Фізичне моделювання еволюції системи мікродефектів у перенасиченому твердому розчині
Побудова фізичної моделі зародження, росту і розчинення складної системи нано- і мікророзмірних дефектів у перенасиченому твердому розчині кисню в кремнії. Еволюція функції розподілу дефектів за розмірами. Рівняння дифузії для міжвузлових атомів системи.
| Рубрика | Физика и энергетика |
| Вид | автореферат |
| Язык | украинский |
| Дата добавления | 14.09.2014 |
| Размер файла | 63,8 K |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Система связанных кинетических уравнений для микродефектов трех типов (частиц новой фазы, дефектов упаковки и пор) и система связанных уравнений диффузии для точечных дефектов трех сортов преобразованы к безразмерному виду. Установлены и исследованы критические размеры микродефектов. Проведен сравнительный анализ временных констант в уравнениях эволюции и диффузии.
На основе разработанной модели проведен анализ результатов компьютерного моделирования процессов образования и развития системы взаимодействующих объемных и плоских дефектов при различных условиях тепловых обработок пластин кремния. Исследована кинетика роста преципитатов кислорода и дефектов упаковки при различных режимах остывания выращиваемого кристалла. Изучено влияние различных физических параметров на кинетику процессов кластеризации при остывании и отжигах кристалла.
Проведен анализ результатов дифрактометрической диагностики зависимостей концентраций и размеров преципитатов кислорода и дислокационных петель от времени изотермического отжига при 750С. Сопоставление этих зависимостей с известными из наипростейших модельных представлений подтвердило необходимость применения созданной более общей модели формирования дефектной структуры в кремнии, которая учитывает взаимодействие между микродефектами разных типов в процессе их эволюции при термических обработках.
Ключевые слова: перенасыщенный твердый раствор, кремний, точечные дефекты, преципитат кислорода, дефект упаковки, кинетические уравнения, функция распределения кластеров по размерам.
Kochelab E.V. Physical modeling the evolution of microdefect system in the supersaturated solid solution - Manuscript.
Thesis for the degree of Candidate of Physical and Mathematical Sciences on specialty 01.04.07-solid state physics; G.V. Kurdyumov Institute for Metal Physics of the National Academy of Sciences of Ukraine; Kyiv, 2007.
The physical model has been developed to describe nucleation, growth, and dissolution of the complex system of nano- and microsized defects in the supersaturated solid solution of oxygen in silicon. The evolution of size distribution functions for defects in this system consisting of volume new phase particles (oxygen precipitates) and pores as well as flat agglomerates of silicon interstitials (dislocation loops) has been described by the system of discrete and continuous differential kinetic equations. The conservation laws for point defects have been described by the set of diffusion equations for oxygen and silicon interstitials, and vacancies with account for boundary conditions at the crystal surface.
By using the developed model, the analysis of computer simulation nucleation processes in the system of interacting volume and flat defects has been carried out at various conditions of heat treatments of silicon wafers. The kinetics of the growth of oxygen precipitates and stacking faults has been investigated at various cooling modes of the growing crystal. The influence of various physical parameters on the kinetics of clasterization processes at cooling and annealing of the crystal has been studied.
Key words: supersaturated solid solution, silicon, point defects, oxygen precipitate, stacking fault, kinetic equation, claster size distribution function.
Размещено на Allbest.ru
Подобные документы
Основні фізико-хімічні властивості NaCI, різновиди та порядок розробки кристалохімічних моделей атомних дефектів. Побудування топологічних матриць, визначення числа Вінера модельованих дефектів, за якими можна визначити стабільність даної системи.
дипломная работа [1,0 M], добавлен 14.08.2008Характеристика загальних принципів моделювання. Визначення поняття моделі і співвідношення між моделлю та об'єктом. Вивчення основних функцій аналогових та математичних моделей. Аналіз методологічних основ формалізації функціонування складної системи.
реферат [96,1 K], добавлен 09.04.2010Визначення методу підсилення пасивації дефектів для покращення оптичних та електричних властивостей напівпровідників. Точкові дефекти в напівпровідниках та їх деформація. Дифузія дефектів та підсилення пасивації дефектів воднем за допомогою ультразвуку.
курсовая работа [312,3 K], добавлен 06.11.2015- Моделювання перехідних процесів у системі електропривода ТП-Д за допомогою програмного пакету MatLab
Система електропривода ТП-Д. Введення структури моделі системи ТП-Д у програму MatLab. Перехідний процес розгону системи ТП-Д з нерухомого стану до сталого при подачі на систему східчастого впливу. Наростання вихідного сигналу. Напруга на вході системи.
лабораторная работа [713,1 K], добавлен 19.09.2013 Вибір електрообладнання та розрахунок характеристик розімкненої системи привода технологічного механізму. Вибір структури системи керування електропривода та складання передаточних функцій. Моделювання замкненої системи і аналіз якісних показників.
дипломная работа [857,3 K], добавлен 11.07.2014Поняття про електричну систему, загальні критерії і показники надійності технічних енергосистем. Побудова заданої енергетичної системи і розрахунок показників надійності невідновної системи з надлишковою структурою за допомогою Марківських процесів.
курсовая работа [555,1 K], добавлен 10.10.2014- Розробка нелінійної моделі системи управління паровою турбіною К-1000-60/1500 атомної електростанції
Розвиток турбобудування, місце ВАТ "Турбоатом" в українській енергетиці. Моделювання систем управління паровими турбінами. Варіанти модернізації гідравлічних систем регулювання. Моделювання систем стабілізації частоти обертання ротора парової турбіни.
курсовая работа [117,4 K], добавлен 26.02.2012 Розрахунок двигуна постійного струму. Складання рівняння тиристорного перетворювача. Розрахунок здавачів струму. Синтез системи підпорядкованого регулювання управління електроприводу. Умови налаштування зовнішнього контуру, моделювання поведінки.
курсовая работа [1001,4 K], добавлен 02.01.2014Дифузія-поширення речовини в якому-небудь середовищі в напрямку зменшення її концентрації, обумовлене тепловим рухом іонів, атомів, молекул, більших часток. Пояснення причин дифузії законами термодинаміки. Звязок дифузійних процесів зі зміною ентропії.
практическая работа [152,9 K], добавлен 17.10.2008Розрахунок дифузійного p-n переходу. Визначення коефіцієнта дифузії та градієнта концентрацій. Графік розподілу концентрації домішкових атомів у напівпровіднику від глибини залягання шару. Розрахунок вольт-амперної характеристики отриманого переходу.
курсовая работа [675,8 K], добавлен 18.12.2014
