // Материалы V международной конференции и IV школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, - Черноголовка, 2008, с. 148.
8. П.П. Сарычев, Влияние конфигурации теплового поля на структуру и свойства мультикристаллического кремния / П.П. Сарычев, Р.В. Пресняков, С.М. Тарасова, А.И. Непомнящих, В.Н. Попов, А.Е. Кох // Материалы V международной конференции и IV школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, - Черноголовка, 2008, с. 149.
9. С.М. Тарасова, Исследование распределения примесей в мультикремнии для солнечной энергетики методом РСМА / С.М. Тарасова, Л.А. Павлова, А.И. Непомнящих // Материалы 1-й Всероссийской научной конференции “Методы исследования состава и структуры функциональных материалов МИССФМ”, Новосибирск, 2009. С. 213.
10. П.П. Сарычев, Выращивание кристаллов мультикремния методом Бриджмена с управляемым режимом конвекции / П.П. Сарычев, А.И. Непомнящих, С.М. Тарасова // Материалы конференции “Кремний 2009”, -Новосибирск, 2009, с. 39.
11. С.М. Тарасова. Исследование взаимодействия дефектов структуры и примесей в мультикремнии // Материалы конференции молодых ученых “Современные проблемы геохимии”, - Иркутск, 2009, с. 227.
12. С.М. Пещерова, Особенности сегрегации примесей в мультикремнии / С.М. Пещерова, Л.А. Павлова, А.И. Непомнящих // Материалы конференции “Кремний 2010”, Нижний Новгород, 2010, с. 40.
13. Л.А. Павлова, Исследование мультикристаллов кремния методами электронной микроскопии и электронно-зондового микроанализа / Л.А. Павлова, А.И. Непомнящих, С.М. Пещерова // Материалы XXIII Российской конференции по электронной микроскопии, Черноголовка, 2010, с. 37-42.
14. Л.А. Павлова, Особенности кристаллов солнечного кремния, изучаемых методами растровой электронной микроскопии и электронно-зондового рентгеноспектрального анализа / Л.А. Павлова, С.М. Пещерова, А.И. Непомнящих // XVII Российского симпозиума по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твердых тел, Черноголовка, 2011, с. 39-42.
Размещено на Allbest.ru
Подобные документы
Расчёт компоновки загрузки из полупроводникового и металлургического кремния для выращивания мультикремния. Количественный химический анализ слитков мультикремния. Анализ профилей распределения примесей в слитках в приближении перемешивания расплава.
дипломная работа [1,1 M], добавлен 08.06.2017Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
презентация [2,3 M], добавлен 02.10.2013Сущность технологических приемов химического травления и контроля качества поверхности пластин кремния. Особенности термического вакуумного напыления алюминия на полупроводниковую подложку. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов.
методичка [588,6 K], добавлен 13.06.2013Возможность формирования различных структур в стандартных пластинах монокристаллического кремния с использованием дефектов, создаваемых имплантацией водорода или гелия. Поперечная проводимость сформированных структур. Системы нанотрубок в кремнии.
реферат [6,4 M], добавлен 25.06.2010Значение и использование монокристаллического кремния при производстве солнечных элементов повышенной эффективности. Природа и механизм возникновения дефектов для пар железо-бор в составе элементов при различных условиях эксплуатации и освещения.
реферат [104,0 K], добавлен 23.10.2012Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.
презентация [1,9 M], добавлен 02.10.2013Описание травления полосовой стали в непрерывных травильных агрегатах. Расчет и выбор элементов силовой части тиристорного преобразователя и электропривода. Структурная схема внутреннего токового контура. Моделирование динамических характеристик скорости.
дипломная работа [1,1 M], добавлен 01.04.2013Высокая химическая стойкость гексаферрита стронция, его дешевизна и области применения. Общая характеристика магнитотвердых материалов. Структура и свойства постоянных магнитов. Способы получения мелкодисперсных гексаферритов. Анализ проблем производства.
отчет по практике [2,0 M], добавлен 13.10.2015Система изготовления острий (зондов). СТМ для сканирующих туннельных микроскопов как прецизионный инструмент для изготовления острий (зондов) из вольфрамовой проволоки методом электрохимического травления. Конструкция СТМ, режимы и порядок работы.
презентация [13,3 M], добавлен 19.02.2016Свободные колебания груза соударяющегося с препятствием. Потери энергии за один цикл. Вынужденные вибрационные колебания. Кратность режима как отношение периода движения системы к периоду возбуждения. Вид и значения решения при разных режимах кратности.
контрольная работа [124,1 K], добавлен 22.06.2012
