Технологический процесс ионно-плазменного травления (ИПТ) систем: кремниевая подложка - алюминиевая маска
Принципы реактивного ионного травления. Химические процессы в тлеющем разряде. Травление некоторых специальных материалов и структур: диоксида кремния, алюминия и его сплавов. Газы, используемые для травления алюминия. Коррозия после процесса травления.
| Рубрика | Производство и технологии |
| Предмет | Производство |
| Вид | курсовая работа |
| Язык | русский |
| Прислал(а) | Анатолий |
| Дата добавления | 11.12.2014 |
| Размер файла | 4,8 M |
Отправить свою хорошую работу в базу знаний просто. Используйте форму, расположенную ниже
Студенты, аспиранты, молодые ученые, использующие базу знаний в своей учебе и работе, будут вам очень благодарны.
Подобные документы
Сущность плазмохимического травления. Факторы, определяющие технологические параметры процесса плазменного травления. Внешний вид установки LAM690. Аттестация оборудования, виды брака и их причины. Операции фотолитографии по стандартной технологии.
дипломная работа [4,8 M], добавлен 08.07.2014Характеристика процесса травления и описание получаемых при этом объектов. Основные свойства и неоднородность травления алюминиевой фольги. Математическое описание процесса формовки анодной алюминиевой фольги для электролитических конденсаторов.
контрольная работа [25,8 K], добавлен 14.05.2011Макроструктурный анализ как изучение строения металлов и сплавов невооруженным глазом или при небольшом увеличении, с помощью лупы, его основные этапы, принципы и подходы к реализации. Исследование изломов, макроструктуры металла после травления.
лабораторная работа [997,7 K], добавлен 27.03.2011Характеристика алюминия и его сплавов. Технологический процесс производства алюминия и использование "толлинга" в производстве. Состояние алюминиевой промышленности и мировой рынок алюминия в конце 2007 - начале 2008 гг. Применение алюминия и его сплавов.
контрольная работа [6,2 M], добавлен 14.08.2009Изучение устройства и принципа металлографического микроскопа. Порядок приготовления микрошлифа, демонстрация его вида до и после травления. Оптическая схема микроскопа, методика приготовления макрошлифа. Зарисовка макроструктуры полученного образца.
лабораторная работа [27,3 K], добавлен 12.01.2010Достоинства алюминия и его сплавов. Малый удельный вес как основное свойство алюминия. Сплавы, упрочняемые термической обработкой. Сплавы для ковки и штамповки. Литейные алюминиевые сплавы. Получение алюминия. Физико-химические основы процесса Байера.
курсовая работа [2,7 M], добавлен 05.03.2015Общая характеристика и ценные свойства алюминия. Применение алюминия и его сплавов в разных отраслях промышленности. Основные современные способы производства алюминия. Производство глинозема: метод Байера и способ спекания. Рафинирование алюминия.
реферат [35,0 K], добавлен 31.05.2010Технологический процесс. Процесс электролиза. Товарные марки алюминия. Чистый алюминий. Рассмотрение технологического процесса с точки зрения автоматизации. Основное оборудование. Анализ состояния и перспективы развития автоматизации на предприятии.
курсовая работа [181,2 K], добавлен 27.08.2008Свойства алюминиево-магниевых, алюминиево-марганцевых и алюминиево-медных сплавов, их применение в промышленности. Характеристики порошковых сплавов алюминия и методы их получения в металлургии. Технологическая схема изготовления гранулированных сплавов.
реферат [28,2 K], добавлен 04.12.2011Способы получения алюминия. История открытия металла. Разложение электрическим током окиси алюминия, предварительно расплавленной в криолите. Механическая обработка, применение металла в производстве. Изучение его электропроводности, стойкости к коррозии.
презентация [420,5 K], добавлен 14.02.2016
