Температурні інтервали фазових перетворень у плівкових композиціях Pt(15 нм)/Ag(х нм)/Fe(15 нм)

Структура, фазовий склад та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування тонких плівок на основі FePt в мікроелектроніці. Основні методи впливу на структуру та властивості тонких плівок на основі FePt. Застосування методу in situ резистометрії.

Рубрика Коммуникации, связь, цифровые приборы и радиоэлектроника
Вид диссертация
Язык украинский
Дата добавления 02.10.2018
Размер файла 3,6 M

Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже

Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.

5.7 Забезпечення безпеки та запобігання надзвичайній ситуації

Події, при яких порушуються нормальні умови життя і діяльність людей та які можуть призвести, або призводять до загибелі людей та значних матеріальних збитків, називаються надзвичайними ситуаціями. Вагомість надзвичайної ситуації визначається передусім кількістю жертв та ступенем впливу на оточуюче середовище.

Під час виконання науково-дослідницької роботи можливе виникнення наступних надзвичайних ситуацій: пожежі, вибуху, землетрусу, аварії на електроенергетичних системах, раптового руйнування будівлі.

Проаналізуємо імовірність виникнення пожежі в приміщенні та засоби її запобігання.

Пожежа відноситься до 1 класу надзвичайних ситуацій - ситуацій техногенного характеру.

Відповідно до ДСТУ Б В.1.1-36:2016 [80] лабораторія № 506-9 за пожежною безпекою належить до категорії Г, тому що в ній знаходяться негорючі речовини та матеріали в гарячому, розжареному чи розплавленому стані, процес обробки котрих супроводжується виділення променевого тепла, іскор та полум'я; горючі гази, рідини та тверді речовини, котрі спалюються чи утилізуються в якості палива та вона одночасно не належить до категорій А, Б.

У випадку пожежі у лабораторії може горіти:

- електроустановки та їхня проводка;

- паркет та штори;

- шафи та паперові документи, що знаходяться в них.

Виникнення пожеж у лабораторії можливо за наступними причинами:

- порушення технологічного режиму;

- несправність електроустаткування;

- необережна поведінка з вогнем;

- ремонт устаткування під час його роботи;

- неправильне користування устаткуванням.

Для запобігання виникнення пожеж необхідно виключити перераховані недоліки і чітко дотримуватись правил протипожежної безпеки, усунути умови виникнення пожежі та мінімізувати її наслідки.

У випадку пожежі на електроустановці, що знаходиться під напругою, полум'я не гаситься водою, а використовується вуглекислотний чи вуглекислотноброметиловий вогнегасник.

На випадок пожежі в лабораторії є водопровід, вогнегасник вуглекислотноброметиловий ОУБ-3 (ГОСТ 111564-65), а на східцях і в коридорах шухляди з піском, вогнегасники ОХП-10, ОП-1Б, пожежні крани. Приміщення обладнане пожежною сигналізацією автоматичної дії комбінованого типу (оповісник КИ-1).

Основними заходами профілактики пожежної безпеки є:

- регулярна перевірка працездатності засобів гасіння пожежі і систем пожежної сигналізації;

- не допускання паління у непризначених для цього місцях та поблизу легкозаймистих речовин;

- перевірка виправності електричної проводки;

- щорічне випробування опору ізоляції підвищеною напругою близько 500В;

- обережне відношення з легкозаймистими речовинами.

5.8 Висновки до розділу 5

1. Всі виконані дослідження є екологічно чистими і не є джерелом забруднення навколишнього середовища.

2. Мікроклімат, організація робочого місця, освітлення в лабораторії № 506-9 відповідають вимогам санітарних норм. Рівень шуму та випромінювання не перевищує допустимих норм.

ВИСНОВКИ

1. Нанорозмірні плівкові композиції на основі FePt є перспективним матеріалом для майбутнього використання в якості носія магнітного запису з надвисокою щільністю завдяки високим магнітним властивостям фази L10-FePt. Одним із ефективних методів зниження температури формування впорядкованої фази L10-FePt є введення у тонкі плівки додаткових проміжних шарів, зокрема Ag.

2. Поєднання in-situ вимірювання електричного опору, рентгеноструктурного фазового аналізу та пошарового хімічного аналізу дозволяє визначати температурні інтервали фазових перетворень в тонких плівках на основі Pt/Fe з високою точністю.

3. Виявлено, що формування невпорядкованої фази A1-FePt в тонких плівках Pt(15 нм)/Fe(15 нм) починається при температурі відпалу >210 °C, а подальше впорядкування відбувається при температурі відпалу 360 °C.

4. Показано, що введення проміжного шару Ag різної товщини в тонкі плівки Pt/Fe призводить до збільшення температур фазових перетворень на ~ 120 °С.

5. Зростання електричного опору тонких плівок з проміжним шаром Ag при високих температурах термічної обробки, імовірно, пов'язане із сегрегацією Ag на поверхні тонких плівок.

6. Продемонстровано перспективність впровадження даної ідеї стартап-проекту (створення новітніх нанорозмірних плівкових композицій для використання їх в якості середовища магнітного запису із надвисокою щільністю), а також можливість її комерціалізації.

7. Виконані дослідження є екологічно чистими і не є джерелом забруднення навколишнього середовища. Мікроклімат, організація робочого місця, освітлення в лабораторії № 506-9 відповідають вимогам санітарних норм. Рівень шуму та випромінювання не перевищує допустимих норм.

CONCLUSSIONS

1. FePt-based nanoscaled film compositions are a promising material for ultra-high density magnetic data storage due to high magnetic properties of the L10-FePt phase. The introduction of additional intermediate layers, in particular Ag layers, into the thin films is one of the effective methods for reducing the of the ordered phase L10-FePt formation temperature.

2. The combination of in situ electrical resistance measurements, X-ray analysis and chemical depth profiling allows to determine the phase transformations temperature intervals in Pt/Fe thin films with high accuracy.

3. Formation of the disordered A1-FePt phase in Pt(15 nm)/Fe(15 nm) thin films begins at annealing temperatures above 210 °C, and further chemical ordering occurs at temperature of 360 °C.

4. The introduction of an intermediate Ag layer with different thicknesses leads to an increase in the phase transformations temperature.

5. The Ag segregation on the films surface during heat treatment could cause the growth of the films electrical resistance.

6. Prospects of this startup-project idea implementing (a modern nanoscaled film compositions creation for use as a medium of magnetic recording with ultrahigh density) and the possibility of its commercialization has been demonstrated.

7. The carried out research is environmentally friendly and is not a source of environmental pollution. Microclimate, organization of the workplace, lighting in the laboratory № 506-9 meet sanitary norms. Noise and radiation levels do not exceed the permissible standards.

ПЕРЕЛІК ПОСИЛАНЬ

1. IBM Offering Information [Електронний ресурс] : 10 головних маркетингових тенденцій у 2017 році. - Режим доступу : https://www-01.ibm.com/common/ssi/cgi-bin/ssialias?htmlfid=WRL12345USEN (дата звернення: 02.10.2017).

2. Varvaro G. Ultrahigh-Density Magnetic Recording. Storage Materials and Media Designs / edited by G. Varvaro, F. Casoli. - New York : Pan Stanford, 2016. - 554 p.

3. Seki T.O. Microstructure and magnetic properties of FePt-SiO2 granular films with Ag addition / T.O. Seki, Y.K. Takahashi, and K. Hono // Journal of Applied Physics. - 2008. - Vol. 103. - P. 023910-1.

4. A HAMR Media Technology Roadmap to an Areal Density of 4 Tb/in2 / D. Weller, G. Parker, O. Mosendz et al. // IEEE Transactions on Magnetics. - 2014.- Vol. 50, 1. - P. 3100108.

5. Review Article: FePt heat assisted magnetic recording media / D. Weller, G. Parker, O. Mosendz et al. // Journal of Vacuum Science and Technology. - 2016. - Vol. 34, issue 6. - P. 60801.

6. Structure and Magnetic Properties of L10-Ordered Fe-Pt Alloys and Nanoparticles / J. Lyubina, B. Rellinghaus, O. Gutfleisch, and M. Albrecht, (Ed. K. H. J. Buschow) // Handbook of Magnetic Materials. - 2011. - Vol. 19: 291-305.

7. High Ku materials approach to 100 Gbits/in2 / D. Weller, A. Moser, L. Folks et al. // IEEE Transactions on Magnetics. - 2000. - Vol. 36. - P. 10-15.

8. Control of Surface Morphology and Magnetic Properties by Ion Bombardment in FePt Thin Films / Y.N. Han, F.T. Yuan, Y.H. Lin et al. // IEEE Transactions on Magnetics. - 2012. - Vol. 48, No. 11. - P. 3158-3161.

9. Microstructure and magnetic properties of L10-FePt thin films prepared under high pressures / L. Xiaohong, W. Fenging, L. Yanguo et al. // Applied Physics Letters. - 2010. - Vol. 94. - P. 172512-172515.

10. Albrecht M. Rapid thermal annealing of FePt thin films / M. Albrecht, C. Brombacher // Physica Status Solidi. . - 2013. -Vol. 210. - P. 1272-1281.

11. L10-ordered high coercivity (FePt)Ag-C granular thin films for perpendicular recording / L. Zhang, Y.K. Takahashi, A. Perumal, and K. Hono // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2010. - Vol. 322. - P. 2658-2664.

12. Size dependences of magnetic properties and switching behavior in FePt L10 nanoparticles / S. Okamoto, O. Kitakami, N. Kikuchi et al. // Physical Review B // - 2003. - Vol. 67. - P. 94422.

13. Varvaro G. L10 FePt-based thin films for future perpendicular magnetic recording media / G. Varvaro, S. Laureti, D. Fiorani // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2014. - Vol. 368. - P. 415-420.

14. Galanakis I. Spin-axis-dependent magnetic properties of FePt and CoPt / I. Galanakis, M. Alouani, H. Dreyssе // Physica B. - 2002. - Vol. 320. - P. 221-225.

15. Razumov I.K. Kinetics of phase transformations in the ordered nanograined alloys / I.K. Razumov, Yu.N. Gornostyrev and A.Ye. Yermakov // Reviews on Advanced Materials Science. - 2008. - Vol. 18. P. 757-763.

16. Temperature Dependent Chemical Ordering in FePt (001) and FePt (110) films / M.M. Schwickert, K.A. Hannibal, M.F. Toney et al. // Journal of Applied Physics. - 2000. - Vol. 87. - P. 6956-6958.

17. Pt surface segregation in L10-FePt nano-grains / H. Sepehri-Amin, H. Iwama, G. Hrkac et al. // Scripta Materialia. - 2017.- Vol. 135. - P. 88-91.

18. Kota Y. Magnetocrystalline anisotropy in FePt with L10 ordering and tetragonal distortion / Y. Kota, A. Sakuma // Journal of Applied Physics. - 2012. - Vol. 111. - P. 07A310.

19. Stoichiometry-anisotropy connections in epitaxial L10 FePt (001) films / K. Barmak, J. Kim, L.H. Lewis et al. // Journal of Applied Physics. - 2004. - Vol. 95. - P. 7501-7503.

20. Price Trends / Storage // PCPARTPICKER [Електронний ресурс]. - Режим доступу : https://pcpartpicker.com/trends/price/internal-hard-drive/ (дата звернення 02.10.2017)

21. Lodder J.C. Magnetic recording hard disk thin film media / J.C. Lodder // Handbook of Magnetic Materials - 1998. - Vol. 11. - P. 291-305.

22. Nakamura Y. Basic design concepts for perpendicular magnetic recording - from viewpoints of high writing ability and resolution / Y. Nakamura // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2005. - Vol. 287. - P. 27-40.

23. Indeck R.S. Magnetic Recording Measurements / R.S. Indeck, M.W. Muller, L. Avazpour // Reference Module in Materials Science and Materials Engineering. - 2016. - P. 1-19.

24. Structure and magnetic properties of magnetron-sputtered [(Fe/Pt/Fe)/Au]n multilayer films / Y.S. Yu, H.-B. Li, W.L. Li et al. // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2010. - Vol. 322. - P. 1770-1774.

25. Orientation-controlled nonepitaxial L10 CoPt and FePt films / H. Zeng, M.L. Yan, N. Powers, D.J. Sellmyer // Applied Physics Letters. - 2002. - Vol. 80. - P. 2350-2352.

26. Evolution of microstructure, residual stress, and texture in FePt films during rapid thermal annealing / S.N. Hsiao, L.H. Chen, S.H. Liu et al.// Journal of Alloys and Compounds. - 2015. - Vol. 656. - P. 876-880.

27. Thickness-dependent (001) orientation and surface morphology of rapid-annealed FePt thin films on a glass substrate / S.H. Liu, C.L. Chou, S.N. Hsiao et al. // Vacuum. - 2015. - Vol. 121. - P. 1-5.

28. Effect of annealing temperature on microstructure and magnetism of FePt/TaOx bilayer / G. Li, C.W. Leung, Y.-Ch. Chen et al. // Microelectronic Engineering. - 2013. - Vol. 110. - P. 241-245.

29. Wittig J. In situ investigation of ordering phase transformations in FePt magnetic nanoparticles / J.E. Wittig, J. Bentley, L.F. Allard // Ultramicroscopy. - 2017. - Vol. 176. - P. 218-232.

30. Ko H.-S. Fine control of L10 ordering and grain growth kinetics by C doping in FePt films / H.-S. Ko, A. Perumal, S.-C. Shin // Applied Physics Letters. - 2003. - Vol. 82. - P. 2311-2313.

31. Lai C.-H. Ion-irradiation-induced direct ordering of L10 FePt phase / C.-H. Lai, C.-H. Yang, C.C. Chiang // Applied Physics Letters. - 2003. - Vol. 83. - P. 4550-4552.

32. Kim M.-G. Ordering of islandlike FePt L10 thin films / M.-G. Kim, S.-C. Shin, K. Kang // Applied Physics Letters. - 2002. - Vol. 80. - P. 3802.

33. Microstructure and magnetic properties of FePt thin films epitaxially grown on MgO (0 0 1) substrates / Y.K. Takahashi, K. Hono, T. Shima, K. Takanashi // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2003. - Vol. 267.- P. 248-255.

34. Microstructure and magnetic properties of (001) textured L10 FePt films on amorphous glass substrate / Th. Speliotis, G. Varvaro, A.M. Testa et al. // Applied Surface Science. - 2015. - Vol. 337. - P. 118-124.

35. Qiu J.-M. In situ magnetic field alignment of directly ordered L10 FePt nanoparticles / J.-M. Qiu, J. Bai, J.-P. Wang // Applied Physics Letters.- 2006. - Vol. 89. - P. 222506.

36. Effect of magnetic field annealing on microstructure and magnetic properties of FePt films / Y.B. Li, Y.F. Lou, L.R. Zhang et al.// Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2010. - Vol. 322.- P. 3789-3791.

37. Liu M. Effects of Magnetic Annealing on Structure and Magnetic Properties of L10-FePt/Ag Films / M. Liu // Journal of Superconductivity and Novel Magnetism. - 2015. - Vol 28, № 8. -P. 2491-2494.

38. FePtCu alloy thin films: Morphology, L10 chemical ordering, and perpendicular magnetic anisotropy / C. Brombacher, H. Schletter, M. Daniel et al. // Journal of Applied Physics. - 2012. - vol. 112. - №. 7. - p. 073912.

39. Effect of the underlayer (Ag, Ti or Bi) on the magnetic properties of Fe/Pt multilayer films / C. Feng, B.H. Li, G. Han et al.// Thin Solid Films. - 2007. - Vol. 515. - P. 8009-8012.

40. Underlayer diffusion-induced enhancement of coercivity in high anisotropy FePt thin films / J.F. Hu, J.S. Chen, B.C. Lim, B. Liu // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2008. - Vol. 320. - P. 3068-3070.

41. Coercivity exceeding 100 kOe in epitaxially grown FePt sputtered films / T. Shima, K. Takanashi, Y.K. Takahashi, K. Hono // Applied Physics Letters. - 2004. - Vol. 85. - №. 13. - P. 2571-2573.

42. Highly anisotropic epitaxial L10 FePt on Pt (001) / M. Soares, H. Tolentino, M. De Santis et al. // Journal of Applied Physics. - 2011. - Vol. 109. - P. 07D725.

43. Takahashi Y.K. Effect of Cu on the structure and magnetic properties of FePt sputtered film / Y.K. Takahashi, M. Ohnuma, K. Hono // Journal of Magnetism and Magnetic Materials.- 2002. - Vol. 246. - P. 259-265.

44. The effect of Ag and Cu underlayer on the ordering FePt thin films / X.-H. Xu, H.-Sh. Wu, F. Wang, X.-L.Li // Applied Surface Science. 2004. - Vol. 233. - P. 1-4.

45. You C.Y. Particulate structure of FePt thin films enhanced by Au and Ag alloying / C.Y. You, Y.K. Takahashi, K. Hono // Journal of Applied Physics. - 2006. - Vol. 100. - P. 056105.

46. Where is the Ag in FePt-Ag composite films? / J.S. Chen, Y.Z. Zhou, C.J. Sun et al. // Applied Physics Letters. - 2011. - Vol. 98.- P. 131914.

47. Effect of Ag addition on the magnetic and magnetoresistance properties of Fe53Pt47 films / P. Allia, F. Celegato, M. Coпsson et al. // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2007. - Vol. 316. - P. e35-e39.

48. The effect of additive Ag layers on the L10 FePt phase transformation / Z.L. Zhao, J.S. Chen, J. Ding et al.// Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2004. - Vol. 282. - P. 105-108.

49. Лившиц, Б.Г. Физические свойства металлов и сплавов / Б.Г. Лившиц, В.С. Крапошин, Я.Л. Линецкий - М.: Металлургия. 1980. - 320 с.

50. Combined in situ x-ray scattering and electrical measurements for characterizing phase transformations in nanometric functional films / M. Putero, B. Duployer, I. Blum et al. // Thin Solid Films. - 2013. - Vol. 541. - P. 21-27.

51. Oxidation/reduction studies on nanoporous platinum films by electrical resistance measurements / L. Zhu, S. Kapoor, Q. Parry et al.// Journal of Power Sources. - 2014. - Vol. 269. - P. 621-631.

52. In-situ electrical resistance measurement of the selenization process in the CuInGa-Se system / W. Liu, J.-G. Tian, Q. He et al.// Thin Solid Films. - 2010. - Vol. 519, Issue 1. - P.244-250.

53. Temperature-induced transformations and martensitic reorientation processes in ultra-fine-grained Ni rich pseudoelastic NiTi wires studied by electrical resistance / J.L. Pelegrina, Jьrgen Olbricht, A. Yawny, G. Eggeler // Journal of Alloys and Compounds. - 2018. - Vol. 735. - P. 2574-2583.

54. Volkov A.Yu. The kinetics of ordering in an equiatomic CuPd alloy: A resistometric study / A.Yu. Volkov, O.S. Novikova, B.D. Antonov// Journal of Alloys and Compounds. - 2013. - Vol. 581. - P. 625-631.

55. Phase transformations in nickel rich NiAl using electrical resistivity measurements / J. Lasek, T. Chraska, P. Krecek, P. Bartuska // Scripta Materialia. - 1997. - Vol. 37, No 6. - P. 897-902.

56. Sinha A.K. Electrical Resistivity, Thermoelectric Power, And X-Ray Interference Function Of Amorphous Ni-Pt-P Alloys / A.K. Sinha // Physical Review B. - 1970. - Vol. 1, No 12. - P. 4541-4546.

57. Firebaugh S.L. Investigation of High-Temperature Degradation of Platinum Thin Films with an In Situ Resistance Measurement Apparatus / S.L. Firebaugh // Journal Of Microelectromechanical Systems. - 1998. - Vol. 7, No 1. - P. 128-135.

58. Anisotropy in Conductance of a Quasi-One-Dimensional Metallic Surface State Measured by a Square Micro-Four-Point Probe Method / T. Kanagawa, R. Hobara, I. Matsuda et al. // Physical Review Letters. - 2003. - Vol. 91, No 3. - 036805-1.

59. Kay E. Magnetic field effects on an abnormal truncated glow discharge and their relation to sputtered thin film growth. / E. Kay // Journal of Applied Physics. - 1963. - Vol. 34, No 4. - P. 760-768.

60. Холявко В.В. та ін. Фізичні властивості та методи дослідження матеріалів: Навчальний посібник для студентів галузі знань 13 - Механічна інженерія спеціальності 132 - Матеріалознавство денної та заочної форм навчання / В.В. Холявко, І.А. Владимирський, О.О. Жабинська. - К.: НТУУ «КПІ», 2016. - 156 с.

61. Хейкер Д.М. Рентгеновская дифрактометрия / Д.М. Хейкер, Л.С. Зевин; под. ред. Г.С. Жданов. - М. : Физматгиз, 1963. - 380 с.

62. Покоев А.В. Особенности рентгенографического исследования объёмной диффузии в поликристаллах / А.В. Покоев. - М. : Мир, 1980. - 243 с.

63. Горелик С.С. Рентгеноструктурный и электроннооптический анализ / С.С. Горелик, Л.Н. Расторгуев, Ю.А. Скаков. - М. : Металлургия, 1970. - 366 с.

64. Oechsner H. Secondary neutral mass spectrometry with plasma postionization: [Encycl. Mass Spectrometry] / H. Oechsner; D. Beauchemin, D.E. Matthews (Eds.). - Elsevier, 2010. - Vol. 5. - Р. 455-469.

65. Oechsner H. Quantitative characterization of solid state phases by secondary neutral mass spectrometry / H. Oechsner, R. Getto, M. Kopnarski // Journal of Applied Physics. -2009. - Vol. 105.- P. 063523.

66. Electrodeposition of Co-Ni-Cu/Cu multilayers: 2. Calculations of the element distribution and experimental depth profile analysis / L. Peter, G.L. Katona, Z. Berenyi et al. // Electrochimica Acta. - 2007. - Vol. 53. - 837-845.

67. Yavari A.R. Ordering and disordering in alloys / A.R. Yavari- New York : Elsevier, 1992. - 669 p.

68. Namba Y. Resistivity and Temperature Coefficient of Thin Metal Films with Rough Surface / Y. Namba // Japanese Journal of Applied Physics. - 1970. - Vol. 9, No 11. - P. 1326-1329.

69. Iwasaki S. Perpendicular magnetic recording - Its development and realization / S. Iwasaki // Journal of Magnetism and Magnetic Materials. - 2012. - Vol. 324. - P. 244-247.

70. Market Views: HDD Shipments Down 20 % in Q1 2016, Hit Multi-Year Low / ANANDTECH [Електронний ресурс]. - Режим доступу : https://www.anandtech.com/show/10098/market-views-2015-hard-drive-shipments (дата звернення 23.02.2018).

71. Желібо Є.П. Безпека життєдіяльності: Навчальний посібник для студентів вищих навчальних закладів освіти України І-ІV рівнів акредитації. / Є.П.Желібо, Н.М.Заверуха, В.В.Зацарний // Київ: «Каравела». - 2001. - 320 с.

72. Справочник по охране труда / К. Н. Ткачук, Д. Д. Іванчук ,Р. В. Сабарно, А. Г. Степанов- Н.:Техника, 1991. - 285 с.

73. ГОСТ 12.2.032-78 - Організація і обладнання робочих місць.

74. ДСН 3.3.6.042-99 - Санітарні норми мікроклімату виробничих приміщень.

75. ГОСТ 12.1.005-88 - Загальні санітарно-гігієнічні вимоги до повітря робочої зони.

76. ДБН В.2.5-28-2006 - Природне і штучне освітлення.

77. Електричне освітлення та опромінення [Текст] : методичні вказівки до виконання курсової роботи для студентів факультету енергетики та автоматики / Національний університет біоресурсів і природокористування України ; уклад. Л. С. Червінський [та ін.]. - К. : Видавничий центр НУБіП України, 2014. - 59 с

78. ДСН 3.3.6.037-99 - Санітарні норми виробничого шуму, ультразвуку та інфразвуку.

79. ГОСТ 12.1.030-81 - Електробезпека. Захисне заземлення. Занулення.

80. ДСТУ Б В.1.1-36:2016 - Визначення категорії приміщень, будинків та зовнішніх установок за вибухопожежною та пожежною безпекою.

ДОДАТОК А

РЕЗУЛЬТАТИ ІНДИЦІЮВАННЯ ДИФРАКТОГРАМ ДВОШАРОВИХ ТОНКИХ ПЛІВОК Pt/Fe ПІСЛЯ ОСАДЖЕННЯ ТА ВІДПАЛІВ ДО РІЗНИХ ТЕМПЕРАТУР

Таблиця А.1 - Результати рентгеноструктурного фазового аналізу двошарових тонких плівок Pt/Fe після осадження та відпалів до різних температур

Кут

дифракції

2и, град.

Половина кута

дифракції

и, град.

Синус половини

кута

дифракції

sinи

Міжпло-

щинна відстань

d, нм

Фаза

1

2

3

4

5

Після осадження

39,67

19,84

0,34

2,272

Pt(111)

44,99

22,50

0,20

3,9525

Fe(110)

46,19

23,10

0,20

3,8511

Pt(111)

Після відпалу за температури 155°С

39,73

19,87

0,34

2,2687

Pt(111)

44,87

22,44

0,38

2,02

Fe(110)

Після відпалу за температури 180°С

39,77

19,89

0,34

2,2665

Pt(111)

Після відпалу за температури 210°С

24,02

12,01

0,21

3,7049

L10-FePt(001)

41,03

20,52

0,35

2,1998

A1-FePt(111)

47,25

23,63

0,40

1,9237

A1-FePt(200)

48,85

24,43

0,41

1,8644

L10-FePt (200)

Після відпалу за температури 240°С

23,63

11,82

0,20

3,7651

L10-FePt (001)

41,11

20,56

0,35

2,1957

A1-FePt (111)

47,23

23,62

0,40

1,9245

A1-FePt (200)

48,53

24,27

0,41

1,8759

L10-FePt (200)

Після відпалу за температури 300°С

23,86

11,93

0,21

3,7294

L10-FePt (001)

41,28

20,64

0,35

2,187

A1-FePt (111)

47,41

23,71

0,40

1,9176

A1-FePt (200)

48,76

24,38

0,41

1,8676

L10-FePt (200)

1

2

3

4

5

Після відпалу за температури 360°С

24,04

12,02

0,21

3,7018

L10-FePt (001)

41,36

20,68

0,35

2,183

L10-FePt (111)

48,07

24,04

0,41

1,8928

L10-FePt (200)

49,19

24,60

0,42

1,8523

L10-FePt (002)

Після відпалу за температури 415°С

24,08

12,04

0,21

3,6958

L10-FePt (001)

41,38

20,69

0,35

2,182

L10-FePt (111)

47,89

23,95

0,41

1,8995

L10-FePt (200)

49,32

24,66

0,42

1,8477

L10-FePt (002)

Після відпалу за температури 535°С

24,10

12,05

0,21

3,6928

L10-FePt (001)

41,40

20,7

0,35

2,181

L10-FePt (111)

48,00

24

0,41

1,8954

L10-FePt (200)

49,40

24,7

0,42

1,8449

L10-FePt (002)

Після відпалу за температури 610°С

24,15

12,08

0,21

3,6852

L10-FePt (001)

41,40

20,7

0,35

2,181

L10-FePt (111)

47,86

23,93

0,41

1,9006

L10-FePt (200)

49,46

24,73

0,42

1,8428

L10-FePt (002)

ДОДАТОК Б

РЕЗУЛЬТАТИ РЕНТГЕНОСТРУКТУРНОГО ФАЗОВОГО АНАЛІЗУ ТОНКИХ ПЛІВОК Pt(15 НМ)/Ag(Х НМ)/Fe(15 НМ), ДЕ Х = 5 НМ, 10 НМ, 20 НМ, 25 НМ ПІСЛЯ ОСАДЖЕННЯ ТА ВІДПАЛІВ ДО РІЗНИХ ТЕМПЕРАТУР

Рисунок Б.1 - Результати рентгеноструктурного фазового аналізу тонких плівок Pt(15 нм)/Ag(5 нм)/Fe(15 нм) після осадження та відпалів до різних температур

Рисунок Б.2 - Результати рентгеноструктурного фазового аналізу тонких плівок Pt(15 нм)/Ag(10 нм)/Fe(15 нм) після осадження та відпалів до різних температур

Рисунок Б.3 - Результати рентгеноструктурного фазового аналізу тонких плівок Pt(15 нм)/Ag(20 нм)/Fe(15 нм) після осадження та відпалів до різних температур

Рисунок Б.4 - Результати рентгеноструктурного фазового аналізу тонких плівок Pt(15 нм)/Ag(25 нм)/Fe(15 нм) після осадження та відпалів до різних температур

Размещено на Allbest.ru


Подобные документы

  • Оптичні властивості тонких плівок нітриду титану. Електрофізичні та сорбційні характеристики прополісу. Дослідження закономірностей розсіювання тонкими плівками TiN і прополісу світлових потоків при різних формах поляризації падаючого випромінювання.

    магистерская работа [1,6 M], добавлен 29.09.2015

  • Класифікація кремнієвих датчиків тиску, конструкція та принцип їх роботи, пристій для калібрування. Переваги датчиків на основі тонких плівок перед ємнісними. Використання технології інтегральних мікросхем, сфера їх застосування. Електронний барометр.

    курсовая работа [2,6 M], добавлен 17.05.2012

  • Методи вирощування плівок термічного SiO2. Основні властивості диоксиду кремнію та меж розділу з напівпровідником та металом. Дослідження пористості плівок термічного SiO2. Електрофізичні характеристики структур.

    дипломная работа [1,9 M], добавлен 08.08.2007

  • Аналіз найактуальніших методів виготовлення датчиків магнітного поля на основі тонких плівок, їх переваг і недоліків. Характеристика фізичних принципів і ефектів на яких працюють чутливі елементи та ролі у цьому матеріалу з якого вони виготовляються.

    курсовая работа [2,6 M], добавлен 17.05.2012

  • Принципи отримання тонких плівок, вирощування кристалів методом Чохральського, обробка кристалів. Огляд технологій, які використовуються на підприємстві НВО "Термоприлад" під час виготовлення різноманітних електронних пристроїв вимірювання температури.

    отчет по практике [1,0 M], добавлен 02.10.2014

  • Разработка и изготовление устройства магнетронного получения тонких пленок. Пробное нанесение металлических пленок на стеклянные подложки. Методы, применяемые при распылении и осаждении тонких пленок, а также эпитаксиальные методы получения пленок.

    курсовая работа [403,6 K], добавлен 18.07.2014

  • Загальна характеристика синхронного цифрового обладнання, основні методи перетворення та інформаційна структура, короткий опис апаратури мереж та основні аспекти архітектури. План побудови транспортної мережі на основі синхронного цифрового обладнання.

    курсовая работа [677,0 K], добавлен 07.05.2009

  • Ионно-плазменные методы получения тонких пленок. Конструктивные особенности установки катодного распыления. Характеристики и применение тонких пленок, полученных методом ионного распыления, последовательность процесса. Достоинства и недостатки метода.

    курсовая работа [1,0 M], добавлен 17.12.2014

  • Рассмотрение физических (термовакуумное напыление, катодное, трехэлектродное, высокочастотное, реактивное, магнетронное, лазерное распыление) и химических (жидкофазная, газофазная МОС-гидридная эпитаксия) вакуумных методов получения тонких пленок.

    курсовая работа [431,0 K], добавлен 16.02.2010

  • Ідея методу фазового спотворення, її головний зміст та значення. Фокусування випромінювання в умовах турбулентної атмосфери на об'єкт. Формування світлових пучків із заданими властивостями. Метод амплітудного зондування. Багатоканальна фазова модуляція.

    реферат [208,4 K], добавлен 09.03.2011

Работы в архивах красиво оформлены согласно требованиям ВУЗов и содержат рисунки, диаграммы, формулы и т.д.
PPT, PPTX и PDF-файлы представлены только в архивах.
Рекомендуем скачать работу.